La machine de dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma (PACVD) est un outil de fabrication de semi-conducteurs qui permet de déposer des films minces de plusieurs matériaux sur un substrat à basse température par rapport au dépôt chimique en phase vapeur standard. Il fonctionne en introduisant des gaz réactifs entre des électrodes parallèles où le gaz est converti en plasma, conduisant à une réaction chimique qui dépose des produits de réaction sur le substrat. Ces machines sont essentielles dans la fabrication moderne de semi-conducteurs, offrant une excellente uniformité de film, un traitement à basse température et un débit élevé. Alors que la demande de dispositifs électroniques avancés continue de croître, la machine PACVD jouera un rôle de plus en plus important dans l'industrie des semi-conducteurs.
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pacvd
Four tubulaire CVD à chambre divisée avec machine CVD à station de vide
Numéro d'article : KT-CTF12
Four tubulaire CVD à zones de chauffage multiples Machine CVD
Numéro d'article : KT-CTF14
Four tubulaire CVD polyvalent fabriqué par le client
Numéro d'article : KT-CTF16
Four tubulaire à glissière PECVD avec gazéificateur de liquide Machine PECVD
Numéro d'article : KT-PE12
Machine à four tubulaire à dépôt chimique assisté par plasma rotatif incliné (PECVD)
Numéro d'article : KT-PE16
Machine de revêtement par évaporation améliorée par plasma PECVD
Numéro d'article : KT-PED
Machine à diamant MPCVD à résonateur cylindrique pour la croissance de diamants en laboratoire
Numéro d'article : KTWB315
Bell-jar Resonator MPCVD Machine pour la croissance de laboratoire et de diamants
Numéro d'article : KTMP315
Système RF PECVD Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à radiofréquence
Numéro d'article : KT-RFPE
Machine à diamant MPCVD 915MHz
Numéro d'article : MP-CVD-101
Numéro d'article : cvdm-05
cellule d'électrolyse à diffusion gazeuse cellule de réaction à flux liquide
Numéro d'article : ELCG
Demandez votre devis personnalisé 👋
Obtenez votre devis maintenant! Laisser un message Obtenir un devis rapidement Via WhatsappNous offrons les meilleures solutions de machine de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PACVD) pour la production de films minces de haute qualité. Nos machines utilisent le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PACVD) pour créer des films minces avec une excellente uniformité et adhérence. Nos machines sont disponibles dans une variété de formats, y compris le CVD à basse pression et à distance assisté par plasma. Nous offrons également un service de conception sur mesure pour répondre aux besoins spécifiques de nos clients. Grâce à notre vaste portefeuille de solutions, nous garantissons que nous avons la solution standard appropriée qui répondra à vos besoins.
Applications de la machine PACVD
- Dépôt de couches minces pour appareils électroniques
- Revêtement de cellules solaires et d'appareils photovoltaïques
- Fabrication de revêtements antireflets pour dispositifs optiques
- Production de revêtements résistants à l'usure pour outils de coupe et pièces de machines
- Développement de revêtements barrières pour les emballages alimentaires afin de prévenir la contamination
- Création de revêtements biocompatibles pour dispositifs médicaux
- Production de revêtements de protection pour pièces automobiles
- Fabrication de revêtements pour composants aéronautiques
- Développement de revêtements pour systèmes microélectromécaniques (MEMS)
- Création de revêtements pour les applications nanotechnologiques
Avantages de la machine PACVD
- Basse température de dépôt
- Haute efficacité de dépôt
- Paramètres contrôlables
- Bonnes propriétés diélectriques des couches minces déposées
- Faible contrainte mécanique dans les couches minces déposées
- Bonne couverture d'étape conforme et uniformité dans les couches minces déposées
Notre machine PACVD est la solution parfaite pour ceux qui recherchent un dépôt de couches minces de haute qualité et abordable. Notre machine utilise la méthode de dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma (PACVD), qui permet un dépôt à des températures de substrat inférieures à celles des autres processus de dépôt. Non seulement notre machine PACVD est rentable, mais nous proposons également des services de personnalisation complets pour répondre à vos besoins spécifiques.
FAQ
Le PACVD est-il le PECVD ?
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