L'épaisseur d'une cible de pulvérisation n'est pas explicitement mentionnée dans les références fournies, mais nous pouvons en déduire quelques informations pertinentes.Les cibles de pulvérisation sont généralement des plaques solides composées de matériaux de haute qualité tels que les métaux, les alliages ou les céramiques, et leurs dimensions sont spécifiques à l'outil.Si les références se concentrent davantage sur les propriétés et les applications des cibles de pulvérisation, telles que la pureté, la densité et la rugosité de la surface, elles ne précisent pas directement l'épaisseur des cibles.Toutefois, l'épaisseur des revêtements produits par pulvérisation est mentionnée comme allant de l'angström au micron, ce qui est nettement plus fin que la cible elle-même.Pour connaître les spécifications précises en matière d'épaisseur, il convient de consulter les fiches techniques des fabricants ou les normes industrielles.
Explication des points clés :
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Définition et composition des cibles de pulvérisation:
- Les cibles de pulvérisation sont des plaques solides composées de matériaux tels que des métaux purs, des alliages ou des composés (par exemple, des oxydes ou des nitrures).
- Elles sont utilisées dans le processus de pulvérisation pour produire des films minces sur des substrats.
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Forme et taille des cibles de pulvérisation:
- Les cibles peuvent être plates ou cylindriques, leurs dimensions exactes étant spécifiques à l'outil.
- Les cibles plates sont plus courantes et plus rentables, tandis que les cibles en forme d'anneau sont utilisées dans des modèles de chambres spécifiques.
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Qualité des matériaux et exigences:
- Les cibles de pulvérisation doivent être de haute qualité, exemptes de fissures et répondre à des normes strictes en matière de pureté, de densité, de taille des grains et de rugosité de surface.
- Ces exigences garantissent la production de films minces exempts de contamination.
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Épaisseur des revêtements par rapport aux cibles:
- Les références mentionnent que l'épaisseur des revêtements produits par pulvérisation cathodique varie de l'angström au micron.
- Cette épaisseur est nettement inférieure à celle de la cible elle-même, ce qui indique que la cible doit être beaucoup plus épaisse pour servir de matériau source durable.
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Inférence sur l'épaisseur de la cible:
- Bien que l'épaisseur exacte des cibles de pulvérisation ne soit pas spécifiée, il s'agit généralement de plaques solides conçues pour résister au processus de pulvérisation.
- L'épaisseur dépend probablement de l'application, du type de matériau et des exigences de l'outil.
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Considérations pratiques pour les acheteurs:
- Lors de l'achat de cibles de pulvérisation, il convient de tenir compte des dimensions spécifiques de l'outil, de la qualité du matériau et des exigences de l'application.
- Pour obtenir des spécifications d'épaisseur précises, consultez les fiches techniques des fabricants ou les normes industrielles, car les références fournies ne précisent pas ce détail.
En nous concentrant sur les propriétés et les applications des cibles de pulvérisation, nous pouvons déduire que leur épaisseur est adaptée aux besoins spécifiques du processus de pulvérisation et de l'équipement utilisé.Pour obtenir des mesures exactes, il est recommandé d'effectuer des recherches supplémentaires ou de consulter les fabricants.
Tableau récapitulatif :
| Aspect | Détails |
|---|---|
| Composition | Métaux, alliages ou céramiques (par exemple, oxydes, nitrures) |
| Forme et taille | Plat ou cylindrique ; les dimensions sont spécifiques à l'outil |
| Qualité du matériau | Pureté, densité, granulométrie et rugosité de surface élevées |
| Épaisseur du revêtement | De l'angström au micron (beaucoup plus mince que la cible elle-même) |
| Épaisseur de la cible | Pas explicitement indiqué ; on en déduit qu'il s'agit d'une épaisseur plus importante et spécifique à l'outil. |
| Conseils d'achat | Consultez les fiches techniques des fabricants ou les normes industrielles pour obtenir des détails précis. |
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