Les cibles de pulvérisation sont des composants essentiels du processus de dépôt par pulvérisation. Elles constituent la source de matériaux pour la création de couches minces.
4 principaux types de cibles de pulvérisation que vous devez connaître
Cibles de pulvérisation métallique
Les cibles de pulvérisation métalliques sont fabriquées à partir d'éléments métalliques purs. Elles sont couramment utilisées dans des applications où la pureté du métal est cruciale. Il s'agit notamment de la production de semi-conducteurs et de puces électroniques. Les cibles métalliques peuvent être n'importe quel métal élémentaire adapté aux propriétés des couches minces souhaitées.
Cibles de pulvérisation en alliage
Les cibles de pulvérisation en alliage sont constituées de mélanges de métaux. Les alliages sont choisis pour obtenir des propriétés spécifiques dans les films minces. Ces propriétés comprennent une dureté accrue, une conductivité améliorée ou une meilleure résistance à la corrosion. La composition de l'alliage peut être adaptée pour répondre aux exigences spécifiques de l'application.
Cibles de pulvérisation en céramique
Les cibles de pulvérisation en céramique sont fabriquées à partir de composés non métalliques. Ces composés sont généralement des oxydes ou des nitrures. Les cibles en céramique sont utilisées pour créer des films minces présentant une dureté et une résistance à l'usure élevées. Elles conviennent donc aux applications dans les outils et les instruments de coupe. Les matériaux céramiques offrent souvent des propriétés d'isolation thermique et électrique.
Formes spécialisées des cibles de pulvérisation
Les formes des cibles de pulvérisation ont évolué, passant des formes traditionnelles à des formes plus spécialisées. Par exemple, les cibles rotatives sont cylindriques et conçues pour permettre un dépôt plus précis de couches minces. Ces cibles ont une plus grande surface, ce qui permet des taux de dépôt plus rapides. La possibilité de personnaliser la forme des cibles de pulvérisation permet de mieux s'adapter aux systèmes de dépôt et aux exigences spécifiques.
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