Une cible ITO, qui signifie cible d'oxyde d'indium et d'étain, est un type de cible de pulvérisation utilisé dans l'industrie des couches minces. Elle est constituée d'un mélange d'oxyde d'indium (In2O3) et d'oxyde d'étain (SnO2) avec un rapport de poids de 90 % d'In2O3 et 10 % de SnO2.
L'ITO est un choix populaire pour les cibles de pulvérisation en raison de sa combinaison de conductivité électrique et de transparence optique. Il est couramment utilisé dans des applications telles que les semi-conducteurs, le photovoltaïque, les applications de revêtement, ainsi que dans les applications optiques.
Il existe plusieurs méthodes de fabrication des cibles ITO. L'une d'entre elles consiste à pulvériser thermiquement des cibles rotatives, ce qui inclut les méthodes de production par plasma, arc et pulvérisation à froid. Les autres méthodes de fabrication comprennent le moulage, l'extrusion et le pressage isostatique à chaud (HIP)/frittage.
Les cibles rotatives, en particulier les cibles cylindriques, sont souvent utilisées dans la fabrication de revêtements de grande surface pour le verre architectural et les écrans plats. Ces cibles présentent plusieurs avantages par rapport aux cibles planaires. Elles contiennent plus de matière, ce qui permet d'allonger les cycles de production et de réduire les temps d'arrêt. L'accumulation de chaleur est répartie uniformément sur la surface, ce qui permet d'obtenir des densités de puissance plus élevées et une vitesse de dépôt accrue. Cela permet d'améliorer les performances lors de la pulvérisation réactive.
KINTEK est un fournisseur spécialisé dans la production de cibles ITO de haute pureté. Il propose des cibles de pulvérisation rotatives cylindriques sur mesure de différentes tailles, allant de 2" à 8,625" de diamètre et de longueurs allant de quelques pouces à 160 pouces. Les cibles sont analysées à l'aide de techniques telles que la fluorescence X (XRF), la spectrométrie de masse à décharge luminescente (GDMS) et le plasma inductif (ICP) afin de garantir une qualité optimale.
Pour obtenir les meilleures performances et éviter les fissures ou les surchauffes, il est recommandé de coller la cible ITO à une plaque de support. Les méthodes de production des cibles composées utilisées par KINTEK comprennent le pressage à chaud sous vide, le pressage isostatique à chaud, le pressage isostatique à froid et le frittage par pressage à froid. Les cibles peuvent être fabriquées dans différentes formes et tailles, notamment rectangulaires, annulaires ou ovales, en fonction des exigences spécifiques.
En résumé, une cible ITO est une cible de pulvérisation composée d'un mélange d'oxyde d'indium et d'oxyde d'étain. Elle est utilisée dans diverses industries pour le dépôt de couches minces et offre une combinaison de conductivité électrique et de transparence optique. Fabriquées selon différentes méthodes, les cibles ITO se présentent souvent sous la forme de cibles rotatives, qui présentent des avantages par rapport aux cibles planes en termes d'utilisation des matériaux et de performances de dépôt. KINTEK est un fournisseur spécialisé dans la production de cibles ITO de haute pureté de différentes tailles et formes.
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