Dans le cas de la pulvérisation, la cible est la source de matériau solide utilisée pour créer des couches minces sur un substrat.Elle est bombardée par des ions à haute énergie dans une chambre à vide, ce qui provoque l'éjection d'atomes de sa surface.Ces atomes se déposent ensuite sur le substrat, formant un film mince.Les cibles sont généralement plates ou cylindriques et constituées du matériau de revêtement souhaité, tel que l'or ou d'autres métaux.La surface de la cible est plus grande que la zone de pulvérisation afin d'éviter toute pulvérisation involontaire et, avec le temps, elle développe des rainures ou des "traces de course" dues au processus de pulvérisation.Le terme "cible" provient de son analogie avec une cible de tir, lorsqu'elle est bombardée par des ions ou des électrons.
Explication des points clés :
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Définition d'une cible de pulvérisation:
- La cible est un morceau de matériau solide qui sert de source pour le dépôt de couches minces dans le processus de pulvérisation.
- Elle est bombardée par des ions à haute énergie, ce qui provoque l'éjection d'atomes qui se déposent sur un substrat.
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Rôle dans le processus de pulvérisation:
- La cible est la matière première du processus de revêtement sous vide.
- Elle est placée dans une chambre à vide, où un gaz inerte (par exemple l'argon) est ionisé pour créer un plasma.
- Les ions sont accélérés vers la cible, délogeant les atomes qui se condensent alors sur le substrat.
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Caractéristiques physiques des cibles:
- Les cibles sont généralement de forme plate ou cylindrique.
- Elles doivent être suffisamment grandes pour éviter la pulvérisation involontaire de roulements métalliques ou d'autres composants.
- La surface cible est toujours plus grande que la zone de pulvérisation réelle afin d'assurer un dépôt uniforme.
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Composition du matériau:
- Les cibles sont constituées du matériau destiné au dépôt, tel que l'or, l'aluminium ou d'autres métaux.
- Par exemple, les cibles d'or sont des disques d'or pur utilisés pour déposer de l'or sur des substrats.
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Usure des cibles:
- Avec le temps, les cibles développent des rainures plus profondes ou des zones où la pulvérisation est prédominante, connues sous le nom de "pistes de course".
- Ce type d'usure indique les régions où la cible a été le plus bombardée.
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Origine du terme "Target" (cible):
- Le terme "cible" est dérivé de son analogie avec une cible de tir.
- Dans la pulvérisation cathodique, le matériau est bombardé par un faisceau d'électrons ou d'ions, de la même manière qu'on tire sur une cible.
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Mécanique des procédés:
- Le plasma d'argon est enflammé dans la chambre à vide et les ions d'argon sont accélérés vers la cible chargée négativement.
- L'énergie cinétique élevée des ions provoque l'éjection des atomes de la cible et leur diffusion dans la chambre.
- Ces atomes se condensent ensuite en un film mince sur le substrat.
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Importance dans le dépôt de couches minces:
- La composition et la qualité de la cible influencent directement les propriétés du film mince déposé.
- L'uniformité, la pureté et la cohérence du matériau cible sont essentielles pour obtenir des revêtements de haute qualité.
En comprenant ces points clés, on peut apprécier le rôle critique de la cible dans le processus de pulvérisation et son impact sur la qualité des revêtements en couches minces.
Tableau récapitulatif :
| Aspect clé | Détails |
|---|---|
| Définition | Source de matériau solide pour le dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique. |
| Rôle | Matière première bombardée par des ions afin d'éjecter des atomes pour le revêtement du substrat. |
| Forme | Plate ou cylindrique, plus grande que la zone de pulvérisation. |
| Matériaux | Or, aluminium ou autres métaux utilisés pour le dépôt. |
| Usure et déchirure | Développe des rainures ou des "traces de course" au fil du temps en raison du bombardement ionique. |
| Mécanisme du processus | Le plasma d'argon ionise, accélère les ions pour éjecter les atomes cibles sur le substrat. |
| Importance | La qualité des cibles a un impact direct sur l'uniformité et la performance des couches minces. |
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