Les métaux qui peuvent être revêtus par pulvérisation cathodique sont l'or, le carbone, le tungstène, l'iridium, le chrome, le platine, le palladium, l'argent, l'oxyde d'aluminium, l'oxyde d'yttrium, l'oxyde d'indium et d'étain (ITO), l'oxyde de titane, le nitrure de tantale et le gadolinium. Ces matériaux sont choisis en fonction de leurs propriétés spécifiques telles que la conductivité, la taille des grains et la compatibilité avec des techniques d'analyse telles que l'EDX.
L'or est historiquement le matériau le plus courant pour le revêtement par pulvérisation cathodique en raison de sa conductivité élevée et de la petite taille de ses grains, ce qui est idéal pour l'imagerie à haute résolution. Il est particulièrement apprécié dans les applications où la conductivité électrique et une interférence minimale avec l'imagerie sont cruciales.
Le carbone est utilisé lorsqu'une analyse par rayons X à dispersion d'énergie (EDX) est nécessaire, car son pic de rayons X n'entre pas en conflit avec les pics d'autres éléments, ce qui garantit une analyse précise de la composition élémentaire de l'échantillon.
Le tungstène, l'iridium et le chrome sont des matériaux plus récents utilisés pour le revêtement par pulvérisation cathodique, en particulier lorsqu'une imagerie à ultra-haute résolution est nécessaire. Ces métaux ont des grains encore plus fins que l'or, ce qui améliore la résolution et la clarté des images obtenues.
Le platine, le palladium et l'argent sont également utilisés, l'argent présentant l'avantage d'être réversible, ce qui peut s'avérer particulièrement utile dans certaines configurations expérimentales où le revêtement doit être retiré ou modifié sans endommager l'échantillon.
L'oxyde d'aluminium, l'oxyde d'yttrium, l'oxyde d'étain et d'indium (ITO), l'oxyde de titane, le nitrure de tantale et le gadolinium sont d'autres matériaux utilisés pour le revêtement par pulvérisation cathodique. Ces matériaux sont choisis pour leurs propriétés spécifiques telles que la résistance chimique, la conductivité électrique et les propriétés optiques. Par exemple, l'ITO est utilisé pour sa transparence et sa conductivité, ce qui le rend idéal pour les écrans électroniques.
En résumé, le choix du métal pour le revêtement par pulvérisation cathodique dépend des exigences spécifiques de l'application, notamment le besoin de conductivité, la résolution, la compatibilité avec les techniques d'analyse et les propriétés physiques ou chimiques du matériau de revêtement.
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