Lorsqu'il s'agit de pulvériser des métaux, le gaz argon joue un rôle crucial.
5 raisons essentielles pour lesquelles le gaz argon est utilisé lors de la pulvérisation cathodique de métaux
1. Nature inerte
L'argon est un gaz inerte, ce qui signifie qu'il ne réagit pas facilement avec d'autres éléments.
C'est important car pendant la pulvérisation, les ions du gaz se recombinent avec le matériau cible pour produire le film déposé.
L'utilisation d'un gaz inerte comme l'argon garantit que le film n'est pas contaminé par des réactions avec d'autres gaz.
2. Masse atomique élevée
L'argon a une masse atomique élevée, ce qui permet un bombardement efficace du matériau cible.
En présence d'un champ magnétique, les électrons se rassemblent dans le champ, ce qui génère une forte densité électronique.
Les électrons ont alors plus de chances d'entrer en collision avec l'argon, ce qui accélère la formation d'ions argon chargés positivement (Ar+).
Ces ions sont attirés par la cible chargée négativement, ce qui augmente les taux de pulvérisation et de dépôt.
3. Rapport coût-efficacité
L'argon est relativement peu coûteux et largement disponible sous forme pure.
Cela en fait une option rentable pour les applications de pulvérisation magnétron.
4. Poids atomique optimal
Le poids atomique des ions gazeux utilisés dans la pulvérisation doit être similaire à celui des molécules cibles de la pulvérisation afin d'optimiser le transfert d'énergie et de quantité de mouvement.
L'argon, avec son poids atomique, est bien adapté à cet objectif.
5. Polyvalence
Si l'argon est le principal gaz choisi pour la pulvérisation, d'autres gaz rares comme le krypton et le xénon peuvent également être utilisés occasionnellement, en fonction des exigences spécifiques du film mince déposé.
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