La pulvérisation RF offre plusieurs avantages clés, notamment une qualité de film et une couverture de pas supérieures, une polyvalence dans le dépôt de divers matériaux, une réduction des effets de charge et des arcs électriques, un fonctionnement à faible pression et une efficacité accrue. En outre, elle est efficace pour les cibles isolantes et a été encore améliorée par le développement de la pulvérisation cathodique RF.
Qualité supérieure du film et couverture des étapes :
La pulvérisation RF produit des films d'une meilleure qualité et d'une meilleure couverture par rapport aux techniques d'évaporation. Cet aspect est crucial pour les applications nécessitant un dépôt de film précis et uniforme, car il garantit que le film adhère bien au substrat, même dans des géométries complexes.Polyvalence dans le dépôt de matériaux :
Cette technique permet de déposer une large gamme de matériaux, notamment des isolants, des métaux, des alliages et des composites. Cette polyvalence est particulièrement utile dans les secteurs où différents matériaux sont nécessaires pour diverses applications, ce qui permet de rationaliser et de rentabiliser le processus de production.
Réduction des effets de charge et de l'arc électrique :
L'utilisation d'une source RF CA à une fréquence de 13,56 MHz permet d'éviter les effets de charge et de réduire les arcs électriques. En effet, le signe du champ électrique change à chaque surface à l'intérieur de la chambre à plasma avec la RF, ce qui empêche l'accumulation de charges pouvant conduire à la formation d'arcs. L'arc électrique peut entraîner un dépôt de film non uniforme et d'autres problèmes de qualité ; sa réduction est donc importante pour maintenir une production de film de haute qualité.Fonctionnement à basse pression :
La pulvérisation RF peut fonctionner à basse pression (1 à 15 mTorr) tout en maintenant le plasma. Cette opération à basse pression améliore l'efficacité du processus en réduisant le nombre de collisions entre les gaz ionisés, ce qui permet un dépôt plus efficace du matériau de revêtement en ligne de mire.
Amélioration de l'efficacité et du contrôle de la qualité :
