Les propriétés des fluides utilisés dans les pompes à diffusion, en particulier le polyphényléther et le perfluoropolyéther, se caractérisent par leur faible pression de vapeur, leur résistance à la dégradation et leur inertie chimique. L'éther polyphénylique se distingue par sa faible pression de vapeur et sa résistance au bombardement d'électrons, ce qui le rend adapté aux applications sous vide poussé. Le polyéther perfluoré, quant à lui, est très inerte à l'oxygène, aux halogènes et aux acides, et se décompose en gaz sans compromettre le fluide principal, bien qu'il soit toxique en cas de décomposition.
Éther polyphénylique :
L'éther polyphénylique est choisi pour sa très faible pression de vapeur, qui est cruciale pour maintenir un vide élevé dans les pompes à diffusion. Sa résistance au bombardement électronique est particulièrement intéressante dans les environnements où la pompe peut être exposée à des particules de haute énergie, comme en microscopie à faisceau d'électrons ou dans les processus de dépôt sous vide. Bien qu'elle soit plus chère que l'huile de silicone, ses caractéristiques de performance en font un choix privilégié pour des applications spécifiques nécessitant un vide poussé et une stabilité au bombardement d'électrons.Perfluoropolyéther :
Le perfluoropolyéther est un type de fluide dans lequel tous les atomes d'hydrogène d'un hydrocarbure sont remplacés par des atomes de fluor, ce qui se traduit par un poids moléculaire plus élevé et une meilleure stabilité chimique. Ce fluide est inerte face à de nombreux produits chimiques agressifs, notamment l'oxygène, les halogènes et les acides, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans des environnements où de telles substances peuvent être présentes. Sa décomposition en gaz lors de la rupture garantit que le fluide principal reste intact, bien que le gaz produit soit toxique et nécessite une manipulation et un confinement minutieux.
Considérations générales pour les pompes à diffusion :
Lors de la sélection d'un fluide pour les pompes à diffusion, il est essentiel de tenir compte de la qualité de l'huile pour garantir des performances optimales et un entretien minimal. Les huiles de haute qualité permettent d'atteindre les niveaux de vide souhaités (de 10-2 à 10-10 torr) et sont essentielles pour des applications telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide et les fours sous vide. La simplicité de fonctionnement et l'absence de pièces mobiles des pompes à diffusion les rendent durables et fiables, nécessitant une maintenance principalement axée sur le maintien du niveau d'huile approprié et la garantie de la fonctionnalité des réchauffeurs.
Compatibilité chimique et entretien :
