Lorsqu'il s'agit de pompes à diffusion, le type de fluide utilisé est crucial pour maintenir des niveaux de vide élevés et assurer la longévité de l'équipement.
1. Faible pression de vapeur et résistance à la dégradation
Les fluides utilisés dans les pompes à diffusion, tels que l'éther polyphénylique et le polyéther perfluoré, se caractérisent par leur faible tension de vapeur et leur résistance à la dégradation.
Le polyphényléther est particulièrement connu pour sa très faible pression de vapeur, essentielle au maintien d'un vide poussé.
Sa résistance au bombardement électronique le rend idéal pour les environnements où des particules à haute énergie sont présentes, comme dans la microscopie à faisceau d'électrons ou les processus de dépôt sous vide.
2. Inertie chimique
Le perfluoropolyéther est très inerte à l'oxygène, aux halogènes et aux acides, ce qui permet de l'utiliser dans des environnements où ces substances peuvent être présentes.
Ce fluide se décompose en gaz sans compromettre le fluide principal, bien que le gaz produit soit toxique et nécessite une manipulation et un confinement soigneux.
3. Performance dans les applications sous vide poussé
L'éther polyphénylique est préféré pour des applications spécifiques nécessitant un vide poussé et une stabilité sous bombardement électronique, bien qu'il soit plus cher que l'huile de silicone.
4. Considérations générales pour les pompes à diffusion
Lors de la sélection d'un fluide pour les pompes à diffusion, il est essentiel de tenir compte de la qualité de l'huile pour garantir des performances optimales et un entretien minimal.
Les huiles de haute qualité permettent d'atteindre les niveaux de vide souhaités, qui vont de 10-2 à 10-10 torr, et sont essentielles pour des applications telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide et les fours sous vide.
La simplicité de fonctionnement et l'absence de pièces mobiles dans les pompes à diffusion les rendent durables et fiables, nécessitant une maintenance principalement axée sur le maintien d'un niveau d'huile approprié et la garantie de la fonctionnalité des réchauffeurs.
5. Compatibilité chimique et entretien
Le choix du fluide dépend également de la compatibilité chimique avec les vapeurs qui traversent la pompe.
Les pompes sèches, sans huile, offrent des avantages en termes de résistance à la corrosion et de facilité d'entretien.
L'entretien des pompes à diffusion est simple et consiste à vérifier le niveau d'huile et le fonctionnement des éléments chauffants.
Il est essentiel d'aligner correctement les éléments chauffants, même si cela peut s'avérer difficile dans les espaces confinés.
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