La pulvérisation est un processus physique fascinant au cours duquel de minuscules particules d'un matériau solide sont éjectées de sa surface.
Ce phénomène se produit lorsque le matériau est bombardé par des particules énergétiques, généralement des ions gazeux, qui sont accélérés à partir d'un plasma.
Il est important de noter que la pulvérisation est un processus de vaporisation non thermique.
Cela signifie qu'il n'est pas nécessaire de chauffer le matériau à des températures extrêmement élevées.
Que se passe-t-il lors de la pulvérisation cathodique ? 5 étapes clés expliquées
1. Mise en place du substrat
Le processus commence par un substrat qui doit être revêtu.
Ce substrat est placé dans une chambre à vide remplie d'un gaz inerte, généralement de l'argon.
2. Application d'une charge
Une charge négative est appliquée à un matériau source cible.
Ce matériau sera finalement déposé sur le substrat.
Cette charge fait briller le plasma.
3. Collisions d'électrons
Des électrons libres s'échappent du matériau source cible chargé négativement dans l'environnement du plasma.
Ces électrons entrent en collision avec l'enveloppe électronique externe des atomes d'argon.
La collision force ces électrons à s'éloigner en raison de leur charge similaire.
4. Attraction des ions
Les atomes d'argon se transforment en ions chargés positivement.
Ces ions sont attirés par le matériau cible chargé négativement à une vitesse très élevée.
Cette attraction à grande vitesse entraîne la "pulvérisation" de particules de taille atomique à partir du matériau source de la cible en raison de l'élan des collisions.
5. Dépôt d'un film mince
Les particules pulvérisées traversent ensuite la chambre de dépôt sous vide de la machine de pulvérisation cathodique.
Elles sont déposées sous la forme d'un film mince sur la surface du substrat à revêtir.
Ce film mince peut être utilisé pour diverses applications dans les domaines de l'optique, de l'électronique et des nanotechnologies.
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