Une pompe à diffusion est un type de pompe à vide qui fonctionne sans pièces mobiles, ce qui la différencie des pompes mécaniques qui utilisent des pistons ou des ailettes pour déplacer l'air. Les pompes à diffusion utilisent plutôt un mécanisme d'entraînement de fluide, utilisant la vapeur d'un fluide en ébullition (souvent appelé "huile") pour capturer et transporter les molécules d'air. La vapeur, qui possède une énergie cinétique élevée, capture les molécules d'air et les transporte vers une zone plus froide où elles sont libérées. Ce processus est facilité par la gravité et le flux descendant de la vapeur, qui dirige les molécules d'air vers le bas de la pompe.
La simplicité de fonctionnement et la durabilité des pompes à diffusion les rendent adaptées à diverses applications industrielles, notamment la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide et les fours sous vide. Elles sont capables d'atteindre des niveaux de vide élevés allant de 10^-2 à 10^-10 torr. Cependant, les pompes à diffusion ne peuvent pas fonctionner de manière autonome ; elles ont besoin d'une pompe d'appoint pour maintenir une faible pression dans le système, en particulier pendant les périodes d'inactivité. Cette configuration garantit que la pompe de diffusion peut fonctionner efficacement en cas de besoin, en isolant la vanne de la pompe de maintien et en s'appuyant sur la pompe mécanique et le ventilateur comme pompe d'appoint.
En termes d'entretien, les pompes à diffusion sont relativement simples, ne nécessitant que la surveillance des niveaux d'huile et du fonctionnement des réchauffeurs. Le système de chauffage comprend généralement un élément tubulaire, une plaque d'écrasement et une plaque de serrage, un alignement correct étant essentiel pour un fonctionnement efficace.
Les pompes à diffusion se distinguent des pompes cinétiques, telles que les pompes turbomoléculaires, qui utilisent des roues ou des pales tournant à grande vitesse pour transférer l'impulsion aux molécules de gaz, les poussant vers la sortie. Ces pompes cinétiques sont utilisées pour des applications à haute pression et leurs exigences en matière de fonctionnement et de maintenance sont différentes de celles des pompes à diffusion.
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