Le niveau de vide d'un évaporateur thermique est généralement maintenu à une pression de 10^-5 Torr ou moins. Cet environnement de vide poussé est crucial pour le processus d'évaporation thermique, car il garantit que le libre parcours moyen des molécules évaporées est suffisamment long pour éviter les collisions avec les molécules de gaz dans la chambre, ce qui pourrait affecter négativement la qualité du film déposé.
Explication :
-
Importance du vide dans l'évaporation thermique :
-
L'évaporation thermique est un processus au cours duquel des matériaux sont chauffés dans une chambre à vide jusqu'à ce que leurs atomes de surface acquièrent suffisamment d'énergie pour quitter la surface et se déposer sur un substrat. L'environnement sous vide est essentiel car il permet aux atomes ou molécules évaporés de se déplacer de la source au substrat sans collisions significatives, en maintenant leur intégrité directionnelle et donc la qualité du revêtement.Niveaux de vide optimaux :
-
Le niveau de vide optimal pour l'évaporation thermique se situe généralement autour de 10^-5 Torr. À cette pression, le libre parcours moyen des molécules est d'environ 1 mètre, ce qui est suffisant pour la plupart des installations d'évaporation thermique où la distance entre la source d'évaporation et le substrat est comprise entre 200 mm et 1 mètre. Cela garantit que les particules évaporées peuvent parcourir la distance sans s'écarter de manière significative de leur trajectoire en raison de collisions.
-
Configuration du système de vide :
Les évaporateurs thermiques modernes utilisent souvent des pompes turbomoléculaires, qui sont capables d'atteindre ces basses pressions rapidement et efficacement. Ces pompes sont généralement soutenues par des pompes à palettes, des pompes à spirales sèches ou des pompes roots multicellulaires, qui aident à évacuer la chambre de la pression atmosphérique à la pression de base requise pour le fonctionnement. L'installation est conçue pour minimiser la chute de débris dans la pompe et pour maintenir un environnement de vide propre et efficace.
Contrôle et surveillance :
