Les cibles de pulvérisation sont fabriquées selon divers procédés adaptés aux propriétés du matériau et à l'application envisagée. Les méthodes les plus courantes sont le pressage à chaud sous vide, le pressage à froid et le frittage, ainsi que la fusion et le moulage sous vide. Le processus commence par la sélection et la préparation des matières premières, suivies du mélange ou de l'alliage par frittage ou fusion, puis du broyage pour obtenir la qualité souhaitée. Chaque lot de production est soumis à des tests analytiques rigoureux et un certificat d'analyse accompagne chaque expédition.
Explication détaillée :
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Sélection et préparation des matériaux :
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Le processus de fabrication commence par la sélection des matières premières appropriées en fonction des propriétés souhaitées de la cible de pulvérisation. Ces matières sont souvent des métaux, des alliages ou des composés tels que les oxydes, les nitrures et les carbures. La pureté et la qualité de ces matières premières sont cruciales car elles ont un impact direct sur les performances de la cible de pulvérisation.Mélange et alliage :
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Selon les besoins, les matières premières peuvent être mélangées ou alliées. Ce processus est essentiel pour créer des matériaux homogènes qui garantissent des résultats de pulvérisation cohérents. Le mélange peut être effectué par des moyens mécaniques, tandis que l'alliage implique souvent la fusion des matériaux dans des conditions contrôlées.
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Frittage et fusion :
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Après le mélange ou l'alliage, les matériaux sont soumis à des processus de frittage ou de fusion. Le frittage consiste à chauffer le matériau en dessous de son point de fusion pour lier les particules entre elles, tandis que la fusion liquéfie complètement le matériau pour le couler. Ces processus sont généralement réalisés sous vide ou dans des atmosphères contrôlées afin d'éviter toute contamination et de garantir une grande pureté.Formage et mise en forme :
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Le matériau fritté ou coulé est ensuite façonné dans la forme souhaitée, qui est généralement un disque ou une feuille. Cette opération peut être réalisée par diverses méthodes telles que le pressage à chaud, le pressage à froid, le laminage ou le forgeage. Le choix de la méthode dépend des propriétés du matériau et des spécifications de la cible.
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Rectification et finition :
Une fois la forme de base obtenue, la cible est soumise à des processus de rectification et de finition afin d'obtenir les dimensions et l'état de surface requis. Cette étape est cruciale pour s'assurer que la cible fonctionnera bien dans le processus de pulvérisation, car les imperfections de surface peuvent affecter l'uniformité et la qualité du film déposé.
Contrôle et analyse de la qualité :
