La pulvérisation cathodique est une technique polyvalente utilisée dans diverses applications, mais elle présente plusieurs inconvénients qu'il convient d'examiner attentivement.
6 inconvénients majeurs de la pulvérisation cathodique à connaître
Difficulté à combiner la pulvérisation avec le décollage
La pulvérisation cathodique implique un transport diffus, ce qui rend difficile l'ombrage complet des zones.
Cela peut entraîner des problèmes de contamination.
Les atomes pulvérisés ne peuvent pas être entièrement limités dans leur dépôt.
Il peut en résulter un dépôt indésirable dans des zones où il n'est pas souhaité.
Les défis du contrôle actif
Par rapport à des techniques comme le dépôt par laser pulsé, la pulvérisation cathodique présente des limites dans le contrôle actif de la croissance couche par couche.
Cela est dû en partie à la difficulté de gérer le processus de dépôt à un niveau granulaire.
Cela peut affecter la qualité et les propriétés des films déposés.
Faibles taux de dépôt
La pulvérisation cathodique présente généralement des taux de dépôt plus faibles, en particulier dans les techniques telles que la pulvérisation par faisceau d'ions et la pulvérisation par radiofréquence.
Cela peut constituer un inconvénient important lorsqu'il s'agit de déposer des films de grande surface avec une épaisseur uniforme.
Cela augmente la durée et le coût du processus de dépôt.
Coûts élevés des équipements
L'équipement utilisé pour la pulvérisation, en particulier la pulvérisation par faisceau d'ions et la pulvérisation RF, peut être complexe et coûteux.
Il faut notamment des alimentations électriques coûteuses, des circuits d'adaptation d'impédance supplémentaires et des aimants permanents puissants pour contrôler les champs magnétiques parasites.
Les dépenses d'investissement élevées associées à la mise en place et à l'entretien de l'équipement de pulvérisation peuvent constituer un obstacle à son adoption.
Problèmes d'uniformité et de contamination
La pulvérisation cathodique est souvent confrontée à des problèmes d'uniformité de dépôt sur des structures complexes.
Elle peut introduire des impuretés dans le substrat.
Le processus peut également activer des contaminants gazeux dans le plasma, ce qui augmente la contamination du film.
En outre, l'énergie incidente sur la cible se transforme principalement en chaleur, qui doit être gérée efficacement pour éviter d'endommager le système.
Inefficacité de l'utilisation des matériaux
Les cibles de pulvérisation peuvent être coûteuses et l'efficacité de l'utilisation des matériaux peut être médiocre.
Il s'agit d'un problème important, car il a un impact direct sur la rentabilité du processus de pulvérisation.
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