La principale différence entre la pulvérisation RF et la pulvérisation CC réside dans leurs sources d'énergie.
La pulvérisation DC utilise un courant continu comme source d'énergie.
La pulvérisation RF utilise une source de courant alternatif (CA).
Cette différence entre les sources d'énergie entraîne plusieurs distinctions entre les deux techniques de pulvérisation.
4 points clés pour comprendre la différence entre la pulvérisation RF et la pulvérisation CC
1. Tension requise
La pulvérisation cathodique nécessite généralement une tension de 2 000 à 5 000 volts.
La pulvérisation RF nécessite 1 012 volts ou plus pour atteindre la même vitesse de dépôt.
Cela s'explique par le fait que la pulvérisation cathodique implique un bombardement ionique direct du plasma gazeux par des électrons.
La pulvérisation RF utilise l'énergie cinétique pour retirer les électrons des enveloppes extérieures des atomes de gaz.
La création d'ondes radio dans la pulvérisation RF nécessite une alimentation électrique plus importante pour obtenir le même effet qu'un courant d'électrons.
2. Pression de la chambre
La pulvérisation RF peut maintenir le plasma gazeux à une pression de chambre nettement inférieure à 15 mTorr.
La pulvérisation DC nécessite une pression de chambre de 100 mTorr.
Cette pression plus faible permet de réduire le nombre de collisions entre les particules de plasma chargées et le matériau cible.
Elle crée un chemin plus direct vers la cible de pulvérisation.
3. Applicabilité
La pulvérisation cathodique est largement utilisée, efficace et économique.
Elle convient au traitement de grandes quantités de substrats.
La pulvérisation RF fonctionne pour les matériaux pulvérisés conducteurs et non conducteurs.
Elle est plus coûteuse et a un rendement de pulvérisation plus faible.
Elle convient mieux aux substrats de petite taille.
4. Résumé des différences
La pulvérisation RF utilise une source d'alimentation en courant alternatif, nécessite une tension plus élevée, fonctionne à une pression de chambre plus faible et convient aux matériaux conducteurs et non conducteurs.
La pulvérisation DC utilise une source d'énergie DC, nécessite une tension plus faible, fonctionne à une pression de chambre plus élevée et est plus économique pour le traitement de grandes quantités de substrats.
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