Une pompe à diffusion peut atteindre différentes températures en fonction du niveau de vide requis. Voici les températures pour différentes plages de vide :
- Pour une plage de vide de 10-9 à 10-10 Torr, la température de la pompe de diffusion est de 245°C.
- Pour une plage de vide de 10-7 à 10-8 Torr, la température de la pompe de diffusion est de 220°C.
- Pour une plage de vide de 10-5 à 10-6 Torr, la température de la pompe de diffusion est de 180°C.
Le fonctionnement d'une pompe à diffusion repose sur la présence de deux éléments : l'huile de la pompe à diffusion et un réchauffeur. Le réchauffeur chauffe la plaque de chaudière, ce qui porte l'huile à une température d'ébullition. La vapeur d'huile qui s'élève est comprimée dans une cheminée conique verticale dotée d'ouvertures pour les jets sur toute sa hauteur. Les jets sont inclinés pour créer un parapluie de vapeur qui capture l'air, ce qui permet à la pompe de créer un vide.
Il est important de noter que l'huile de la pompe de diffusion peut être contaminée au fil du temps, ce qui peut entraîner des problèmes. La contamination peut se produire lorsque l'huile présente sur les charges de travail se volatilise en chauffant et migre vers la pompe à diffusion. Cela peut abaisser le point d'éclair de l'huile et entraîner une surchauffe, voire des explosions. Il est donc recommandé de procéder à un entretien régulier, notamment de changer l'huile de la pompe de diffusion au moins une fois par an et de démonter et nettoyer périodiquement l'ensemble du jet et les composants internes de la pompe de diffusion, afin de garantir un fonctionnement sûr et efficace.
En termes de transfert de chaleur et de dissipation d'énergie, les pompes à diffusion peuvent être confrontées à des difficultés pour maintenir l'uniformité de la température et éviter les fuites de gaz. L'utilisation de ventilateurs, qui est une solution courante pour les problèmes d'uniformité de température avec le gaz, peut ne pas convenir aux pompes à diffusion fonctionnant à haute pression. Le jeu autour de l'arbre du ventilateur peut entraîner d'importantes fuites de gaz, compromettant ainsi l'intégrité du vide. Par conséquent, d'autres solutions peuvent être nécessaires pour résoudre ces problèmes.
Dans un cas précis, une enquête a révélé que la surchauffe d'une pompe à diffusion était due à un manque d'eau de refroidissement en raison de l'obstruction d'une conduite d'eau par des dépôts minéraux. Cela a entraîné une surchauffe de l'huile de la pompe de diffusion à base de silicone. Il est important d'assurer un refroidissement et un entretien adéquats de la pompe de diffusion pour éviter de tels problèmes.
Globalement, une pompe à diffusion fonctionne à différentes températures en fonction du niveau de vide requis. Un entretien régulier, comprenant des vidanges d'huile et des nettoyages, est essentiel pour assurer un fonctionnement sûr et efficace. En outre, un refroidissement adéquat et la résolution des problèmes d'uniformité de la température sont des considérations importantes dans le fonctionnement des pompes à diffusion.
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