Les caractéristiques importantes d'une pompe à diffusion sont les suivantes :
1. Vitesse de pompage élevée : Les pompes à diffusion ont une vitesse de pompage élevée pour tous les gaz, ce qui les rend adaptées aux applications de vide poussé et d'ultravide. Elles peuvent atteindre une vitesse de pompage allant de 10-2 à 10-10 torr.
2. Pas de pièces mobiles : Les pompes à diffusion sont durables et fiables en raison de l'absence de pièces mobiles. Cette caractéristique élimine le besoin de maintenance et réduit le risque de défaillance mécanique.
3. Principe de fonctionnement simple : le fonctionnement d'une pompe à diffusion repose sur deux éléments - l'huile de la pompe à diffusion et un dispositif de chauffage. Le réchauffeur chauffe l'huile jusqu'à sa température d'ébullition et la vapeur d'huile qui s'élève est comprimée dans une cheminée conique verticale dotée d'ouvertures pour les jets. Les jets inclinés créent un parapluie de vapeur qui capture les molécules d'air.
4. Pompage automatique du vide : Le fonctionnement d'une pompe à diffusion est automatique et verrouillé. Une pompe de maintien est utilisée pour maintenir en permanence une faible pression sur la ligne avant de la pompe de diffusion. Cela permet d'éviter le reflux des huiles de la pompe dans la chambre.
5. Compatibilité avec diverses applications : Les pompes à diffusion sont largement utilisées dans des applications industrielles telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide, les revêtements et les fours à vide. Elles sont polyvalentes et peuvent prendre en charge toute une série de processus.
6. Capacité de vide élevé : Les pompes à diffusion peuvent atteindre des niveaux de vide élevés inférieurs à 10-10 torr. Elles conviennent donc aux applications nécessitant des pressions extrêmement basses.
7. Rentable : Les pompes à diffusion offrent un faible coût par unité de vitesse de pompage par rapport à d'autres types de pompes utilisées dans la même plage de vide. Elles constituent donc une option intéressante pour les applications industrielles.
8. Pompe à entraînement de fluide : Les pompes à diffusion fonctionnent comme des pompes à entraînement de fluide plutôt que comme des pompes à déplacement de gaz. Elles capturent les molécules d'air à l'aide de la vapeur d'un fluide en ébullition, qui est ensuite déplacé vers un autre endroit et refroidi pour libérer les molécules d'air piégées.
Dans l'ensemble, les pompes à diffusion offrent des vitesses de pompage élevées, une grande durabilité, une grande simplicité et un bon rapport coût-efficacité, ce qui en fait un choix populaire pour atteindre des niveaux de vide élevés dans diverses applications industrielles.
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