Les caractéristiques importantes d'une pompe à diffusion sont les suivantes :
1. Pas de pièces mobiles : Les pompes à diffusion ne comportent aucune pièce mobile, ce qui les rend durables et fiables. Cela signifie également que le risque de défaillance mécanique est moindre.
2. Large gamme de pressions : Les pompes à diffusion peuvent fonctionner sur une large plage de pression, de 10-10 à 10-2 mbar. Elles conviennent donc à diverses applications, notamment la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide, les revêtements et les fours sous vide.
3. Entraînement par convection : Les pompes à diffusion sont entraînées par convection et non par des moyens mécaniques. Cela se traduit par une faible efficacité énergétique, mais permet un principe de fonctionnement simple.
4. Pompage du vide : Les pompes à diffusion sont dotées de capacités de pompage automatique du vide et sont verrouillées avec une pompe de maintien. Cela permet de maintenir une faible pression sur la ligne avant de la pompe de diffusion et d'éviter le reflux des huiles de la pompe dans la chambre.
5. Piégeage de la vapeur : Les pompes à diffusion utilisent la vapeur d'un fluide en ébullition (généralement de l'huile) pour capturer les molécules d'air. La vapeur est comprimée dans une pile conique verticale avec des ouvertures de jet, créant un parapluie de vapeur qui capture l'air. Les molécules d'air sont ensuite déplacées vers un autre endroit et refroidies, ce qui les libère.
6. Combinaison de la gravité et du flux de vapeur : La combinaison de la gravité et de la direction descendante des vapeurs dans une pompe à diffusion permet de déplacer les molécules d'air vers le bas de la pompe.
7. Compatibilité et résistance : Une bonne pompe à diffusion doit présenter une résistance élevée à la corrosion, une grande compatibilité avec les condensats et une résistance chimique universelle. Cela garantit qu'elle peut traiter diverses substances sans dégradation ni dommage.
8. Durabilité et faible entretien : Les pompes à diffusion sont connues pour leur durabilité et leur fiabilité en raison de l'absence de pièces mobiles. Elles nécessitent un entretien minimal, ce qui les rend rentables à long terme.
9. Intégration du système de pompage : Les pompes à diffusion sont souvent intégrées dans un système de pompage plus important. Elles sont généralement activées entre 10 et 1 micron et fonctionnent avec des pompes mécaniques et des pompes de surpression pour atteindre des niveaux de vide élevés.
Dans l'ensemble, les pompes à diffusion constituent une solution fiable et efficace pour atteindre des niveaux de vide élevés dans diverses applications industrielles. Leur conception simple, leur durabilité et leur large gamme de pression en font un choix populaire dans de nombreuses industries.
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