Une pompe à diffusion, également appelée pompe à diffusion, est un type de pompe à vide qui fonctionne sans pièces mobiles.
Elle utilise la vapeur d'un fluide en ébullition pour capturer et déplacer les molécules d'air.
Cette pompe est considérée comme une pompe à entraînement de fluide, distincte des pompes mécaniques qui utilisent des pistons, des ailettes ou des lobes pour déplacer l'air.
5 points clés à comprendre
1. Principe de fonctionnement
Les pompes à diffusion reposent sur le transfert d'énergie des jets de vapeur à grande vitesse vers les molécules de gaz dans la chambre à vide.
La vapeur, généralement à base d'huile, est chauffée jusqu'à ce qu'elle se vaporise et est dirigée à travers des buses à grande vitesse.
Ces jets créent un flux à grande vitesse qui balaie les molécules de gaz dans la chambre, abaissant ainsi efficacement la pression.
2. Types de fluides
La référence mentionne deux types spécifiques de fluides utilisés dans les pompes à diffusion : l'éther polyphénylique et le polyéther perfluoré.
L'éther polyphénylique est apprécié pour sa faible pression de vapeur et sa résistance au bombardement d'électrons, ce qui le rend adapté à des applications spécifiques de haute technologie.
Le perfluoropolyéther, quant à lui, est un composé très inerte en raison de sa structure riche en fluor, qui le rend résistant à divers produits chimiques et facteurs environnementaux.
Cependant, ses produits de décomposition sont toxiques, ce qui nécessite une manipulation prudente.
3. Entretien et efficacité
Le fonctionnement d'une pompe à diffusion est relativement peu exigeant en termes d'entretien. Il faut surtout veiller à la qualité et au niveau de l'huile utilisée.
Une huile de haute qualité garantit des performances optimales et réduit la nécessité d'un entretien fréquent.
Le système de chauffage de la pompe, qui joue un rôle essentiel dans la vaporisation de l'huile, doit également être vérifié régulièrement pour garantir son bon fonctionnement.
4. Applications et performances
Les pompes à diffusion sont capables d'atteindre des niveaux de vide élevés, allant de 10^-2 à 10^-10 torr.
Elles conviennent donc à diverses applications industrielles telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide, les revêtements et les fours sous vide.
Leur durabilité et leur fiabilité découlent de l'absence de pièces mobiles, ce qui simplifie également leur fonctionnement et leur entretien.
5. Une conception et un fonctionnement uniques
Une pompe à diffusion est un outil robuste et efficace pour créer des vides importants.
Elle exploite l'énergie cinétique du fluide vaporisé pour entraîner et éliminer les molécules de gaz d'une chambre.
Sa conception et son fonctionnement sont différents de ceux des pompes mécaniques, offrant une solution unique pour les besoins en vide poussé dans diverses industries.
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