La fonction d'une pompe à diffusion est de créer un environnement à vide poussé en utilisant l'énergie cinétique d'un fluide vaporisé pour entraîner et éliminer les molécules de gaz d'une chambre. Contrairement aux pompes mécaniques qui utilisent des pièces mobiles pour déplacer l'air, les pompes à diffusion fonctionnent en vaporisant un fluide, généralement de l'huile, qui capture ensuite les molécules d'air et les transporte vers une zone plus froide où elles sont libérées. Ce processus s'appuie sur l'élan du flux de vapeur et l'effet de refroidissement pour évacuer efficacement la chambre.
Explication détaillée :
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Principe de fonctionnement :
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Les pompes à diffusion fonctionnent selon le principe de l'entraînement des fluides, où la vapeur d'un fluide en ébullition capture les molécules d'air. Ce principe s'oppose à celui des pompes mécaniques, qui utilisent des mécanismes physiques tels que des pistons ou des pales pour pousser l'air hors d'une chambre. Dans les pompes à diffusion, le fluide (souvent appelé huile) est chauffé jusqu'à ce qu'il se vaporise. Le flux de vapeur à grande vitesse interagit alors avec les molécules de gaz dans la chambre, les entraînant efficacement vers la sortie.Mécanisme d'élimination des gaz :
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Le fluide vaporisé, qui contient les molécules de gaz entraînées, se déplace vers une partie plus froide de la pompe où il se condense. Cette condensation libère les molécules de gaz capturées, qui sont alors évacuées du système. La combinaison de la gravité et du flux directionnel des vapeurs permet de guider les molécules de gaz vers le bas de la pompe, améliorant ainsi l'efficacité du processus d'évacuation.
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Capacités de vide élevé :
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Les pompes à diffusion sont capables d'atteindre des pressions très basses, comprises entre 10-2 et 10-10 torr. Cette capacité de vide élevé les rend adaptées à diverses applications industrielles telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide, les revêtements et les fours sous vide. L'absence de pièces mobiles dans les pompes à diffusion contribue à leur durabilité et à leur fiabilité.Exigences opérationnelles :
Bien que les pompes à diffusion ne comportent pas de pièces mobiles, elles ont besoin d'une pompe d'appoint pour maintenir une faible pression dans le système pendant les périodes d'inactivité. Lorsque la pompe à diffusion est opérationnelle, la pompe d'appui est isolée et sa fonction principale est d'aider à maintenir les conditions de vide nécessaires.
