Une pompe à diffusion est un type de pompe à vide qui fonctionne en utilisant un jet de vapeur à grande vitesse pour diriger les molécules de gaz hors d'une chambre, créant ainsi un vide. Cependant, il ne peut pas fonctionner efficacement à la pression atmosphérique car son fonctionnement repose sur un vide préexistant. À pression atmosphérique, la densité des molécules de gaz est trop élevée pour que le jet de vapeur puisse les diriger efficacement, ce qui rend la pompe inefficace. De plus, le fluide de travail de la pompe serait exposé à l'oxygène atmosphérique, entraînant une oxydation et une dégradation du fluide. Par conséquent, les pompes à diffusion nécessitent une pompe secondaire pour réduire la pression à un niveau où elles peuvent fonctionner efficacement, généralement dans la plage de 10^-2 à 10^-3 Torr.
Points clés expliqués :

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Principe de fonctionnement d'une pompe à diffusion:
- Les pompes à diffusion utilisent un jet de vapeur à grande vitesse (généralement de l'huile ou du mercure) pour diriger les molécules de gaz hors de la chambre à vide.
- Ce processus repose sur le transfert d'impulsion du jet de vapeur vers les molécules de gaz, ce qui nécessite une densité de molécules de gaz suffisamment faible pour être efficace.
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Limites à la pression atmosphérique:
- À pression atmosphérique (760 Torr), la densité des molécules de gaz est extrêmement élevée.
- Le jet de vapeur ne peut pas diriger efficacement un si grand nombre de molécules, ce qui rend la pompe inefficace.
- La forte densité des molécules de gaz entraînerait également une dispersion du jet de vapeur, réduisant encore davantage l'efficacité de la pompe.
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Risque d'oxydation et de dégradation:
- Le fluide de travail dans une pompe à diffusion (généralement de l'huile ou du mercure) est sensible à l'oxydation.
- À pression atmosphérique, le fluide serait exposé à l’oxygène, entraînant une oxydation et une dégradation du fluide.
- Cela réduirait non seulement l'efficacité de la pompe, mais nécessiterait également un entretien et un remplacement fréquents du fluide.
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Besoin d'une pompe d'appoint:
- Pour fonctionner efficacement, une pompe à diffusion nécessite un vide préexistant, généralement compris entre 10^-2 et 10^-3 Torr.
- Ce vide initial est créé à l'aide d'une pompe secondaire, telle qu'une pompe à palettes ou une pompe à membrane.
- La pompe secondaire réduit la pression à un niveau où la pompe à diffusion peut prendre le relais et atteindre des niveaux de vide plus élevés.
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Applications typiques:
- Les pompes à diffusion sont couramment utilisées dans les applications nécessitant des niveaux de vide élevés, telles que la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement sous vide et la recherche scientifique.
- Ces applications impliquent généralement des processus qui nécessitent des pressions bien inférieures à la pression atmosphérique, ce qui rend les pompes à diffusion idéales pour de tels environnements.
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Pompes alternatives pour pression atmosphérique:
- Pour les applications nécessitant un fonctionnement à la pression atmosphérique ou proche de celle-ci, d'autres types de pompes, telles que les pompes à palettes rotatives, les pompes à membrane ou les pompes à spirale, sont plus adaptées.
- Ces pompes sont conçues pour gérer la haute densité de molécules de gaz à pression atmosphérique et ne dépendent pas d'un jet de vapeur pour fonctionner.
En résumé, une pompe à diffusion ne s’utilise pas à pression atmosphérique car son principe de fonctionnement repose sur un vide préexistant pour fonctionner efficacement. La densité élevée des molécules de gaz à la pression atmosphérique rendrait la pompe inefficace et l'exposition à l'oxygène dégraderait le fluide de travail. Par conséquent, les pompes à diffusion sont toujours utilisées conjointement avec une pompe secondaire pour atteindre les niveaux de vide initiaux nécessaires.
Tableau récapitulatif :
Point clé | Explication |
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Principe de fonctionnement | Utilise un jet de vapeur à grande vitesse pour diriger les molécules de gaz, nécessitant une faible densité de gaz. |
Limites à la pression atmosphérique | Une densité élevée du gaz rend le jet de vapeur inefficace et provoque une diffusion. |
Risque d'oxydation | Le fluide de travail (huile/mercure) se dégrade lorsqu'il est exposé à l'oxygène. |
Besoin d'une pompe d'appoint | Nécessite un vide préexistant (10^-2 à 10^-3 Torr) pour fonctionner efficacement. |
Applications typiques | Utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement sous vide et la recherche scientifique. |
Pompes alternatives | Les pompes rotatives à palettes, à membrane ou à spirale sont meilleures pour la pression atmosphérique. |
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