Le niveau de vide d'une pompe à diffusion peut atteindre un vide limite de l'ordre de 10^-6 Torr. Ce niveau de vide élevé est obtenu grâce à l'utilisation d'une pompe à diffusion à huile, qui fonctionne sans pièces mobiles et utilise la vaporisation et la condensation de l'huile pour piéger et extraire les molécules de gaz, créant ainsi un environnement de vide élevé.
Explication :
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Principe de fonctionnement: La pompe à diffusion fonctionne sur la base de la vaporisation de l'huile, qui se condense ensuite en tombant. Ce processus permet de piéger et d'extraire les molécules de gaz, ce qui entraîne la création d'un vide poussé. L'absence de pièces mobiles dans la pompe à diffusion renforce sa durabilité et sa fiabilité, ce qui la rend adaptée à diverses applications industrielles telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide, les revêtements et les fours à vide.
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Niveaux de vide: La pompe à diffusion est capable de produire un vide poussé allant de 10^-2 à 10^-10 Torr. Lorsque la pompe mécanique atteint des pressions inférieures à 20 Torr, son efficacité diminue, ce qui nécessite l'utilisation d'une pompe de surpression et éventuellement d'une pompe à diffusion pour atteindre les niveaux de vide souhaités.
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Configuration du système: La pompe à diffusion fait généralement partie d'un système de vide à plusieurs étages qui comprend une pompe mécanique et une pompe de maintien. La pompe de maintien garantit que l'huile contenue dans la pompe de diffusion ne s'échappe pas dans le récipient lorsque la vanne de croisement entre la pompe mécanique et la pompe de diffusion est activée. Cette configuration est cruciale pour maintenir l'intégrité des niveaux de vide atteints par la pompe de diffusion.
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Application dans les fours: Dans les applications industrielles telles que les fours à vide, l'utilisation d'une pompe à diffusion peut améliorer considérablement les niveaux de vide. Par exemple, un four équipé d'une pompe à diffusion peut atteindre un vide de fonctionnement de l'ordre de 10^-5 Torr, contre 50-60 Micron Hg sans pompe à diffusion. Ce niveau de vide plus élevé est essentiel pour les procédés qui nécessitent un environnement très propre et contrôlé, exempt de contaminants atmosphériques.
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Vide ultime: Le vide limite d'un four à pompe à diffusion est généralement de l'ordre de 10^-6 Torr, ce qui est nettement inférieur à ce que l'on peut obtenir avec des pompes mécaniques seules. Ce niveau de vide est crucial pour assurer le bon fonctionnement et l'efficacité des processus industriels de haute précision.
En résumé, le niveau de vide d'une pompe à diffusion se caractérise par sa capacité à atteindre des pressions extrêmement basses, typiquement de l'ordre de 10^-6 Torr, ce qui est essentiel pour les applications industrielles de haute précision nécessitant un environnement très propre et contrôlé.
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