Produits Équipement thermique MPCVD Système de réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) pour diamant 915 MHz
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Système de réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) pour diamant 915 MHz

MPCVD

Système de réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) pour diamant 915 MHz

Numéro d'article : MP-CVD-101

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Introduction

La machine à diamant MPCVD est une technologie révolutionnaire qui utilise le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) pour synthétiser des diamants. Cette méthode avancée permet une croissance cristalline plus rapide, une capacité de production plus élevée et une qualité de diamant améliorée par rapport aux techniques traditionnelles.

La machine à diamant MPCVD permet un contrôle précis de la puissance des micro-ondes et de la température de réaction, éliminant les problèmes rencontrés dans d'autres méthodes CVD. En optimisant la conception de la chambre de réaction et les paramètres du processus, elle obtient une décharge de plasma stable, essentielle pour produire des diamants monocristallins de grande taille et de haute qualité.

La polyvalence de la machine à diamant MPCVD s'étend à sa capacité à créer des diamants de différentes couleurs, notamment blanc, jaune, rose et bleu. De plus, elle offre une production personnalisable pour répondre aux demandes spécifiques du marché.

Application

Les machines à diamant MPCVD sont largement utilisées dans diverses industries en raison des propriétés uniques des diamants, telles que leur dureté, leur rigidité, leur conductivité thermique élevée, leur faible dilatation thermique, leur résistance aux radiations et leur inertie chimique. Voici quelques-uns des principaux domaines d'application des machines à diamant MPCVD :

  • Gemmes de diamant : Le MPCVD est l'équipement principal utilisé pour cultiver des gemmes de diamant de haute qualité et de grande taille.
  • Films de diamant : Le MPCVD est utilisé pour cultiver des films de diamant pour diverses applications, y compris des substrats de diamant de grande taille pour l'industrie des semi-conducteurs et des outils de coupe ou de forage diamantés.
  • Applications industrielles : Le MPCVD est utilisé pour produire des revêtements diamantés pour les outils de coupe, les forets et d'autres applications industrielles où une dureté et une durabilité extrêmes sont requises.
  • Applications biomédicales : Le MPCVD est utilisé pour produire des revêtements diamantés pour les implants médicaux, tels que les articulations artificielles et les implants dentaires, où la biocompatibilité et la durabilité sont essentielles.
  • Optoélectronique : Le MPCVD est utilisé pour produire des fenêtres et des substrats en diamant pour les dispositifs optoélectroniques, tels que les lasers de haute puissance et les détecteurs, où une conductivité thermique élevée et une faible dilatation thermique sont critiques.

Détails et pièces

Détails MPCVD

Détails MPCVD

Principe

Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) est un processus de dépôt chimique en phase vapeur qui utilise une source de micro-ondes continue pour générer et maintenir un plasma hautement réactif composé de produits chimiques réactifs et de catalyseurs essentiels. Le MPCVD est largement utilisé pour déposer des couches de diamant – le méthane et l'hydrogène sont introduits et utilisés pour cultiver de nouveaux diamants sur un substrat ensemencé de diamants.

Caractéristiques

La machine à diamant MPCVD présente plusieurs avantages pour les clients :

  • Vitesse de croissance cristalline plus rapide : 10 à 100 fois plus rapide que les méthodes traditionnelles, ce qui entraîne une efficacité de production accrue.
  • Capacité de production plus importante : Permet une capacité de production plus élevée par lot, autorisant la synthèse de diamants à plus grande échelle.
  • Performance de qualité supérieure : Produit des diamants d'une dureté et d'une ténacité supérieures à celles des diamants naturels, garantissant durabilité et longévité.
  • Couleurs plus diversifiées : Prend en charge la production de diamants dans une gamme de couleurs, y compris blanc, jaune, rose et bleu, répondant aux diverses demandes du marché.
  • Pureté de diamant plus élevée : Produit des diamants d'une pureté supérieure au diamant naturel de type II, garantissant des propriétés optiques exceptionnelles et une adéquation à diverses applications.
  • Personnalisation multi-styles : Offre des conceptions personnalisables pour répondre aux exigences spécifiques du marché, fournissant des solutions sur mesure pour différentes industries.

Spécifications techniques

Système micro-ondes (selon alimentation optionnelle)

  • Fréquence de fonctionnement : 915±15 MHz
  • Puissance de sortie : 3-75 kW réglable en continu
  • Débit d'eau de refroidissement : 120 L/min
  • Coefficient d'onde stationnaire du système : VSWR ≤ 1,5
  • Fuite de micro-ondes : < 2 mw/cm²

Système de vide et chambre de réaction

  • Taux de fuite < 5×10⁻⁹ Pa.m³/s
  • Pression ultime inférieure à 0,7 Pa (cette machine est équipée d'un manomètre Pirani importé)
  • L'augmentation de pression dans la cavité ne doit pas dépasser 50 Pa après 12 heures de maintien de la pression.
  • Mode de fonctionnement de la chambre de réaction : mode TM021 ou TM023
  • Type de cavité : cavité cylindrique refroidie, peut supporter une puissance allant jusqu'à 75 KW, haute pureté, joint d'anneau en pierre.
  • Méthode d'entrée : entrée par tête d'arrosage supérieure.
  • Fenêtre de mesure de température d'observation : 8 trous d'observation, répartis uniformément horizontalement.
  • Port d'échantillonnage : port d'échantillonnage de levage inférieur

Système de porte-échantillon

  • Diamètre de la platine porte-échantillon ≥ 200 mm, zone utile effective monocristalline ≥ 130 mm, zone utile effective polycristalline ≥ 200 mm. Plateforme de substrat à structure sandwich refroidie par eau, montée-descente verticale.

Système de gaz

  • Plaque de gaz soudée entièrement métallique, 5-7 lignes de gaz
  • Tous les circuits d'air internes de l'équipement utilisent des raccords soudés ou VCR.

Refroidissement du système

  • Refroidissement par eau à 3 voies, surveillance en temps réel de la température et du débit.
  • Débit d'eau de refroidissement du système 120 L/min, pression de l'eau de refroidissement < 4 KG, température de l'eau d'entrée 20-25°C.

Méthode de mesure de température

  • Thermomètre infrarouge externe, plage de température 300-1400 °C

Liste des pièces clés de l'équipement SL901A

Numéro de série Nom du module Remarque
1 Alimentation micro-ondes Magnétron domestique standard : Yingjie Electric / Alimentation distincte Source solide domestique : Watson (+30 000) Magnétron importé : MKS/ pastoral (+100 000)
2 Guide d'ondes, trois broches, convertisseur de mode, résonateur supérieur Fabrication maison
3 Chambre de réaction sous vide (chambre supérieure, chambre inférieure, connecteurs) Fabrication maison
4 Thermomètres infrarouges, composants de déplacement optique, supports Thermomètres infrarouges, composants de déplacement optique, supports Fuji Gold Siemens + Schneider
5 Composants de mouvement de table de refroidissement par eau (cylindres, pièces à usiner, etc.)
6 Manomètre à vide à film céramique, manomètre Pirani Inficon
7 Composants de vanne à vide (vanne à opercule ultra-haute vide, vanne pneumatique de précision * 2, vanne différentielle de remplissage de vide électromagnétique) Fujikin + Zhongke + Himat
8 Pompe à vide et raccords de tuyauterie, té, soufflet KF25 * 2, adaptateur Pompe : Flyover 16L
9 Joint d'étanchéité micro-ondes métallique * 2 ; joint d'étanchéité sous vide métallique * 1 ; plaque de quartz Quartz : Quartz de haute pureté de qualité semi-conducteur Shanghai Feilihua
10 Composants d'eau en circulation (joints, blocs de dérivation, détecteurs de débit) SMC/CKD japonais
11 Partie pneumatique (filtre CKD, électrovanne multipostion Airtac, raccords et adaptateurs de tuyauterie)
12 Connecteur de gaz, tuyau de gaz EP, connecteur VCR, filtre 0,0023 μm * 1, filtre 10 μm * 2 Fujikin
13 Boîtier de machine, table en acier inoxydable, roues universelles, pieds, vis de fixation de support, etc. Traitement personnalisé
14 Débitmètre de gaz * 6 (y compris un contrôle de pression) Standard Seven-star, option Fuji Gold (+34 000) / Alicat (42 000)
15 Traitement de la plaque de gaz (5 voies de gaz, filtre * 5, vanne pneumatique * 5, vanne manuelle * 6, soudage de pipeline) Fuji Gold
16 Contrôle automatique PLC Siemens + Schneider
17 Table en molybdène

Avantages

  • Vitesse de croissance cristalline plus rapide - 10 à 100 fois plus rapide que les méthodes traditionnelles
  • Capacité de production plus importante - capacité de production plus importante par lot
  • Performance de qualité supérieure - dureté et ténacité supérieures aux diamants naturels
  • Couleurs plus diversifiées - blanc, jaune, rose, bleu, etc.
  • Pureté de diamant plus élevée - plus pure que le diamant naturel de type II
  • Personnalisation multi-styles - peut être personnalisée selon les différents marchés

FAQ

Qu'est-ce Que Mpcvd ?

MPCVD signifie Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition et c'est un processus de dépôt de couches minces sur une surface. Il utilise une chambre à vide, un générateur de micro-ondes et un système de distribution de gaz pour créer un plasma composé de produits chimiques réactifs et des catalyseurs nécessaires. Le MPCVD est largement utilisé dans le réseau ANFF pour déposer des couches de diamant en utilisant du méthane et de l'hydrogène pour faire pousser de nouveaux diamants sur un substrat ensemencé de diamant. Il s'agit d'une technologie prometteuse pour produire de gros diamants de haute qualité à faible coût et elle est largement utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs et de la taille des diamants.

Qu'est-ce Qu'une Machine Mpcvd ?

La machine MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) est un équipement de laboratoire utilisé pour développer des films de diamant de haute qualité. Il utilise un gaz contenant du carbone et un plasma micro-ondes pour créer une boule de plasma au-dessus du substrat de diamant, qui le chauffe à une température spécifique. La boule de plasma n'entre pas en contact avec la paroi de la cavité, ce qui rend le processus de croissance du diamant exempt d'impuretés et améliore la qualité du diamant. Le système MPCVD se compose d'une chambre à vide, d'un générateur de micro-ondes et d'un système de distribution de gaz qui contrôle le flux de gaz dans la chambre.

Quels Sont Les Avantages De Mpcvd ?

Le MPCVD présente plusieurs avantages par rapport aux autres méthodes de production de diamants, tels qu'une pureté plus élevée, une consommation d'énergie moindre et la capacité de produire des diamants plus gros.

Les Diamants CVD Sont-ils Vrais Ou Faux ?

Les diamants CVD sont de vrais diamants et non des faux. Ils sont cultivés en laboratoire par un procédé appelé dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Contrairement aux diamants naturels qui sont extraits sous la surface de la terre, les diamants CVD sont créés à l'aide d'une technologie de pointe dans des laboratoires. Ces diamants sont 100% carbone et sont la forme la plus pure de diamants connus sous le nom de diamants de type IIa. Ils ont les mêmes propriétés optiques, thermiques, physiques et chimiques que les diamants naturels. La seule différence est que les diamants CVD sont créés dans un laboratoire et non extraits de la terre.
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4.8

out of

5

I'm marvelled by the MPCVD machine's ability to produce high-purity diamonds with minimal energy consumption.

Elena Volkova

4.9

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5

The MPCVD machine has revolutionized diamond synthesis, enabling the production of larger diamonds with exceptional quality.

Aiden Smith

4.7

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5

I highly recommend the MPCVD machine for its durability and cost-effectiveness. It's a game-changer in diamond synthesis.

Isabella Garcia

4.6

out of

5

The MPCVD machine is user-friendly and requires minimal maintenance. It's a valuable asset for any laboratory.

Liam Brown

4.8

out of

5

The MPCVD machine has enabled us to produce high-quality diamonds for various industrial applications. It's a reliable and efficient machine.

Sophia Patel

4.9

out of

5

The MPCVD machine's ability to adjust microwave power and control reaction temperature precisely is remarkable. It ensures consistent and high-quality diamond synthesis.

Jackson Kim

4.7

out of

5

The MPCVD machine stands out with its large-area stable discharge plasma, which enables the production of high-quality, large-sized single crystal diamonds.

Mia Rodriguez

4.6

out of

5

I'm thoroughly impressed with the MPCVD machine's ability to avoid contamination and produce purer diamonds compared to traditional methods.

Oliver Chen

4.8

out of

5

The MPCVD machine is an excellent choice for laboratories seeking to produce high-quality diamonds for research and industrial applications.

Ava Johnson

4.9

out of

5

The MPCVD machine has exceeded our expectations. It's a valuable addition to our laboratory, enabling us to produce diamonds with remarkable properties.

Lucas Baker

Produits

Système de réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) pour diamant 915 MHz

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Mpcvd

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