Four CVD & PECVD
Four tubulaire CVD polyvalent fabriqué par le client
Numéro d'article : KT-CTF16
Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations
- Max. température
- 1600 ℃
- Température de travail constante
- 1550 ℃
- Diamètre du tube du four
- 60 millimètres
- Zone de chauffage
- 3x300mm
- Taux de chauffage
- 0-10 ℃/min
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Applications
KT-CTF16 Le four CVD polyvalent fabriqué par le client peut être produit selon les exigences personnalisées du client, ce qui peut réaliser l'équipement exclusif du chercheur.
Fonction faite par le client comme chambre de four coulissante, tube de réaction de four coulissant/rotatif/basculant/secouant, chambre de réaction à lit fluidisé vertical, alimentation par gazéification liquide, alimentation et décharge continues sous vide, collecte des émissions toxiques, production pilote de CVD, etc.
Caractéristiques
- Zones de chauffage indépendantes capables de créer un champ de température constant plus long comme un gradient de température contrôlé
- Contrôle de température programmable PID, excellente précision de contrôle et prise en charge de la télécommande et du contrôle centralisé
- Contrôle du débitmètre massique MFC de haute précision, prémélange des gaz sources et vitesse d'alimentation en gaz stable
- Bride à vide en acier inoxydable avec divers orifices d'adaptation pour répondre aux différentes configurations de station de pompe à vide, bonne étanchéité et degré de vide élevé
- KT-CTF16 Pro applique un contrôleur d'écran tactile TFT de 7 pouces, un réglage de programme plus convivial et une analyse des données d'historique
Différents systèmes CVD de température et de configuration disponibles
Spécifications techniques
| Modèle de four | KT-CTF16-60 |
| Max. température | 1600℃ |
| Température de travail constante | 1550℃ |
| Matériau du tube du four | Tube Al2O3 haute pureté |
| Diamètre du tube du four | 60mm |
| Zone de chauffage | 3x300mm |
| Matériau de la chambre | Fibre polycristalline d'alumine |
| Élément chauffant | Carbure de silicium |
| Taux de chauffage | 0-10℃/min |
| Couple thermique | Type S |
| Contrôleur de température | Contrôleur PID numérique/contrôleur PID à écran tactile |
| Précision du contrôle de la température | ±1℃ |
| Unité de contrôle précise du gaz | |
| Débitmètre | Débitmètre massique MFC |
| Canaux de gaz | 3 canaux |
| Débit | MFC1 : 0-5SCCM O2 MFC2 : 0-20SCMCH4 MFC3 : 0-100 SCCM H2 MFC4 : 0-500 SCCM N2 |
| Linéarité | ±0,5 % PE |
| Répétabilité | ±0,2 % PE |
| Conduite et vanne | Acier inoxydable |
| Pression de fonctionnement maximale | 0.45MPa |
| Contrôleur de débitmètre | Contrôleur de bouton numérique/contrôleur d'écran tactile |
| Unité de vide standard (facultatif) | |
| Pompe à vide | Pompe à vide à palettes |
| Débit de la pompe | 4L/S |
| Orifice d'aspiration sous vide | KF25 |
| Jauge à vide | Vacuomètre silicone Pirani/Resistance |
| Pression de vide nominale | 10 Pa |
| Unité de vide poussé (facultatif) | |
| Pompe à vide | Pompe à palettes rotatives + pompe moléculaire |
| Débit de la pompe | 4L/S+110L/S |
| Orifice d'aspiration sous vide | KF25 |
| Jauge à vide | Jauge à vide composée |
| Pression de vide nominale | 6x10-5Pa |
| Les spécifications et configurations ci-dessus peuvent être personnalisées | |
Forfait standard
| Non. | Description | Quantité |
| 1 | fourneau | 1 |
| 2 | Tube de quartz | 1 |
| 3 | Bride de vide | 2 |
| 4 | Bloc thermique du tube | 2 |
| 5 | Crochet de bloc thermique de tube | 1 |
| 6 | Gant résistant à la chaleur | 1 |
| 7 | Contrôle précis du gaz | 1 |
| 8 | Unité de vide | 1 |
| 9 | Mode d'emploi | 1 |
Configuration facultative
- Dans la détection et la surveillance des gaz à tube, comme H2, O2, etc.
- Surveillance et enregistrement indépendants de la température du four
- Port de communication RS 485 pour télécommande PC et exportation de données
- Insérez le contrôle du débit d'alimentation en gaz, comme le débitmètre massique et le débitmètre à flotteur
- Régulateur de température à écran tactile avec fonctions polyvalentes conviviales pour l'opérateur
- Configurations de stations de pompage à vide élevé, comme la pompe à vide à palettes, la pompe moléculaire, la pompe à diffusion
Avertissements
La sécurité des opérateurs est la question la plus importante ! Veuillez faire fonctionner l'équipement avec des précautions. Travailler avec des gaz inflammables, explosifs ou toxiques est très dangereux, les opérateurs doivent prendre toutes les précautions nécessaires avant de démarrer le équipement. Travailler en pression positive à l’intérieur des réacteurs ou des chambres est dangereux, l'opérateur doit suivre strictement les procédures de sécurité. Supplémentaire des précautions doivent également être prises lors de l'utilisation de matériaux réactifs à l'air, surtout sous vide. Une fuite peut aspirer de l'air dans l'appareil et provoquer un une réaction violente se produit.
Conçu pour vous
KinTek fournit un service et des équipements sur mesure aux clients du monde entier, notre travail d'équipe spécialisé et nos riches ingénieurs expérimentés sont capables de entreprendre les exigences en matière d'équipement matériel et logiciel sur mesure, et aider notre client à constituer l'équipement exclusif et personnalisé et solution!
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