L'épaisseur du revêtement d'or par pulvérisation cathodique est généralement comprise entre 2 et 20 nm pour les applications de MEB. Ce revêtement ultrafin est appliqué sur des échantillons non conducteurs ou faiblement conducteurs afin d'empêcher leur chargement et d'améliorer le rapport signal/bruit en augmentant l'émission d'électrons secondaires.
Explication détaillée :
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Objectif et application :
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Le revêtement par pulvérisation d'or est principalement utilisé en microscopie électronique à balayage (MEB) pour recouvrir les échantillons non conducteurs ou faiblement conducteurs. Ce revêtement est essentiel car il empêche l'accumulation de champs électriques statiques sur l'échantillon, qui pourraient autrement interférer avec le processus d'imagerie. En outre, le revêtement métallique augmente l'émission d'électrons secondaires à partir de la surface de l'échantillon, ce qui améliore la visibilité et la clarté des images capturées par le MEB.Gamme d'épaisseurs :
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- Les matériaux de référence indiquent que l'épaisseur typique des films d'or pulvérisés pour le MEB se situe entre 2 et 20 nm. Cette fourchette est choisie pour s'assurer que le revêtement est suffisamment fin pour ne pas masquer les détails fins de l'échantillon, mais suffisamment épais pour assurer une conductivité électrique et une émission d'électrons secondaires adéquates.
- Exemples et techniques spécifiques :
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Dans un exemple, une plaquette de 6 pouces a été recouverte de 3 nm d'or/palladium (Au/Pd) à l'aide d'un dispositif de revêtement par pulvérisation cathodique SC7640. Les réglages utilisés étaient 800V et 12mA avec du gaz argon et un vide de 0,004 bar. Ce revêtement s'est avéré uniforme sur l'ensemble de la plaquette.Un autre exemple concerne le dépôt d'un film de platine de 2 nm sur un film de Formvar recouvert de carbone, également à l'aide du dispositif de pulvérisation cathodique SC7640. Les réglages étaient 800V et 10mA avec du gaz argon et un vide de 0,004 bar.
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Détails techniques et formules :
L'épaisseur du revêtement Au/Pd peut être calculée à l'aide de la formule :
[ Th = 7,5 I t ]
