Le revêtement par pulvérisation d'or est un processus crucial dans la microscopie électronique à balayage (MEB). Il permet d'éviter le chargement et d'améliorer la qualité des images. L'épaisseur de ce revêtement varie généralement de 2 à 20 nanomètres. Cette couche ultra-mince est appliquée sur des échantillons non conducteurs ou faiblement conducteurs. Elle améliore le rapport signal/bruit en augmentant l'émission d'électrons secondaires.
5 points clés expliqués
1. Objectif et application
Le revêtement par pulvérisation d'or est principalement utilisé au MEB pour revêtir les échantillons non conducteurs ou faiblement conducteurs. Ce revêtement est essentiel car il empêche l'accumulation de champs électriques statiques sur l'échantillon. Ces champs pourraient autrement interférer avec le processus d'imagerie. En outre, l'enrobage métallique augmente l'émission d'électrons secondaires à partir de la surface de l'échantillon. Cela améliore la visibilité et la clarté des images capturées par le MEB.
2. Gamme d'épaisseur
L'épaisseur typique des films d'or pulvérisés pour le MEB se situe entre 2 et 20 nanomètres. Cette fourchette est choisie pour s'assurer que le revêtement est suffisamment fin pour ne pas masquer les détails fins de l'échantillon. Elle est également suffisamment épaisse pour assurer une conductivité électrique et une émission d'électrons secondaires adéquates.
3. Exemples et techniques spécifiques
Dans un exemple, une plaquette de 6 pouces a été recouverte de 3 nanomètres d'or/palladium (Au/Pd) à l'aide d'une machine de revêtement par pulvérisation cathodique SC7640. Les réglages utilisés étaient 800V et 12mA avec du gaz argon et un vide de 0,004 bar. Ce revêtement s'est avéré uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Un autre exemple concerne le dépôt d'un film de platine de 2 nanomètres sur un film de Formvar recouvert de carbone, également à l'aide du dispositif de pulvérisation cathodique SC7640. Les réglages étaient 800V et 10mA avec du gaz argon et un vide de 0,004 bar.
4. Détails techniques et formules
L'épaisseur du revêtement Au/Pd peut être calculée à l'aide de la formule : [ Th = 7,5 I t ]. Ici, ( Th ) est l'épaisseur en angströms, ( I ) est le courant en mA, et ( t ) est le temps en minutes. Cette formule est applicable lorsque la tension est de 2,5KV et que la distance entre la cible et l'échantillon est de 50 mm.
5. Limites et adéquation
L'or n'est pas idéal pour l'imagerie à fort grossissement en raison de son rendement élevé en électrons secondaires. Cela entraîne une pulvérisation rapide et la formation de grands îlots ou grains dans le revêtement. Ces structures peuvent être visibles à des grossissements élevés, masquant potentiellement les détails de la surface de l'échantillon. C'est pourquoi la pulvérisation d'or est mieux adaptée à l'imagerie à des grossissements plus faibles, généralement inférieurs à 5000×.
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