Les quatre types de pompes à vide couramment utilisés sont les pompes à palettes, les pompes roots, les pompes à diffusion d'huile et les pompes turbomoléculaires. Chaque type est conçu pour atteindre des pressions de vide spécifiques et est choisi en fonction des exigences du processus d'application.
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Pompes à palettes: Ces pompes utilisent un mécanisme dans lequel un certain nombre d'ailettes montées sur un rotor glissent dans et hors des fentes du corps de la pompe lorsque le rotor tourne. Les palettes retiennent et compriment l'air, qui est ensuite expulsé par une soupape d'échappement. Les pompes à palettes permettent d'atteindre des niveaux de vide élevés, généralement jusqu'à 5x10-2 mbar. Elles sont largement utilisées dans les applications nécessitant des niveaux de vide modérés et sont réputées pour leur fiabilité et leur durabilité.
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Pompes Roots (ou pompes rotatives): Ces pompes fonctionnent selon le principe du déplacement positif, où deux rotors en étroite tolérance tournent dans des directions opposées, piégeant et expulsant le gaz. Les pompes Roots sont souvent utilisées en association avec des pompes à palettes pour augmenter la vitesse de pompage et atteindre des niveaux de vide plus élevés. Elles sont particulièrement utiles dans les applications nécessitant l'évacuation rapide de grands volumes de gaz.
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Pompes à diffusion d'huile: Ces pompes sont conçues pour atteindre des niveaux de vide élevés. Elles fonctionnent en dirigeant un jet de vapeur d'huile à grande vitesse contre les molécules de gaz entrantes, qui sont alors dirigées vers le bas et collectées au fond de la pompe. Le gaz est ensuite expulsé par une pompe d'appoint. Les pompes à diffusion d'huile sont capables d'atteindre des niveaux de vide allant jusqu'à 10-5 mbar et sont couramment utilisées dans la recherche scientifique et les processus industriels à vide poussé.
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Pompes turbomoléculaires: Ces pompes utilisent des pales tournant à grande vitesse pour donner de l'élan aux molécules de gaz, les transférant efficacement de l'entrée à la sortie de la pompe. Les pompes turbomoléculaires sont capables d'atteindre des niveaux de vide très élevés, généralement jusqu'à 10-9 mbar. Elles sont utilisées dans des applications nécessitant un vide très poussé, telles que la fabrication de semi-conducteurs et les instruments d'analyse comme les spectromètres de masse.
Chacun de ces types de pompe fonctionne dans une plage spécifique de niveaux de vide et est choisi en fonction des besoins spécifiques de l'application, notamment le niveau de vide requis, la vitesse de pompage et la nature des gaz manipulés.
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