Les semi-conducteurs SiC ont un large éventail d'applications dans les appareils électroniques et les processus de fabrication.
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Applications à haute température et à haute tension: Les dispositifs semi-conducteurs SiC peuvent fonctionner à des températures ou des tensions élevées, voire les deux. Ils conviennent donc à des applications où les semi-conducteurs traditionnels risquent d'échouer, comme l'électronique de puissance, les composants de véhicules électriques et les systèmes aérospatiaux.
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Résistance aux chocs thermiques: Le SiC possède une conductivité thermique élevée et une faible dilatation thermique, ce qui améliore sa capacité à supporter des changements de température rapides sans être endommagé. Le SiC est donc idéal pour les applications nécessitant une résistance aux chocs thermiques, telles que les tuyères de fusées, les échangeurs de chaleur et les soupapes de moteurs à combustion.
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Matériaux de la chambre de traitement améliorés: Le SiC peut être utilisé dans la fabrication d'équipements utilisés dans les chambres de traitement. Il présente les avantages suivants : grande pureté, rigidité, résistance aux produits chimiques et à l'oxydation, capacité à résister aux chocs thermiques et stabilité dimensionnelle. Le SiC peut également offrir une faible résistance électrique, ce qui ouvre de nouvelles possibilités pour le traitement des plaquettes et améliore l'uniformité du chauffage à l'intérieur de la chambre.
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Composants céramiques pour les applications de turbines: Le SiC est utilisé comme matériau céramique de qualité technique pour les composants de turbines. Sa résistance thermique supérieure, sa résistance mécanique élevée, sa dureté extrême et son faible coefficient de dilatation thermique le rendent adapté aux environnements à haute température que l'on trouve dans les systèmes de turbine.
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Fabrication de dispositifs électroniques: Le SiC est utilisé dans la fabrication d'appareils électroniques à diverses fins. Il peut être utilisé pour isoler plusieurs couches conductrices, créer des condensateurs et assurer la passivation des surfaces. Le SiC est également utilisé dans les cellules solaires, les dispositifs semi-conducteurs et les dispositifs optiquement actifs en raison de ses propriétés optiques, mécaniques et électriques.
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Dispositifs électroniques imprimables: Le SiC est utilisé dans le traitement des dispositifs électroniques imprimables afin d'améliorer l'efficacité du processus, de permettre un modelage de masse et de réduire les coûts. Ses propriétés lui permettent de créer des couches conductrices et d'assurer l'isolation dans les dispositifs électroniques imprimés.
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Films PECVD: Les films SiC PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) offrent des avantages dans les applications semi-conductrices. Ils ont une densité de capacité, une tension de claquage et des propriétés de particules plus élevées que les autres films. Les films SiC PECVD sont prometteurs pour le développement de dispositifs MEM (Micro-Electro-Mechanical Systems) résistants aux températures élevées.
Dans l'ensemble, l'utilisation de semi-conducteurs SiC offre des avantages tels que le fonctionnement à haute température, la résistance aux chocs thermiques, l'amélioration des matériaux de la chambre de traitement et l'amélioration des performances dans diverses applications électroniques et de fabrication.
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