Four CVD & PECVD
Système RF PECVD Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à radiofréquence
Numéro d'article : KT-RFPE
Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations
- Fréquence
- Fréquence RF 13,56MHZ
- Température de chauffage
- max 200°C
- Dimensions de la chambre à vide
- Ф420mm × 400 mm
Livraison:
Contactez-nous pour obtenir les détails d'expédition. Profitez-en Garantie d'expédition dans les délais.
Demandez votre devis personnalisé 👋
Obtenez votre devis maintenant! Laisser un message Obtenir un devis rapidement Via WhatsappIntroduction
Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à radiofréquence (RF PECVD) est une technique de dépôt de couches minces qui utilise le plasma pour améliorer le processus de dépôt chimique en phase vapeur. Ce procédé est utilisé pour déposer une grande variété de matériaux, notamment des métaux, des diélectriques et des semi-conducteurs. La PECVD RF est une technique polyvalente qui peut être utilisée pour déposer des films présentant un large éventail de propriétés, notamment l'épaisseur, la composition et la morphologie.
Applications
La RF-PECVD, une technique révolutionnaire dans le domaine du dépôt de couches minces, trouve de nombreuses applications dans diverses industries, notamment :
- la fabrication de composants et de dispositifs optiques
- la fabrication de dispositifs semi-conducteurs
- la production de revêtements protecteurs
- Développement de la microélectronique et des MEMS
- la synthèse de nouveaux matériaux.
Composants et fonctions
Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à radiofréquence (RF PECVD) est une technique utilisée pour déposer des couches minces sur des substrats en utilisant un générateur de radiofréquence pour créer un plasma qui ionise les gaz précurseurs. Les gaz ionisés réagissent entre eux et se déposent sur le substrat, formant un film mince. La PECVD RF est couramment utilisée pour déposer des films de carbone de type diamant (DLC) sur des substrats de germanium et de silicium pour des applications dans la gamme de longueurs d'onde infrarouge 3-12um.
Composé d'une chambre à vide, d'un système de pompage à vide, de cibles cathodiques et anodiques, d'une source RF, d'un système de mélange de gaz gonflable, d'un système d'armoire de commande informatisée, etc., cet appareil permet d'effectuer le revêtement à l'aide d'un seul bouton, de stocker et d'extraire le processus, d'activer des fonctions d'alarme, de commuter des signaux et des vannes, ainsi que d'enregistrer l'ensemble des opérations du processus.
Détails et exemples
Caractéristiques
Caractéristiques du système RF-PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à radiofréquence) :
- Revêtement à bouton unique : Simplifie le processus de revêtement et le rend facile à utiliser pour les utilisateurs.
- Stockage et récupération des processus : Permet aux utilisateurs d'enregistrer et de rappeler les paramètres du processus, ce qui garantit des résultats cohérents.
- Fonctions d'alarme : Elles alertent les utilisateurs en cas de problèmes ou d'erreurs pendant le processus de revêtement, ce qui minimise les temps d'arrêt.
- Commutation de signaux et de vannes : contrôle précis du processus d'enrobage, permettant aux utilisateurs d'obtenir les résultats souhaités.
- Enregistrement complet des opérations de traitement : Enregistre tous les paramètres du processus, ce qui facilite le suivi et l'analyse du processus de revêtement.
- Chambre à vide, système de pompage à vide, cibles cathodiques et anodiques, source RF, système de mélange de gaz gonflable, système d'armoire de commande informatique : Assure un environnement stable et contrôlé pour le processus de revêtement.
Avantages
- Dépôt d'un film de haute qualité à basse température, adapté aux substrats sensibles à la température.
- Contrôle précis de l'épaisseur et de la composition du film.
- Dépôt uniforme et conforme du film sur des géométries complexes.
- Faible contamination par les particules et films de grande pureté.
- Procédé évolutif et rentable pour la production en grande quantité.
- Procédé respectueux de l'environnement avec une production minimale de déchets dangereux.
Spécifications techniques
Partie principale de l'équipement
| Forme de l'équipement |
|
| Chambre à vide |
|
| Squelette de l'hôte |
|
| Système de refroidissement de l'eau |
|
| Armoire de commande |
|
Système de vide
| Vide ultime |
|
| Temps de rétablissement du vide |
|
| Taux de montée en pression |
|
| Configuration du système de vide |
|
| Mesure du système de vide |
|
| Fonctionnement du système de vide | Il existe deux modes de sélection du vide : manuel et automatique ;
|
| Lorsque le vide est anormal ou que l'alimentation électrique est coupée, la pompe moléculaire de la soupape à vide doit revenir à l'état fermé. La vanne de vide est équipée d'une fonction de protection de verrouillage, et l'entrée d'air de chaque cylindre est équipée d'un dispositif de réglage de la vanne d'arrêt, et il y a une position définie par le capteur pour afficher l'état fermé du cylindre ; |
|
Conformément aux conditions techniques générales de la machine de revêtement sous vide GB11164.
- Système de chauffage
- Méthode de chauffage : méthode de chauffage par lampe à iode et tungstène ;
- Régulateur de puissance : régulateur de puissance numérique ;
- Température de chauffage : température maximale de 200°C, puissance 2000W/220V, affichage contrôlable et réglable, contrôle ±2°C ;
Méthode de connexion : insertion et extraction rapides, couvercle de blindage en métal pour éviter l'encrassement, source d'alimentation isolée pour garantir la sécurité du personnel.
- Alimentation radiofréquence RF
- Fréquence : Fréquence RF 13.56MHZ ;
- Puissance : 0-2000W réglable en continu ;
- Fonction : réglage entièrement automatique de la fonction d'adaptation d'impédance, réglage entièrement automatique pour maintenir la fonction de réflexion à un niveau très bas, réflexion interne à 0,5 % près, avec fonction de réglage manuel et automatique de la conversion ;
Affichage : avec tension de polarisation, position du condensateur CT, position du condensateur RT, puissance réglée, affichage de la fonction de réflexion, avec fonction de communication, communication avec l'écran tactile, réglage et affichage des paramètres sur le logiciel de configuration, affichage de la ligne d'accord, etc.
- Cible cathodique anodique
- Cible anodique : un substrat de cuivre de φ300 mm est utilisé comme cible cathodique, la température est basse pendant le fonctionnement et aucune eau de refroidissement n'est nécessaire ;
Cible cathodique : cible cathodique en cuivre de φ200 mm refroidie à l'eau, la température est élevée pendant le travail et l'intérieur est refroidi à l'eau, afin de garantir une température constante pendant le travail. La distance maximale entre l'anode et la cible cathodique est de 100 à 250 mm.
- Contrôle du gonflage
- Débitmètre : Le débitmètre britannique à quatre voies est utilisé, le débit est compris entre 0 et 200 SCCM, avec affichage de la pression, paramètres de communication et type de gaz réglables ;
- Valve d'arrêt : La vanne d'arrêt Qixing Huachuang DJ2C-VUG6 fonctionne avec le débitmètre, mélange le gaz, le remplit dans la chambre à travers le dispositif de gonflage annulaire et s'écoule uniformément à travers la surface de la cible ;
- Bouteille de stockage de gaz de pré-étape : il s'agit principalement d'une bouteille de conversion de rinçage, qui vaporise le liquide C4H10, puis entre dans la canalisation de pré-étape du débitmètre. La bouteille de stockage de gaz est équipée d'un instrument DSP à affichage numérique de la pression, qui déclenche des alarmes de surpression et de basse pression ;
- Bouteille tampon de gaz mélangés : La bouteille tampon est mélangée à quatre gaz au cours de la dernière étape. Après le mélange, le gaz sort de la bouteille tampon jusqu'au fond de la chambre et jusqu'au sommet, et l'un d'entre eux peut être fermé indépendamment ;
Dispositif de gonflage : la conduite de gaz uniforme à la sortie du circuit de gaz du corps de la chambre, qui est chargée uniformément sur la surface cible pour améliorer l'uniformité du revêtement.
- Système de contrôle
- Écran tactile : écran tactile TPC1570GI comme ordinateur hôte + clavier et souris ;
- Logiciel de contrôle : réglage des paramètres de processus tabulaires, affichage des paramètres d'alarme, affichage des paramètres de vide et affichage des courbes, réglage et affichage des paramètres de l'alimentation RF et de l'alimentation en courant continu, enregistrement de l'état de fonctionnement de toutes les vannes et de tous les commutateurs, enregistrement des processus, enregistrement des alarmes, enregistrement des paramètres de vide, peuvent être stockés pendant environ six mois, et le fonctionnement du processus de l'ensemble de l'équipement est sauvegardé en 1 seconde pour sauvegarder les paramètres ;
- PLC : L'API d'Omron est utilisé comme ordinateur inférieur pour collecter les données de divers composants et interrupteurs en position, vannes de contrôle et divers composants, puis effectuer l'interaction des données, l'affichage et le contrôle à l'aide d'un logiciel de configuration. Ce système est plus sûr et plus fiable ;
- État de contrôle : revêtement à bouton unique, mise sous vide automatique, vide constant automatique, chauffage automatique, dépôt automatique de processus multicouches, achèvement automatique du ramassage et autres travaux ;
Avantages de l'écran tactile : le logiciel de contrôle de l'écran tactile ne peut pas être modifié, le fonctionnement stable est plus pratique et plus flexible, mais la quantité de données stockées est limitée, les paramètres peuvent être directement exportés, et lorsqu'il y a un problème avec le processus ; 6. alarme : adopter le mode d'alarme sonore et lumineuse, et enregistrer l'alarme dans la bibliothèque de paramètres d'alarme de configuration. Elle peut être consultée à tout moment dans le futur, et les données enregistrées peuvent être consultées et appelées à tout moment.
- Vide constant
- Vanne papillon à vide constant : la vanne papillon DN80 coopère avec la jauge à film capacitif Inficon CDG025 pour travailler à vide constant, l'inconvénient est que l'orifice de la vanne est facilement pollué et difficile à nettoyer ;
Mode de position de la vanne : Définir le mode de contrôle de la position.
- Eau, électricité, gaz
- Les principaux tuyaux d'entrée et de sortie sont en acier inoxydable et équipés d'entrées d'eau de secours ;
- Tous les tuyaux refroidis par eau à l'extérieur de la chambre à vide adoptent des joints fixes à changement rapide en acier inoxydable et des tuyaux en plastique à haute pression (tuyaux d'eau de haute qualité, qui peuvent être utilisés pendant longtemps sans fuite ni rupture), et les tuyaux d'entrée et de sortie d'eau en plastique à haute pression doivent être affichés en deux couleurs différentes et marqués de manière correspondante ; marque Airtek ;
- Tous les tubes refroidis à l'eau à l'intérieur de la chambre à vide sont fabriqués en matériau SUS304 de haute qualité ;
- Les circuits d'eau et de gaz sont respectivement installés avec des instruments de pression d'eau et de pression d'air sûrs et fiables, à affichage de haute précision.
- Équipé d'un refroidisseur 8P pour l'écoulement de l'eau de la machine à film de carbone.
Equipé d'une machine à eau chaude de 6KW, lorsque la porte est ouverte, l'eau chaude circule dans la pièce.
- Exigences en matière de protection de la sécurité
- La machine est équipée d'un dispositif d'alarme ;
- Lorsque la pression de l'eau ou de l'air n'atteint pas le débit spécifié, toutes les pompes à vide et les vannes sont protégées et ne peuvent pas être démarrées ; une alarme sonore et un signal lumineux rouge sont émis ;
- Lorsque la machine fonctionne normalement, si la pression de l'eau ou de l'air est soudainement insuffisante, toutes les vannes sont automatiquement fermées et une alarme sonore et un signal lumineux rouge apparaissent ;
- Lorsque le système d'exploitation est anormal (haute tension, source d'ions, système de contrôle), une alarme sonore et un signal lumineux rouge apparaissent ;
La haute tension est activée et il existe un dispositif d'alarme de protection.
- Exigences en matière d'environnement de travail
- Température ambiante : 10～35℃ ;
- Humidité relative : pas plus de 80 % ;
L'environnement autour de l'équipement est propre et l'air est pur. Il ne doit pas y avoir de poussière ou de gaz susceptibles de provoquer la corrosion des appareils électriques et d'autres surfaces métalliques ou de provoquer une conduction électrique entre les métaux.
- Exigences en matière d'alimentation électrique de l'équipement
- Source d'eau : eau douce industrielle, pression de l'eau 0,2~0,3Mpa, volume d'eau~60L/min, température d'entrée de l'eau≤25°C ; connexion du tuyau d'eau 1,5 pouces ;
- Source d'air : pression d'air 0,6MPa ;
- Alimentation électrique : système triphasé à cinq fils 380V, 50Hz, plage de fluctuation de tension : tension de ligne 342 ~ 399V, tension de phase 198 ~ 231V ; plage de fluctuation de fréquence : 49 ~ 51Hz ; consommation électrique de l'équipement : ~ 16KW ; résistance de mise à la terre ≤ 1Ω ;
Avertissements
La sécurité des opérateurs est la question la plus importante ! Veuillez faire fonctionner l'équipement avec des précautions. Travailler avec des gaz inflammables, explosifs ou toxiques est très dangereux, les opérateurs doivent prendre toutes les précautions nécessaires avant de démarrer le équipement. Travailler en pression positive à l’intérieur des réacteurs ou des chambres est dangereux, l'opérateur doit suivre strictement les procédures de sécurité. Supplémentaire des précautions doivent également être prises lors de l'utilisation de matériaux réactifs à l'air, surtout sous vide. Une fuite peut aspirer de l'air dans l'appareil et provoquer un une réaction violente se produit.
Conçu pour vous
KinTek fournit un service et des équipements sur mesure aux clients du monde entier, notre travail d'équipe spécialisé et nos riches ingénieurs expérimentés sont capables de entreprendre les exigences en matière d'équipement matériel et logiciel sur mesure, et aider notre client à constituer l'équipement exclusif et personnalisé et solution!
FAQ
Qu'est-ce que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ?
Qu'est-ce qu'un four CVD ?
Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est une technologie qui utilise diverses sources d'énergie telles que le chauffage, l'excitation du plasma ou le rayonnement lumineux pour faire réagir chimiquement des substances chimiques gazeuses ou en phase vapeur sur la phase gazeuse ou l'interface gaz-solide pour former des dépôts solides dans le réacteur au moyen de réaction chimique. Pour le dire simplement, deux ou plusieurs matières premières gazeuses sont introduites dans une chambre de réaction, puis elles réagissent l'une avec l'autre pour former un nouveau matériau et le déposer sur la surface du substrat.
Le four CVD est un système de four combiné avec une unité de four tubulaire à haute température, une unité de contrôle des gaz et une unité de vide, il est largement utilisé pour l'expérimentation et la production de préparation de matériaux composites, de processus microélectronique, d'optoélectronique semi-conducteur, d'utilisation de l'énergie solaire, de communication par fibre optique, supraconducteur technologie, domaine des revêtements de protection.
Qu'est-ce que le PECVD RF ?
Qu'est-ce que la méthode PECVD ?
Quelles sont les méthodes utilisées pour déposer des couches minces ?
Qu'est-ce que la pulvérisation magnétron ?
Qu'est-ce que Mpcvd ?
Comment fonctionne le four CVD ?
Le système de four CVD se compose d'une unité de four tubulaire à haute température, d'une unité de contrôle précise de la source de gaz réactif, d'une station de pompe à vide et des pièces d'assemblage correspondantes.
La pompe à vide consiste à éliminer l'air du tube de réaction et à s'assurer qu'il n'y a pas de gaz indésirables à l'intérieur du tube de réaction, après quoi le four tubulaire chauffera le tube de réaction à une température cible, puis l'unité de contrôle précise de la source de gaz de réaction peut introduire différents gaz avec un rapport défini dans le tube du four pour la réaction chimique, le dépôt chimique en phase vapeur sera formé dans le four CVD.
Qu'est-ce que la cible de pulvérisation?
A quoi sert le PECVD ?
Qu'est-ce qu'un équipement de dépôt de couches minces ?
Pourquoi la pulvérisation magnétron ?
Le PACVD est-il le PECVD ?
Qu'est-ce qu'une machine Mpcvd ?
Quel gaz est utilisé dans le procédé CVD ?
Il existe d'énormes sources de gaz pouvant être utilisées dans le processus CVD, les réactions chimiques courantes de CVD comprennent la pyrolyse, la photolyse, la réduction, l'oxydation, le redox, de sorte que les gaz impliqués dans ces réactions chimiques peuvent être utilisés dans le processus CVD.
Nous prenons la croissance du graphène CVD par exemple, les gaz utilisés dans le processus CVD seront CH4, H2, O2 et N2.
Quel est le principe de base du CVD ?
Comment sont fabriquées les cibles de pulvérisation ?
Quels sont les avantages du PECVD ?
Qu'est-ce que la technologie de dépôt en couche mince ?
Quels sont les matériaux utilisés dans le dépôt de couches minces ?
Le dépôt de couches minces utilise couramment des métaux, des oxydes et des composés comme matériaux, chacun avec ses avantages et ses inconvénients uniques. Les métaux sont préférés pour leur durabilité et leur facilité de dépôt mais sont relativement coûteux. Les oxydes sont très durables, peuvent résister à des températures élevées et peuvent se déposer à basse température, mais peuvent être cassants et difficiles à travailler. Les composés offrent résistance et durabilité, peuvent être déposés à basse température et adaptés pour présenter des propriétés spécifiques.
Le choix du matériau pour un revêtement en couche mince dépend des exigences de l'application. Les métaux sont idéaux pour la conduction thermique et électrique, tandis que les oxydes sont efficaces pour offrir une protection. Les composés peuvent être adaptés pour répondre à des besoins spécifiques. En fin de compte, le meilleur matériau pour un projet particulier dépendra des besoins spécifiques de l'application.
Quels sont les avantages de Mpcvd ?
Quel est l'avantage du système CVD ?
- Une large gamme de films peut être produite, film métallique, film non métallique et film d'alliage multi-composants selon les besoins. En même temps, il peut préparer des cristaux de haute qualité difficiles à obtenir par d'autres méthodes, telles que GaN, BP, etc.
- La vitesse de formation du film est rapide, généralement plusieurs microns par minute voire des centaines de microns par minute. Il est possible de déposer simultanément de grandes quantités de revêtements avec une composition uniforme, ce qui est incomparable aux autres méthodes de préparation de film, telles que l'épitaxie en phase liquide (LPE) et l'épitaxie par jet moléculaire (MBE).
- Les conditions de travail sont réalisées dans des conditions de pression normale ou de vide faible, de sorte que le revêtement a une bonne diffraction et que les pièces aux formes complexes peuvent être uniformément revêtues, ce qui est bien supérieur au PVD.
- En raison de la diffusion mutuelle du gaz de réaction, du produit de réaction et du substrat, un revêtement avec une bonne force d'adhérence peut être obtenu, ce qui est crucial pour la préparation de films renforcés en surface tels que des films résistants à l'usure et anti-corrosion.
- Certains films se développent à une température bien inférieure au point de fusion du matériau du film. Dans des conditions de croissance à basse température, le gaz de réaction et la paroi du réacteur et les impuretés qu'ils contiennent ne réagissent presque pas, de sorte qu'un film de haute pureté et de bonne cristallinité peut être obtenu.
- Le dépôt chimique en phase vapeur permet d'obtenir une surface de dépôt lisse. En effet, par rapport au LPE, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est effectué sous une saturation élevée, avec un taux de nucléation élevé, une densité de nucléation élevée et une distribution uniforme sur tout le plan, ce qui donne une surface lisse macroscopique. Dans le même temps, dans le dépôt chimique en phase vapeur, le libre parcours moyen des molécules (atomes) est beaucoup plus grand que le LPE, de sorte que la distribution spatiale des molécules est plus uniforme, ce qui favorise la formation d'une surface de dépôt lisse.
- Faibles dommages causés par les radiations, condition nécessaire à la fabrication de semi-conducteurs à oxyde métallique (MOS) et d'autres dispositifs
Quels sont les différents types de méthode CVD ?
A quoi sert la cible de pulvérisation ?
Quelle est la différence entre ALD et PECVD ?
Quelles sont les méthodes pour obtenir un dépôt optimal de couches minces ?
Pour obtenir des films minces aux propriétés souhaitables, des cibles de pulvérisation et des matériaux d'évaporation de haute qualité sont essentiels. La qualité de ces matériaux peut être influencée par divers facteurs, tels que la pureté, la granulométrie et l'état de surface.
La pureté des cibles de pulvérisation ou des matériaux d'évaporation joue un rôle crucial, car les impuretés peuvent provoquer des défauts dans le film mince résultant. La taille des grains affecte également la qualité du film mince, des grains plus gros entraînant de mauvaises propriétés du film. De plus, l'état de surface est crucial, car les surfaces rugueuses peuvent entraîner des défauts dans le film.
Pour atteindre des cibles de pulvérisation et des matériaux d'évaporation de la plus haute qualité, il est crucial de sélectionner des matériaux qui possèdent une grande pureté, une petite taille de grain et des surfaces lisses.
Utilisations du dépôt de couches minces
Films minces à base d'oxyde de zinc
Les couches minces de ZnO trouvent des applications dans plusieurs industries telles que la thermique, l'optique, le magnétique et l'électricité, mais leur utilisation principale est dans les revêtements et les dispositifs à semi-conducteurs.
Résistances à couches minces
Les résistances à couches minces sont cruciales pour la technologie moderne et sont utilisées dans les récepteurs radio, les circuits imprimés, les ordinateurs, les appareils à radiofréquence, les moniteurs, les routeurs sans fil, les modules Bluetooth et les récepteurs de téléphones portables.
Couches Minces Magnétiques
Les couches minces magnétiques sont utilisées dans l'électronique, le stockage de données, l'identification par radiofréquence, les dispositifs à micro-ondes, les écrans, les cartes de circuits imprimés et l'optoélectronique en tant que composants clés.
Couches minces optiques
Les revêtements optiques et l'optoélectronique sont des applications standard des couches minces optiques. L'épitaxie par faisceau moléculaire peut produire des dispositifs optoélectroniques à couches minces (semi-conducteurs), où les films épitaxiaux sont déposés un atome à la fois sur le substrat.
Films minces polymères
Les couches minces de polymère sont utilisées dans les puces de mémoire, les cellules solaires et les appareils électroniques. Les techniques de dépôt chimique (CVD) offrent un contrôle précis des revêtements de film polymère, y compris la conformité et l'épaisseur du revêtement.
Batteries à couches minces
Les batteries à couches minces alimentent les appareils électroniques tels que les dispositifs médicaux implantables, et la batterie lithium-ion a considérablement progressé grâce à l'utilisation de couches minces.
Revêtements à couche mince
Les revêtements en couches minces améliorent les caractéristiques chimiques et mécaniques des matériaux cibles dans diverses industries et domaines technologiques. Les revêtements antireflets, les revêtements anti-ultraviolets ou anti-infrarouges, les revêtements anti-rayures et la polarisation des lentilles en sont des exemples courants.
Cellules solaires à couche mince
Les cellules solaires à couches minces sont essentielles à l'industrie de l'énergie solaire, permettant la production d'électricité relativement bon marché et propre. Les systèmes photovoltaïques et l'énergie thermique sont les deux principales technologies applicables.
Les diamants CVD sont-ils vrais ou faux ?
Que signifie PECVD ?
Le PECVD est une technologie qui utilise le plasma pour activer le gaz de réaction, favoriser la réaction chimique à la surface du substrat ou près de l'espace de surface et générer un film solide. Le principe de base de la technologie de dépôt chimique en phase vapeur par plasma est que, sous l'action d'un champ électrique RF ou CC, le gaz source est ionisé pour former un plasma, le plasma à basse température est utilisé comme source d'énergie, une quantité appropriée de gaz de réaction est introduit, et la décharge de plasma est utilisée pour activer le gaz de réaction et réaliser le dépôt chimique en phase vapeur.
Selon la méthode de génération de plasma, il peut être divisé en plasma RF, plasma DC et plasma micro-ondes CVD, etc.
Que sont les cibles de pulvérisation pour l'électronique ?
Quelle est la différence entre le PECVD et la pulvérisation ?
Facteurs et paramètres qui influencent le dépôt de couches minces
Taux de dépôt :
La vitesse à laquelle le film est produit, généralement mesurée en épaisseur divisée par le temps, est cruciale pour sélectionner une technologie adaptée à l'application. Des taux de dépôt modérés sont suffisants pour les films minces, tandis que des taux de dépôt rapides sont nécessaires pour les films épais. Il est important de trouver un équilibre entre la vitesse et le contrôle précis de l'épaisseur du film.
Uniformité:
La consistance du film à travers le substrat est connue sous le nom d'uniformité, qui fait généralement référence à l'épaisseur du film, mais peut également être liée à d'autres propriétés telles que l'indice de réfraction. Il est important d'avoir une bonne compréhension de l'application pour éviter de sous-spécifier ou de sur-spécifier l'uniformité.
Capacité de remplissage :
La capacité de remplissage ou la couverture des étapes fait référence à la façon dont le processus de dépôt couvre la topographie du substrat. La méthode de dépôt utilisée (par exemple, CVD, PVD, IBD ou ALD) a un impact significatif sur la couverture et le remplissage des étapes.
Caractéristiques du film :
Les caractéristiques du film dépendent des exigences de l'application, qui peuvent être classées comme photoniques, optiques, électroniques, mécaniques ou chimiques. La plupart des films doivent satisfaire aux exigences dans plus d'une catégorie.
Température de processus :
Les caractéristiques du film sont considérablement affectées par la température du procédé, qui peut être limitée par l'application.
Dommage:
Chaque technologie de dépôt a le potentiel d'endommager le matériau sur lequel elle est déposée, les éléments plus petits étant plus susceptibles d'être endommagés par le processus. La pollution, le rayonnement UV et le bombardement ionique font partie des sources potentielles de dommages. Il est crucial de comprendre les limites des matériaux et des outils.
Quelle est la différence entre CVD et PECVD ?
La différence entre la technologie PECVD et la technologie CVD traditionnelle est que le plasma contient un grand nombre d'électrons à haute énergie, qui peuvent fournir l'énergie d'activation requise dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur, modifiant ainsi le mode d'alimentation en énergie du système de réaction. Étant donné que la température des électrons dans le plasma est aussi élevée que 10000K, la collision entre les électrons et les molécules de gaz peut favoriser la rupture de la liaison chimique et la recombinaison des molécules de gaz de réaction pour générer des groupes chimiques plus actifs, tandis que l'ensemble du système de réaction maintient une température plus basse.
Ainsi, par rapport au processus CVD, le PECVD peut effectuer le même processus de dépôt chimique en phase vapeur avec une température plus basse.
Quelle est la durée de vie d'une cible de pulvérisation ?
4.7
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great tool for depositing high-quality thin films. We've been using it for several months now and have been very happy with the results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition has been a lifesaver in our lab. It's allowed us to produce high-quality thin films quickly and easily.
4.9
out of
5
We are very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a game-changer for our research. It's allowed us to explore new possibilities that we never thought possible.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few months now and have been very impressed with its performance. It's a powerful tool that has helped us to achieve great results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great investment for any lab. It's easy to use and produces high-quality results. I highly recommend it.
4.9
out of
5
We're very happy with our RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a reliable system that has helped us to improve our research.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a top-of-the-line system. It's a must-have for any lab that wants to stay ahead of the curve.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few years now and have been very happy with it. It's a versatile system that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great value for the money. It's a powerful system that can be used for a variety of applications.
4.9
out of
5
We're very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a game-changer for our research. It's allowed us to explore new possibilities that we never thought possible.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few months now and have been very impressed with its performance. It's a powerful tool that has helped us to achieve great results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great investment for any lab. It's easy to use and produces high-quality results. I highly recommend it.
4.9
out of
5
We're very happy with our RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a reliable system that has helped us to improve our research.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a top-of-the-line system. It's a must-have for any lab that wants to stay ahead of the curve.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few years now and have been very happy with it. It's a versatile system that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great value for the money. It's a powerful system that can be used for a variety of applications.
4.9
out of
5
We're very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
PDF - Système RF PECVD Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à radiofréquence
TéléchargerCatalogue de Four Cvd &Amp; Pecvd
TéléchargerCatalogue de Rf Pecvd
TéléchargerCatalogue de Machine À Pecvd
TéléchargerCatalogue de Équipement De Dépôt De Couches Minces
TéléchargerCatalogue de Matériaux De Dépôt De Couches Minces
TéléchargerCatalogue de Pacvd
TéléchargerCatalogue de Machine Mpcvd
TéléchargerCatalogue de Four Cvd
TéléchargerCatalogue de Machine Cvd
TéléchargerCatalogue de Cibles De Pulvérisation
TéléchargerRICHIEDI UN PREVENTIVO
Il nostro team di professionisti ti risponderà entro un giorno lavorativo. Non esitate a contattarci!
Produits associés
Machine de revêtement par évaporation améliorée par plasma PECVD
Améliorez votre processus de revêtement avec l'équipement de revêtement PECVD. Idéal pour les LED, les semi-conducteurs de puissance, les MEMS, etc. Dépose des films solides de haute qualité à basse température.
Machine à four tubulaire à dépôt chimique assisté par plasma rotatif incliné (PECVD)
Présentation de notre four PECVD rotatif incliné pour un dépôt précis de couches minces. Profitez d'une source d'adaptation automatique, d'un contrôle de température programmable PID et d'un contrôle de débitmètre massique MFC de haute précision. Fonctions de sécurité intégrées pour une tranquillité d'esprit.
Four tubulaire à glissière PECVD avec gazéificateur de liquide Machine PECVD
Système PECVD à glissière KT-PE12 : large plage de puissance, contrôle de la température programmable, chauffage/refroidissement rapide avec système coulissant, contrôle du débit massique MFC et pompe à vide.
Machine à diamant MPCVD à résonateur cylindrique pour la croissance de diamants en laboratoire
Découvrez la machine MPCVD à résonateur cylindrique, la méthode de dépôt chimique en phase vapeur par plasma à micro-ondes utilisée pour produire des pierres précieuses et des films en diamant dans les secteurs de la bijouterie et des semi-conducteurs. Découvrez ses avantages économiques par rapport aux méthodes HPHT traditionnelles.
La machine de distribution de colle de laboratoire entièrement automatique à cavité en alliage d'aluminium de 4 pouces est un appareil compact et résistant à la corrosion conçu pour une utilisation en laboratoire. Il comporte un couvercle transparent avec un positionnement à couple constant, une cavité intérieure d'ouverture de moule intégrée pour un démontage et un nettoyage faciles, et un bouton de masque facial couleur à affichage de texte LCD pour une utilisation facile.
Bell-jar Resonator MPCVD Machine pour la croissance de laboratoire et de diamants
Obtenez des films diamantés de haute qualité avec notre machine Bell-jar Resonator MPCVD conçue pour la croissance de laboratoire et de diamants. Découvrez comment le dépôt chimique en phase vapeur par plasma micro-ondes fonctionne pour la croissance de diamants à l'aide de gaz carbonique et de plasma.
Homogénéisateur de laboratoire entièrement automatique à cavité acrylique de 4 pouces
La machine de distribution de colle de laboratoire entièrement automatique à cavité acrylique de 4 pouces est une machine compacte, résistante à la corrosion et facile à utiliser, conçue pour être utilisée dans les opérations de boîte à gants. Il comporte un couvercle transparent avec un positionnement à couple constant pour le positionnement de la chaîne, une cavité intérieure d'ouverture de moule intégrée et un bouton de masque facial couleur à affichage de texte LCD. La vitesse d'accélération et de décélération est contrôlable et réglable, et le contrôle du fonctionnement du programme en plusieurs étapes peut être réglé.
Machine à diamant MPCVD 915MHz
La machine MPCVD 915 MHz pour diamants et sa croissance efficace multi-cristaux, la zone maximale peut atteindre 8 pouces, la zone maximale de croissance efficace du monocristal peut atteindre 5 pouces. Cet équipement est principalement utilisé pour la production de films de diamant polycristallin de grande taille, la croissance de longs diamants monocristallins, la croissance à basse température de graphène de haute qualité et d'autres matériaux dont la croissance nécessite de l'énergie fournie par un plasma à micro-ondes.
Revêtement par évaporation par faisceau d'électrons Creuset en cuivre sans oxygène
Lors de l'utilisation de techniques d'évaporation par faisceau d'électrons, l'utilisation de creusets en cuivre sans oxygène minimise le risque de contamination par l'oxygène pendant le processus d'évaporation.
Four tubulaire CVD polyvalent fabriqué par le client
Obtenez votre four CVD exclusif avec le four polyvalent fabriqué par le client KT-CTF16. Fonctions de glissement, de rotation et d'inclinaison personnalisables pour des réactions précises. Commandez maintenant!
L'homogénéisateur de colle de laboratoire entièrement automatique à chambre en acier inoxydable de 4 pouces est un appareil compact et résistant à la corrosion conçu pour être utilisé dans les opérations de boîte à gants. Il comporte un couvercle transparent avec un positionnement à couple constant et une cavité intérieure d'ouverture de moule intégrée pour un démontage, un nettoyage et un remplacement faciles.
Four de frittage par plasma étincelant Four SPS
Découvrez les avantages des fours de frittage par plasma à étincelles pour la préparation rapide de matériaux à basse température. Chauffage uniforme, faible coût et respect de l'environnement.
Appuyez sur la batterie bouton 5T
Préparez efficacement des échantillons avec notre presse à pile bouton 5T. Idéal pour les laboratoires de recherche sur les matériaux et la production à petite échelle. Faible encombrement, léger et compatible avec le vide.
Revêtement diamant CVD : conductivité thermique, qualité cristalline et adhérence supérieures pour les outils de coupe, les applications de friction et acoustiques
Presse à granulés de laboratoire chauffée, automatique et divisée 30T / 40T
Découvrez notre presse de laboratoire chauffante automatique 30T/40T pour la préparation précise d'échantillons dans les secteurs de la recherche sur les matériaux, de la pharmacie, de la céramique et de l'électronique. Avec un faible encombrement et un chauffage jusqu'à 300°C, elle est parfaite pour le traitement sous vide.
Améliorez vos expériences électrochimiques avec notre électrode à disque de platine. De haute qualité et fiable pour des résultats précis.
Moulin à rouleaux de laboratoire
Le broyeur à cylindres est un broyeur horizontal d'une capacité de 1 à 20 litres. Il utilise différents réservoirs rotatifs pour broyer des échantillons de moins de 20 mm. Les caractéristiques comprennent une construction en acier inoxydable, un couvercle insonorisé, un éclairage LED et une fenêtre PC.
Presse à granulés de laboratoire automatique chauffée 25T / 30T / 50T
Préparez efficacement vos échantillons avec notre presse de laboratoire chauffée automatique. Avec une plage de pression allant jusqu'à 50T et un contrôle précis, elle est parfaite pour diverses industries.
Creuset en graphite à évaporation par faisceau d'électrons
Une technologie principalement utilisée dans le domaine de l'électronique de puissance. Il s'agit d'un film de graphite constitué d'un matériau source de carbone par dépôt de matériau à l'aide de la technologie à faisceau d'électrons.
Presse à granulés de laboratoire électrique divisée 40T / 65T / 100T / 150T / 200T
Préparez efficacement vos échantillons avec une presse de laboratoire électrique divisée - disponible en différentes tailles et idéale pour la recherche sur les matériaux, la pharmacie et la céramique. Profitez d'une plus grande polyvalence et d'une pression plus élevée grâce à cette option portable et programmable.
Presse à granulés de laboratoire automatique 20T / 30T / 40T / 60T / 100T
Faites l'expérience d'une préparation efficace des échantillons grâce à notre presse automatique de laboratoire. Idéale pour la recherche sur les matériaux, la pharmacie, la céramique, etc. Compacte et dotée d'une fonction de presse hydraulique avec plaques chauffantes. Disponible en plusieurs tailles.
Presse à granulés de laboratoire manuelle intégrée et chauffée 120mm / 180mm / 200mm / 300mm
Traitez efficacement les échantillons par thermopressage avec notre presse de laboratoire chauffée manuelle intégrée. Avec une plage de température allant jusqu'à 500°C, elle est parfaite pour diverses industries.
Presse isostatique à froid de laboratoire automatique (CIP) 20T / 40T / 60T / 100T
Préparez efficacement des échantillons avec notre presse isostatique à froid de laboratoire automatique. Largement utilisée dans la recherche sur les matériaux, la pharmacie et les industries électroniques. Offre une plus grande flexibilité et un meilleur contrôle par rapport aux presses isostatiques à froid électriques.
Articles associés
Comprendre le PECVD : un guide pour le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
Le PECVD est une technique utile pour créer des revêtements en couches minces car il permet le dépôt d'une grande variété de matériaux, y compris des oxydes, des nitrures et des carbures.
Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) : Un guide complet
Apprenez tout ce que vous devez savoir sur le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), une technique de dépôt de couches minces utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs. Découvrez ses principes, ses applications et ses avantages.
Comment obtenir un diamant monocristallin de haute qualité avec MPCVD
Le dépôt chimique en phase vapeur par plasma micro-ondes (MPCVD) est une technique populaire pour produire du diamant monocristallin de haute qualité.
Le rôle du plasma dans les revêtements PECVD
PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) est un type de procédé de dépôt de couches minces largement utilisé pour créer des revêtements sur divers substrats. Dans ce processus, un plasma est utilisé pour déposer des films minces de divers matériaux sur un substrat.
Une introduction au dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Le dépôt chimique en phase vapeur, ou CVD, est un procédé de revêtement qui implique l'utilisation de réactifs gazeux pour produire des films minces et des revêtements de haute qualité.
Un guide étape par étape du processus PECVD
Le PECVD est un type de procédé de dépôt chimique en phase vapeur qui utilise le plasma pour améliorer les réactions chimiques entre les précurseurs en phase gazeuse et le substrat.
Avantages et inconvénients du dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est une technique polyvalente de dépôt de couches minces largement utilisée dans diverses industries. Découvrez ses avantages, ses inconvénients et ses nouvelles applications potentielles.
Pourquoi le PECVD est essentiel pour la fabrication de dispositifs microélectroniques
PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) est une technique de dépôt de couches minces populaire utilisée dans la fabrication de dispositifs microélectroniques.
Comparaison des performances de PECVD et HPCVD dans les applications de revêtement
Bien que le PECVD et le HFCVD soient tous deux utilisés pour les applications de revêtement, ils diffèrent en termes de méthodes de dépôt, de performances et d'adéquation à des applications spécifiques.
Matériaux clés pour des processus CVD réussis
Le succès des procédés CVD dépend de la disponibilité et de la qualité des précurseurs utilisés au cours du procédé.
Un guide complet sur la maintenance des équipements PECVD
Un bon entretien de l'équipement PECVD est crucial pour assurer ses performances, sa longévité et sa sécurité optimales.
Comprendre la méthode PECVD
Le PECVD est un procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma qui est largement utilisé dans la production de couches minces pour diverses applications.