Pièces de dépôt de couches minces
Bateau d'évaporation de molybdène, tungstène et tantale pour applications à haute température
Numéro d'article : KME01
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- Tungstène / Molybdène / Tantale
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Introduction
Les bateaux d'évaporation sont utilisés dans le processus d'évaporation par résistance pour chauffer et évaporer les matériaux. Ils sont fabriqués à partir de matériaux à faible pression de vapeur, tels que le tungstène, le molybdène, le molybdène-lanthane (ML), l'oxyde de molybdène-yttrium (MY) ou le tantale, afin de garantir qu'aucune particule du matériau du bateau ne pénètre dans la vapeur et la couche finale. Les bateaux d'évaporation présentent une excellente résistance à la corrosion, de faibles pressions de vapeur, une bonne conductivité électrique, un point de fusion très élevé et sont dimensionnellement stables.
Application
Les sources de bateaux d'évaporation sont utilisées dans les systèmes d'évaporation thermique pour déposer des métaux, des alliages et des matériaux. Ils sont disponibles en différentes épaisseurs en tungstène, tantale et molybdène, assurant la compatibilité avec diverses sources d'alimentation. Ces bateaux sont essentiels pour l'évaporation sous vide et le dépôt de couches minces, y compris la fabrication par faisceau d'électrons. Ils sont largement utilisés dans des industries telles que le revêtement sous vide, l'électronique, l'énergie solaire et la métallurgie. Pour éviter la fissuration, un chauffage progressif du conteneur est essentiel. Les bateaux d'évaporation sont des outils polyvalents jouant un rôle vital dans l'analyse des matériaux et les processus de dépôt de couches minces.
Les bateaux d'évaporation en molybdène, tungstène et tantale trouvent des applications dans diverses industries, notamment :
- Évaporation sous vide de matériaux
- Transport de bateaux dans les fours
- Industrie des terres rares
- Frittage de combustible nucléaire
- Frittage par décharge de condensateur
Détail et pièces
| Longueur 100 largeur 8 épaisseur 0,2/0,3 mm | Longueur 100 largeur 15 épaisseur 0,2/0,3/0,5 mm | Longueur 100 largeur 20 épaisseur 0,2/0,3/0,5 mm | Taille de la rainure : longueur 50 profondeur 2,6 |
Principe
Les bateaux d'évaporation en molybdène/tungstène/tantale sont utilisés dans les systèmes d'évaporation thermique pour déposer une large gamme de métaux, d'alliages et de matériaux. Les bateaux sont chauffés en y faisant passer un courant électrique, ce qui provoque l'évaporation du matériau. Le matériau évaporé se condense ensuite sur le substrat, formant une couche mince. L'épaisseur de la couche peut être contrôlée par la quantité de courant passant à travers le bateau et le temps d'évaporation.
Avantages
- Excellente résistance à la corrosion
- Faibles pressions de vapeur
- Bonne conductivité électrique
- Point de fusion très élevé
- Dimensionnellement stable
FAQ
Quelles Sont Les Sources D'évaporation Thermique ?
Précautions D'utilisation Des Bateaux D'évaporation.
Quels Sont Les Principaux Types De Sources D'évaporation Thermique ?
Comment Fonctionnent Les Sources D'évaporation Thermique ?
Quels Sont Les Avantages Des Sources D'évaporation Thermique ?
Quelles Sont Les Applications Des Sources D'évaporation Thermique ?
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Produits
Bateau d'évaporation de molybdène, tungstène et tantale pour applications à haute température
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