Pour obtenir un vide poussé, on utilise généralement une combinaison de pompes, une pompe turbomoléculaire ou une pompe à diffusion d'huile étant le premier choix pour les niveaux de vide élevés. Ces pompes sont spécialisées dans l'obtention de très basses pressions et sont souvent utilisées en série avec une pré-pompe, telle qu'une pompe à palettes ou une pompe à spirale sèche.
Pompes turbomoléculaires :
Les pompes turbomoléculaires sont conçues pour fonctionner à des niveaux de vide très élevés, généralement inférieurs à 10^-7 mbar. Elles utilisent des pales rotatives pour donner de l'élan aux molécules de gaz dans une direction opposée à celle de l'écoulement du gaz, ce qui a pour effet de pomper le gaz hors du système. Ces pompes sont très efficaces pour éliminer les gaz et sont couramment utilisées dans les applications nécessitant un vide très poussé, telles que la fabrication de semi-conducteurs, la recherche scientifique et les chambres de simulation spatiale.Pompes à diffusion d'huile :
Les pompes à diffusion d'huile sont un autre type de pompe utilisé pour les applications de vide poussé. Elles fonctionnent en dirigeant un jet de vapeur d'huile à grande vitesse contre les parois d'une chambre, qui se condense ensuite et retourne dans la chaudière. Les molécules de gaz dans la chambre sont propulsées par les jets de vapeur d'huile vers une sortie où elles sont collectées et éliminées. Ces pompes peuvent atteindre des niveaux de vide allant jusqu'à 10^-7 mbar et sont souvent utilisées dans des applications scientifiques et industrielles nécessitant un vide poussé.
Les pompes turbomoléculaires et les pompes à diffusion d'huile nécessitent une pompe d'appui (telle qu'une pompe à palettes) afin de maintenir une pression suffisamment basse à l'entrée pour fonctionner efficacement. La pompe d'appui crée un vide grossier, qui est ensuite affiné par la pompe à vide poussé pour obtenir les pressions ultra-basses souhaitées.
