Lorsqu'il s'agit d'obtenir un vide poussé, une combinaison de pompes est généralement nécessaire.
Le premier choix pour les niveaux de vide élevés est souvent une pompe turbomoléculaire ou une pompe à diffusion d'huile.
Ces pompes sont conçues pour atteindre de très basses pressions et sont généralement utilisées avec une pré-pompe.
Cette dernière, telle qu'une pompe à palettes ou une pompe à spirale sèche, permet de créer les conditions de vide initiales nécessaires au bon fonctionnement de la pompe à vide poussé.
5 faits essentiels à connaître
1. Pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires sont spécifiquement conçues pour fonctionner à des niveaux de vide très élevés, généralement inférieurs à 10^-7 mbar.
Elles utilisent des pales rotatives pour donner de l'élan aux molécules de gaz dans une direction opposée à celle de l'écoulement du gaz.
Cela a pour effet de pomper le gaz hors du système, ce qui rend ces pompes très efficaces pour éliminer les gaz.
Les pompes turbomoléculaires sont couramment utilisées dans les applications nécessitant un vide très poussé, telles que la fabrication de semi-conducteurs, la recherche scientifique et les chambres de simulation spatiale.
2. Pompes à diffusion d'huile
Les pompes à diffusion d'huile sont un autre type de pompe utilisé pour les applications de vide poussé.
Elles fonctionnent en dirigeant un jet de vapeur d'huile à grande vitesse contre les parois d'une chambre.
La vapeur d'huile se condense ensuite et retourne dans la chaudière, tandis que les molécules de gaz dans la chambre sont propulsées vers une sortie où elles sont collectées et éliminées.
Ces pompes peuvent atteindre des niveaux de vide allant jusqu'à 10^-7 mbar et sont souvent utilisées dans des applications scientifiques et industrielles nécessitant un vide poussé.
3. Pompes d'appui
Les pompes turbomoléculaires et les pompes à diffusion d'huile ont besoin d'une pompe d'appui pour fonctionner efficacement.
Une pompe d'appoint, telle qu'une pompe à palettes, crée un vide approximatif à l'entrée de la pompe à vide poussé.
Ce vide grossier est ensuite affiné par la pompe à vide poussé pour obtenir les pressions ultra-basses souhaitées.
4. Combinaison de pompes
Pour les applications de vide poussé, l'utilisation d'une pompe turbomoléculaire ou d'une pompe à diffusion d'huile en combinaison avec une pompe d'appoint est essentielle.
Cette configuration est cruciale dans divers processus scientifiques et industriels où des conditions de vide poussé sont requises.
5. Applications
Les installations de vide poussé sont essentielles dans de nombreux domaines, notamment la fabrication de semi-conducteurs, la recherche scientifique et les chambres de simulation spatiale.
Ces installations garantissent la précision et la fiabilité des applications les plus exigeantes.
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