Il existe principalement deux types de techniques de pulvérisation : la pulvérisation par faisceau d'ions et la pulvérisation magnétron. Chaque méthode présente des caractéristiques et des applications distinctes.
1. Pulvérisation par faisceau d'ions :
Dans cette technique, un faisceau d'ions est dirigé vers la surface du matériau à vaporiser. Le champ électrique élevé associé au faisceau d'ions provoque l'ionisation des gaz de vapeur métallique. Après l'ionisation, le transfert de quantité de mouvement dirige ces ions vers la cible ou la pièce où le dépôt est souhaité. Cette méthode est couramment utilisée dans les applications de fabrication, en particulier dans l'industrie médicale pour la production de produits de laboratoire et de films optiques.2. Pulvérisation magnétron :
La pulvérisation magnétron implique l'utilisation d'un magnétron, qui est un type de cathode générant un plasma dans un environnement gazeux à basse pression. Ce plasma est créé à proximité du matériau cible, qui est généralement constitué de métal ou de céramique. Le plasma provoque la collision d'ions gazeux avec la cible de pulvérisation, délogeant les atomes de la surface et les éjectant dans la phase gazeuse. Le champ magnétique produit par l'aimant augmente la vitesse de pulvérisation et assure un dépôt plus uniforme du matériau pulvérisé sur le substrat. Cette technique est largement utilisée pour déposer des couches minces de métaux, d'oxydes et d'alliages sur divers substrats, ce qui la rend respectueuse de l'environnement et polyvalente pour des applications dans les semi-conducteurs, les dispositifs optiques et les nanosciences.
