Produits Équipement thermique MPCVD Bell-jar Resonator MPCVD Machine pour la croissance de laboratoire et de diamants
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Bell-jar Resonator MPCVD Machine pour la croissance de laboratoire et de diamants

MPCVD

Bell-jar Resonator MPCVD Machine pour la croissance de laboratoire et de diamants

Numéro d'article : KTMP315

Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations


Puissance micro-ondes
Fréquence micro-ondes 2450±15MHZ
Puissance de sortie
1~10 KW réglable en continu
Fuite de micro-ondes
≤2MW/cm2
Interface de guide d'ondes de sortie
WR340, 430 avec bride standard FD-340, 430
Porte-échantillon
Diamètre de la table d'échantillon≥70mm, zone d'utilisation efficace≥64 mm
ISO & CE icon

Livraison:

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MPCVD signifie Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition. Il fait pousser des films de diamant de qualité dans des laboratoires utilisant du gaz carbonique et du plasma micro-ondes.

Système MPCVD

MPCVD est un système de dépôt de couches minces sur un substrat à l'aide d'une chambre à vide, d'un générateur de micro-ondes et d'un système de distribution de gaz. Un plasma est généré à l'intérieur de la chambre par un magnétron ou un klystron générant des micro-ondes à 2,45 GHz. Le système de distribution de gaz a des MFC calibrés en sccm pour contrôler le débit de gaz. La température du substrat est contrôlée par le plasma et mesurée par un thermocouple. Le plasma chauffe le substrat et la température est surveillée pendant le dépôt.

Applications

MPCVD est prometteur pour la production de gros diamants de haute qualité à faible coût.

Les propriétés uniques du diamant, telles que la dureté, la rigidité, la conductivité thermique élevée, la faible dilatation thermique, la dureté par rayonnement et l'inertie chimique, en font un matériau précieux. Cependant, le coût élevé, la taille limitée et la difficulté à contrôler les impuretés des diamants naturels et synthétiques à haute pression et à haute température ont limité leurs applications.

MPCVD est l'équipement principal pour la culture de pierres précieuses et de films de diamant, qui peuvent être monocristallins ou polycristallins. L'industrie des semi-conducteurs utilise largement la croissance du film de diamant pour les substrats de diamant de grande taille, ainsi que l'industrie des outils de coupe ou de forage au diamant.

Par rapport à la méthode HPHT pour les diamants cultivés en laboratoire, la méthode CVD par micro-ondes est avantageuse pour la croissance des diamants de grande taille à moindre coût, ce qui en fait une solution idéale pour les diamants semi-conducteurs, la croissance des diamants optiques et le grand marché des diamants de joaillerie.

Diamants bruts cultivés par MPCVD
Diamants bruts cultivés par MPCVD
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Dans la machine KinTek MPCVD, les diamants poussent
Diamant brut cultivé par la machine KINTEK MPCVD
Diamant brut cultivé par la machine KINTEK MPCVD
Diamant brut cultivé par la machine KINTEK MPCVD
Diamant brut cultivé par la machine KINTEK MPCVD
Diamant brut cultivé par la machine KINTEK MPCVD
Diamant brut cultivé par la machine KINTEK MPCVD
Diamants cultivés MPCVD après polissage
Diamants cultivés MPCVD après polissage
Polycristallin par KinTek MPCVD
Polycristallin par KinTek MPCVD

Avantages du MPCVD

MPCVD est une méthode de synthèse de diamant avec des avantages par rapport à HFCVD et DC-PJ CVD. Il évite la contamination et permet plusieurs gaz. Il offre un réglage en douceur de la puissance des micro-ondes et un contrôle stable de la température, évitant ainsi la perte de germes cristallins. MPCVD est prometteur pour les applications industrielles en raison d'une grande surface de plasma stable.

MPCVD produit des diamants plus purs en utilisant moins d'énergie que HPHT. Il permet également la production de diamants plus gros.

Avantages de notre système MPCVD

Nous sommes profondément impliqués dans l'industrie depuis de nombreuses années et, par conséquent, nous avons une vaste clientèle qui fait confiance à notre équipement et l'utilise. Notre équipement MPCVD fonctionne régulièrement depuis plus de 40 000 heures, démontrant une stabilité, une fiabilité, une répétabilité et une rentabilité exceptionnelles. Les autres avantages de notre système MPCVD incluent :

  • Surface de croissance du substrat de 3 pouces, max. chargement par lots jusqu'à 45 pièces de diamants
  • Puissance micro-ondes de sortie réglable de 1 à 10 kW pour une consommation d'électricité moindre
  • Équipe de recherche riche et expérimentée avec support de recettes de culture de diamants à la frontière
  • Programme d'assistance technique exclusif pour l'équipe d'expérience de culture de diamants zéro

En tirant parti de notre technologie de pointe accumulée, nous avons mis en œuvre plusieurs séries de mises à niveau et d'améliorations de notre système MPCVD, ce qui a permis d'améliorer considérablement l'efficacité et de réduire les coûts d'équipement. De ce fait, nos équipements MPCVD sont à la pointe des avancées technologiques et offerts à un prix compétitif. Bienvenue à nous consulter.

Simulation MPCVD KinTek
Simulation MPCVD KinTek

Traitement de travail

La machine MPCVD contrôle le débit de chaque trajet de gaz et la pression de la cavité tout en introduisant des gaz réactifs (tels que CH4, H2, Ar, O2, N2, etc.) dans la cavité sous une pression spécifique. Après avoir stabilisé le flux d'air, le générateur de micro-ondes à semi-conducteurs de 6KW génère des micro-ondes qui sont ensuite introduites dans la cavité à travers le guide d'ondes.

Le gaz de réaction se transforme en un état de plasma sous le champ de micro-ondes, formant une boule de plasma qui plane au-dessus du substrat en diamant. La température élevée du plasma chauffe le substrat à une température spécifique. L'excès de chaleur produit dans la cavité est dissipé par l'unité de refroidissement par eau.

Pour garantir des conditions de croissance optimales pendant le processus de croissance du diamant monocristallin MPCVD, nous ajustons des facteurs tels que la puissance, la composition de la source de gaz et la pression de la cavité. De plus, étant donné que la boule de plasma n'entre pas en contact avec la paroi de la cavité, le processus de croissance du diamant est exempt d'impuretés, améliorant ainsi la qualité du diamant.

Détails et pièces

Système micro-ondes

Système micro-ondes

Chambre de réaction

Chambre de réaction

Système d

Système d'écoulement de gaz

Système de vide et de capteur

Système de vide et de capteur

Spécifications techniques

Système micro-ondes
  • Fréquence micro-ondes 2450±15MHZ,
  • Puissance de sortie 1~10 KW réglable en continu
  • Stabilité de la puissance de sortie des micro-ondes : <±1 %
  • Fuite de micro-ondes ≤2MW/cm2
  • Interface de guide d'ondes de sortie : WR340, 430 avec bride standard FD-340, 430
  • Débit d'eau de refroidissement : 6-12L/min
  • Coefficient d'onde stationnaire du système : VSWR ≤ 1,5
  • Ajusteur manuel à micro-ondes à 3 broches, cavité d'excitation, charge haute puissance
  • Alimentation d'entrée : 380VAC/50Hz ± 10%, triphasé
Chambre de réaction
  • Taux de fuite de vide<5 × 10-9 Pa .m3/s
  • La pression limite est inférieure à 0,7 Pa (configuration standard avec vacuomètre Pirani)
  • La montée en pression de la chambre ne doit pas dépasser 50 Pa après 12 heures de maintien de la pression
  • Mode de fonctionnement de la chambre de réaction : mode TM021 ou TM023
  • Type de cavité: Cavité résonnante papillon, avec une puissance de roulement maximale de 10KW, en acier inoxydable 304, avec une couche intermédiaire refroidie à l'eau et une méthode de scellement par plaque de quartz de haute pureté.
  • Mode d'admission d'air : prise d'air uniforme annulaire supérieure
  • Étanchéité sous vide : la connexion inférieure de la chambre principale et la porte d'injection sont scellées avec des anneaux en caoutchouc, la pompe à vide et le soufflet sont scellés avec du KF, la plaque de quartz est scellée avec un anneau en C métallique et le reste est scellé avec du CF
  • Fenêtre d'observation et de mesure de température : 4 ports d'observation
  • Port de chargement de l'échantillon devant la chambre
  • Décharge stable dans la plage de pression de 0,7 KPa à 30 KPa (la pression de puissance doit être adaptée)
Porte-échantillon
  • Diamètre de la table d'échantillon≥70mm, zone d'utilisation efficace≥64 mm
  • Structure sandwich refroidie à l'eau de la plate-forme de la plaque de base
  • Le porte-échantillon peut être soulevé et abaissé électriquement de manière uniforme dans la cavité
Système d'écoulement de gaz
  • Disque à air de soudage tout métal
  • Des soudures ou des joints VCR doivent être utilisés pour tous les circuits de gaz internes de l'équipement.
  • Débitmètre MFC 5 canaux, H2/CH4/O2/N/Ar. H2 : 1000 sccm ; CH4 : 100 sccm; O2 : 2 sccm ; N2 : 2 sccm ; Ar : 10 sccm
  • Presse de travail 0.05-0.3MPa, précision ±2%
  • Commande de vanne pneumatique indépendante pour chaque débitmètre de canal
Système de refroidissement
  • 3 lignes de refroidissement par eau, surveillance en temps réel de la température et du débit.
  • Le débit d'eau de refroidissement du système est ≤ 50L/min
  • La pression de l'eau de refroidissement est <4 kg et la température de l'eau d'entrée est de 20-25 ℃.
Capteur de température
  • Le thermomètre infrarouge externe a une plage de température de 300 à 1400 ℃
  • Précision du contrôle de température < 2 ℃ ou 2%
Système de contrôle
  • Siemens smart 200 PLC et contrôle d'écran tactile sont adoptés.
  • Le système dispose d'une variété de programmes, qui peuvent réaliser l'équilibre automatique de la température de croissance, un contrôle précis de la pression d'air de croissance, une augmentation automatique de la température, une chute automatique de la température et d'autres fonctions.
  • Le fonctionnement stable de l'équipement et la protection complète de l'équipement peuvent être obtenus grâce à la surveillance du débit d'eau, de la température, de la pression et d'autres paramètres, et la fiabilité et la sécurité de l'opération peuvent être garanties grâce à un verrouillage fonctionnel.
Fonction facultative
  • Système de surveillance central
  • Pouvoir de base du substrat

Avertissements

La sécurité des opérateurs est la question la plus importante ! Veuillez faire fonctionner l'équipement avec des précautions. Travailler avec des gaz inflammables, explosifs ou toxiques est très dangereux, les opérateurs doivent prendre toutes les précautions nécessaires avant de démarrer le équipement. Travailler en pression positive à l’intérieur des réacteurs ou des chambres est dangereux, l'opérateur doit suivre strictement les procédures de sécurité. Supplémentaire des précautions doivent également être prises lors de l'utilisation de matériaux réactifs à l'air, surtout sous vide. Une fuite peut aspirer de l'air dans l'appareil et provoquer un une réaction violente se produit.

Conçu pour vous

KinTek fournit un service et des équipements sur mesure aux clients du monde entier, notre travail d'équipe spécialisé et nos riches ingénieurs expérimentés sont capables de entreprendre les exigences en matière d'équipement matériel et logiciel sur mesure, et aider notre client à constituer l'équipement exclusif et personnalisé et solution!

Pourriez-vous s'il vous plaît nous faire part de vos idées, nos ingénieurs sont prêts à vous accueillir maintenant !

FAQ

Qu'est-ce Que Mpcvd ?

MPCVD signifie Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition et c'est un processus de dépôt de couches minces sur une surface. Il utilise une chambre à vide, un générateur de micro-ondes et un système de distribution de gaz pour créer un plasma composé de produits chimiques réactifs et des catalyseurs nécessaires. Le MPCVD est largement utilisé dans le réseau ANFF pour déposer des couches de diamant en utilisant du méthane et de l'hydrogène pour faire pousser de nouveaux diamants sur un substrat ensemencé de diamant. Il s'agit d'une technologie prometteuse pour produire de gros diamants de haute qualité à faible coût et elle est largement utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs et de la taille des diamants.

Qu'est-ce Qu'une Machine à Diamant CVD?

Une machine à diamant CVD est un dispositif utilisé pour produire des diamants synthétiques par un processus appelé dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Ce processus implique la précipitation de vapeurs chimiques pour créer un diamant, qui a des propriétés équivalentes aux diamants naturels. Machines diamantées CVD, y compris CVD thermique assisté par filament, CVD amélioré par plasma et CVD assisté par flamme de combustion, etc. Les diamants CVD résultants sont utiles dans l'industrie des outils de coupe en raison de leur dureté élevée et de leur longue durée de vie, ce qui en fait un outil important. et outil économique pour couper les matériaux non ferreux.

Qu'est-ce Qu'une Machine Mpcvd ?

La machine MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) est un équipement de laboratoire utilisé pour développer des films de diamant de haute qualité. Il utilise un gaz contenant du carbone et un plasma micro-ondes pour créer une boule de plasma au-dessus du substrat de diamant, qui le chauffe à une température spécifique. La boule de plasma n'entre pas en contact avec la paroi de la cavité, ce qui rend le processus de croissance du diamant exempt d'impuretés et améliore la qualité du diamant. Le système MPCVD se compose d'une chambre à vide, d'un générateur de micro-ondes et d'un système de distribution de gaz qui contrôle le flux de gaz dans la chambre.

Quels Sont Les Avantages De Mpcvd ?

Le MPCVD présente plusieurs avantages par rapport aux autres méthodes de production de diamants, tels qu'une pureté plus élevée, une consommation d'énergie moindre et la capacité de produire des diamants plus gros.

Les Diamants CVD Sont-ils Vrais Ou Faux ?

Les diamants CVD sont de vrais diamants et non des faux. Ils sont cultivés en laboratoire par un procédé appelé dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Contrairement aux diamants naturels qui sont extraits sous la surface de la terre, les diamants CVD sont créés à l'aide d'une technologie de pointe dans des laboratoires. Ces diamants sont 100% carbone et sont la forme la plus pure de diamants connus sous le nom de diamants de type IIa. Ils ont les mêmes propriétés optiques, thermiques, physiques et chimiques que les diamants naturels. La seule différence est que les diamants CVD sont créés dans un laboratoire et non extraits de la terre.
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4.7

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Arvid Gustaffson

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Ulla Hansen

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