Le revêtement par pulvérisation cathodique est une méthode utilisée pour appliquer de fines couches fonctionnelles sur un substrat. Cette opération est réalisée au moyen d'une technique de dépôt physique en phase vapeur. Le processus implique que des particules à haute énergie frappent les atomes d'un matériau cible. Ces atomes se déposent ensuite sur le substrat, formant une liaison solide au niveau atomique.
Les 3 étapes clés expliquées
1. Préparation de l'environnement
Le processus commence par l'évacuation d'une chambre afin d'en retirer toutes les molécules. Ensuite, la chambre est remplie d'un gaz spécifique comme l'argon, l'oxygène ou l'azote. Le choix du gaz dépend du matériau à déposer.
2. Activation du processus de pulvérisation
Un potentiel électrique négatif est appliqué au matériau cible. Le corps de la chambre sert d'anode positive. Cette configuration crée une décharge de plasma dans la chambre.
3. Éjection et dépôt du matériau
Des particules à haute énergie frappent le matériau cible, provoquant l'éjection d'atomes. Ces atomes traversent la chambre à vide et se déposent sur le substrat sous la forme d'un film mince.
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