Le gaz utilisé dans le processus de pulvérisation est généralement un gaz inerte, l'argon étant le choix le plus courant et le plus rentable. D'autres gaz inertes tels que le krypton, le xénon, le néon et l'azote sont également utilisés, en fonction des exigences spécifiques du processus de pulvérisation et du poids atomique du matériau cible. Le choix du gaz est crucial pour un transfert efficace de la quantité de mouvement, les gaz plus légers comme le néon étant préférés pour la pulvérisation d'éléments légers et les gaz plus lourds comme le krypton ou le xénon étant utilisés pour les éléments lourds. En outre, les gaz réactifs tels que l'oxygène et l'azote peuvent être utilisés conjointement avec des gaz inertes pour déposer des couches minces d'oxydes, de nitrures et d'autres composés. Le choix du gaz de pulvérisation peut influencer de manière significative la vitesse de dépôt et la qualité du film ou du revêtement sur le substrat.
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