Le processus de pulvérisation implique l'utilisation de gaz spécifiques pour assurer un dépôt efficace de matériaux sur un substrat.
5 gaz clés expliqués
1. L'argon
L'argon est le gaz le plus courant et le plus rentable utilisé dans le processus de pulvérisation.
2. Le krypton
Le krypton est utilisé pour la pulvérisation des éléments lourds en raison de son poids atomique plus élevé.
3. Le xénon
Le xénon, comme le krypton, est choisi pour sa capacité à pulvériser efficacement les matériaux lourds.
4. Néon
Le néon est préféré pour la pulvérisation d'éléments légers en raison de son poids atomique plus faible.
5. Gaz réactifs (oxygène et azote)
Les gaz réactifs comme l'oxygène et l'azote sont utilisés en combinaison avec des gaz inertes pour déposer des couches minces d'oxydes, de nitrures et d'autres composés.
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