Dans l'évaporation thermique, la cuve utilisée est généralement une cuve en céramique à deux composants.
Cette cuve est constituée d'une combinaison de diborure de titane et de nitrure de bore.
Cette combinaison est choisie parce qu'elle peut résister à des températures élevées.
Elle maintient également la conductivité électrique et reste inerte vis-à-vis des métaux en fusion, en particulier l'aluminium.
De quoi est fait le bateau largement utilisé pour l'évaporation thermique ? (4 points clés)
1. Composition du matériau
La cuve d'évaporation est constituée d'un mélange de diborure de titane (TiB2) et de nitrure de bore (BN).
Le diborure de titane est choisi pour son excellente résistance thermique et son inertie aux métaux non ferreux fondus.
Il améliore également la mouillabilité du bateau avec l'aluminium liquide, ce qui est crucial pour les processus impliquant un dépôt d'aluminium en phase vapeur.
Le nitrure de bore est ajouté pour ajuster la résistance électrique du bateau, car il s'agit d'un matériau non conducteur.
2. Fonctionnalité
La fonction première du bac d'évaporation est de servir de réceptacle au matériau à évaporer, généralement des métaux comme l'aluminium.
Il s'agit d'un appareil de chauffage par résistance électrique, dans lequel le bateau et un fil métallique alimenté en continu sont chauffés sous vide poussé par le flux de courant.
Ce processus de chauffage fait fondre le fil et l'évapore ensuite, ce qui facilite le dépôt de couches minces.
3. Exigences opérationnelles
Le bateau doit fonctionner à des températures nettement supérieures à la température d'évaporation du matériau qu'il contient.
Cette exigence garantit une évaporation efficace et constante du matériau.
La conception et la composition du matériau de la cuve sont cruciales pour maintenir ces températures élevées sans dégradation ni réaction avec le métal en fusion.
4. Polyvalence et personnalisation
Les cuves d'évaporation sont populaires dans divers processus de revêtement de couches minces en raison de leur facilité d'utilisation et de leur large gamme de capacités.
Ils peuvent être fabriqués sur mesure pour répondre à des besoins spécifiques, en assurant la compatibilité avec différents matériaux et taux d'évaporation.
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