La cuve largement utilisée pour l'évaporation thermique est généralement une cuve en céramique à deux composants, composée de diborure de titane et de nitrure de bore. Cette combinaison est choisie pour sa capacité à résister à des températures élevées, à maintenir la conductivité électrique et à rester inerte vis-à-vis des métaux fondus, en particulier l'aluminium.
Explication détaillée :
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Composition du matériau : La cuve d'évaporation est fabriquée à partir d'un mélange de diborure de titane (TiB2) et de nitrure de bore (BN). Le diborure de titane est choisi pour son excellente résistance thermique et son inertie aux métaux non ferreux fondus. Il améliore également la mouillabilité du bateau avec l'aluminium liquide, ce qui est crucial pour les processus impliquant un dépôt d'aluminium en phase vapeur. Le nitrure de bore est ajouté pour ajuster la résistance électrique du bateau, car il s'agit d'un matériau non conducteur.
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Fonctionnalité : La fonction première du bac d'évaporation est de servir de réceptacle au matériau à évaporer, généralement des métaux comme l'aluminium. Il s'agit d'un appareil de chauffage par résistance électrique, dans lequel le bateau et un fil métallique alimenté en continu sont chauffés sous vide poussé par le flux de courant. Ce processus de chauffage fait fondre le fil et l'évapore ensuite, ce qui facilite le dépôt de couches minces.
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Exigences opérationnelles : Le bateau doit fonctionner à des températures nettement supérieures à la température d'évaporation du matériau qu'il contient. Cette exigence garantit une évaporation efficace et constante du matériau. La conception et la composition du matériau de la cuve sont cruciales pour maintenir ces températures élevées sans dégradation ni réaction avec le métal en fusion.
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Polyvalence et personnalisation : Les cuves d'évaporation sont populaires dans divers procédés de revêtement de couches minces en raison de leur facilité d'utilisation et de leur large gamme de capacités. Ils peuvent être fabriqués sur mesure pour répondre à des besoins spécifiques, en assurant la compatibilité avec différents matériaux et taux d'évaporation.
En résumé, le bac d'évaporation dans l'évaporation thermique est un composant essentiel fabriqué à partir d'un mélange céramique spécifique qui combine une résistance thermique élevée, une conductivité électrique et une inertie chimique, ce qui le rend idéal pour la manipulation et l'évaporation de matériaux dans des conditions de vide poussé.
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