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Creuset en tungstène et creuset en molybdène pour revêtement par évaporation par faisceau d'électrons pour applications à haute température

Pièces de dépôt de couches minces

Creuset en tungstène et creuset en molybdène pour revêtement par évaporation par faisceau d'électrons pour applications à haute température

Numéro d'article : KMS04

Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations


Matière
Molybdène / Tungstène
Spécification
30-50mm*15-25mm
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Application

L'évaporation par faisceau d'électrons (EBE) est une technique de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour le dépôt de couches minces. Dans l'EBE, un faisceau d'électrons de haute énergie est utilisé pour chauffer et vaporiser un matériau solide, qui se condense ensuite sur un substrat pour former une couche mince. Les creusets en tungstène et en molybdène sont couramment utilisés dans les processus d'évaporation par faisceau d'électrons en raison de leurs excellentes propriétés thermiques et mécaniques. Les creusets en tungstène/molybdène sont couramment utilisés pour le dépôt de couches minces dans la production de microélectronique, tels que les circuits intégrés (CI) et les microprocesseurs ; les processus de revêtement optique, pour déposer des couches minces sur des lentilles, des miroirs ou d'autres composants optiques ; sont des dépôts de couches minces pour des revêtements antireflets ou des couches conductrices ; Revêtements résistants à l'usure : les creusets en tungstène peuvent être utilisés pour déposer des revêtements résistants à l'usure sur divers composants, tels que des outils de coupe ou des pièces de moteur, etc.

Détails et pièces

Creuset en tungstène / creuset en molybdène pour revêtement par évaporation par faisceau d'électrons - détails

Creuset en tungstène / creuset en molybdène pour revêtement par évaporation par faisceau d'électrons - détails2

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Creuset en tungstène / creuset en molybdène pour revêtement par évaporation par faisceau d'électrons - détails 5

Spécifications techniques

Diamètre extérieur et hauteur 30*15mm 34*20mm 35*17mm 40*17mm 42*19mm 45*22mm 50mm*22

Les creusets que nous proposons sont disponibles en différentes tailles et des tailles personnalisées sont disponibles sur demande.

Avantages

  • Point de fusion très élevé ; convient au traitement de matériaux à point de fusion élevé. Conductivité thermique élevée pour un transfert de chaleur efficace pendant l'évaporation.
  • Haute pureté ; l'utilisation d'un creuset en tungstène contribue à garantir la pureté du film déposé.
  • Haute résistance mécanique ; le tungstène est connu pour son excellente résistance mécanique et sa résistance à la déformation à haute température.
  • Faible pression de vapeur ; le tungstène a une faible pression de vapeur, ce qui permet de minimiser la contamination et de maintenir un environnement de vide propre pendant l'évaporation.

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FAQ

Quelles Sont Les Sources D'évaporation Thermique ?

Les sources d'évaporation thermique sont des dispositifs utilisés dans les systèmes d'évaporation thermique pour déposer des films minces sur des substrats. Elles fonctionnent en chauffant un matériau (évaporant) à des températures élevées, ce qui provoque son évaporation et sa condensation sur un substrat, formant ainsi un film mince.

Quels Sont Les Principaux Types De Sources D'évaporation Thermique ?

Les principaux types de sources d'évaporation thermique comprennent les sources d'évaporation résistive, les sources d'évaporation par faisceau d'électrons et les sources d'évaporation flash. Chaque type utilise différentes méthodes pour chauffer l'évaporant, telles que le chauffage résistif, le chauffage par faisceau d'électrons ou le contact direct avec une surface chaude.

Comment Fonctionnent Les Sources D'évaporation Thermique ?

Les sources d'évaporation thermique fonctionnent en faisant passer un courant électrique à travers un matériau résistif, qui s'échauffe jusqu'à atteindre des températures élevées. Cette chaleur est transférée à l'évaporant, qui fond et se vaporise. La vapeur traverse ensuite une chambre à vide et se condense sur un substrat, formant un film mince.

Quels Sont Les Matériaux Couramment Utilisés Pour Les Creusets D’évaporation ?

Les creusets évaporants sont généralement fabriqués à partir de matériaux tels que le tungstène, le tantale, le molybdène, le graphite ou des composés céramiques. Ces matériaux ont des points de fusion élevés et une bonne conductivité thermique, ce qui les rend adaptés aux conditions de température élevée requises lors de l'évaporation. Le choix du matériau du creuset dépend de facteurs tels que le matériau évaporant, les propriétés souhaitées du film et les paramètres du processus.

Quels Sont Les Avantages Des Sources D'évaporation Thermique ?

Les avantages des sources d'évaporation thermique comprennent des taux de dépôt élevés, une bonne direction, une excellente uniformité et une compatibilité avec divers matériaux. Elles sont également relativement simples et abordables, ce qui les rend adaptées à un large éventail d'applications dans le domaine du dépôt de couches minces.

Quels Sont Les Avantages De L’utilisation De Creusets évaporants ?

Les creusets évaporants offrent plusieurs avantages dans les procédés de dépôt de couches minces. Ils fournissent un environnement contrôlé pour l’évaporation des matériaux, permettant un contrôle précis de l’épaisseur et de l’uniformité du film. Les creusets peuvent résister à des températures élevées et assurer un transfert de chaleur efficace, garantissant des taux d'évaporation constants. Ils sont disponibles en différentes tailles et formes pour s'adapter à différents systèmes d'évaporation et configurations de substrat. Les creusets évaporants permettent également le dépôt d'une large gamme de matériaux, notamment les métaux, les semi-conducteurs et les céramiques. Ils peuvent être facilement chargés et déchargés, facilitant ainsi les changements rapides de matériaux ou les ajustements de processus. Dans l’ensemble, les creusets évaporants sont des outils essentiels dans les techniques de dépôt de couches minces, offrant polyvalence, fiabilité et reproductibilité.

Quelles Sont Les Applications Des Sources D'évaporation Thermique ?

Les sources d'évaporation thermique sont utilisées dans diverses applications telles que la production de revêtements optiques, de dispositifs semi-conducteurs et de divers types de couches minces. Elles sont particulièrement utiles dans les industries qui exigent un contrôle précis du dépôt de matériaux sur des substrats.

Comment Les Creusets évaporants Doivent-ils être Manipulés Et Entretenus ?

Les creusets évaporants doivent être manipulés et entretenus avec soin pour garantir leur longévité et leurs performances. Les creusets doivent être soigneusement nettoyés avant chaque utilisation pour éliminer tout matériau résiduel des dépôts précédents. Évitez d'utiliser des matériaux abrasifs qui pourraient endommager la surface du creuset. Pendant le chargement et le déchargement, manipuler les creusets avec des gants propres ou des outils spécialisés pour éviter toute contamination. Lorsqu'ils ne sont pas utilisés, stockez les creusets dans un environnement sec et propre pour éviter la corrosion ou la dégradation. Une inspection régulière des creusets à la recherche de fissures, de défauts ou de signes d'usure est importante pour éviter des pannes inattendues pendant le processus d'évaporation. Suivez les recommandations du fabricant pour toute procédure de maintenance spécifique, telle que le recuit ou le traitement de surface, afin de prolonger la durée de vie du creuset.
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Fiche Technique du Produit

Creuset en tungstène et creuset en molybdène pour revêtement par évaporation par faisceau d'électrons pour applications à haute température

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