Pièces de dépôt de couches minces
Creuset de tungstène de revêtement d'évaporation de faisceau d'électrons/creuset de molybdène
Numéro d'article : KMS04
Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations
- Matériel
- Molybdène / Tungstène
- spécification
- 30-50mm*15-25mm
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L'évaporation par faisceau d'électrons (EBE) est une technique de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour le dépôt de couches minces. Dans EBE, un faisceau d'électrons à haute énergie est utilisé pour chauffer et vaporiser un matériau solide, qui se condense ensuite sur un substrat pour former un film mince. Les creusets en tungstène et en molybdène sont couramment utilisés dans les procédés d'évaporation par faisceau d'électrons en raison de leurs excellentes propriétés thermiques et mécaniques. Les creusets en tungstène/molybdène sont couramment utilisés pour le dépôt de couches minces dans la production de microélectronique, comme les circuits intégrés (CI) et les microprocesseurs ; les procédés de revêtement optique, pour déposer des couches minces sur des lentilles, des miroirs ou d'autres composants optiques ; sont des dépôts de couches minces pour les revêtements antireflets ou les couches conductrices ; revêtements résistants à l'usure : les creusets en tungstène peuvent être utilisés pour déposer des revêtements résistants à l'usure sur divers composants, tels que des outils de coupe ou des pièces de moteur, etc.
Détails et pièces
Spécifications techniques
Diamètre extérieur et haut | 30*15mm | 34*20mm | 35*17mm | 40*17mm | 42*19mm | 45*22mm | 50mm*22 |
Les creusets que nous montrons sont disponibles en différentes tailles et des tailles personnalisées sont disponibles sur demande.
Avantages
- Point de fusion très élevé; adapté au traitement de matériaux à point de fusion élevé. Conductivité thermique élevée pour un transfert de chaleur efficace lors de l'évaporation.
- Haute pureté; l'utilisation d'un creuset en tungstène permet d'assurer la pureté du film déposé.
- Haute résistance mécanique; Le tungstène est connu pour son excellente résistance mécanique et sa résistance à la déformation à haute température.
- basse pression de vapeur ; Le tungstène a une faible pression de vapeur qui aide à minimiser la contamination et à maintenir un environnement de vide propre pendant l'évaporation.
FAQ
Que sont les bateaux en tungstène ?
Quels sont les avantages d’utiliser des bateaux en tungstène ?
Quelles sont les sources d'évaporation thermique ?
Qu'est-ce que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ?
Quels sont les principaux types de sources d'évaporation thermique ?
Qu'est-ce que la pulvérisation magnétron ?
Quelles sont les méthodes utilisées pour déposer des couches minces ?
Qu'est-ce que la cible de pulvérisation?
Comment fonctionnent les sources d'évaporation thermique ?
Pourquoi la pulvérisation magnétron ?
Qu'est-ce qu'un équipement de dépôt de couches minces ?
Comment sont fabriquées les cibles de pulvérisation ?
Quels sont les matériaux couramment utilisés pour les creusets d’évaporation ?
Quels sont les avantages des sources d'évaporation thermique ?
Quels sont les avantages d’utiliser des bateaux d’évaporation ?
Quels sont les matériaux utilisés dans le dépôt de couches minces ?
Le dépôt de couches minces utilise couramment des métaux, des oxydes et des composés comme matériaux, chacun avec ses avantages et ses inconvénients uniques. Les métaux sont préférés pour leur durabilité et leur facilité de dépôt mais sont relativement coûteux. Les oxydes sont très durables, peuvent résister à des températures élevées et peuvent se déposer à basse température, mais peuvent être cassants et difficiles à travailler. Les composés offrent résistance et durabilité, peuvent être déposés à basse température et adaptés pour présenter des propriétés spécifiques.
Le choix du matériau pour un revêtement en couche mince dépend des exigences de l'application. Les métaux sont idéaux pour la conduction thermique et électrique, tandis que les oxydes sont efficaces pour offrir une protection. Les composés peuvent être adaptés pour répondre à des besoins spécifiques. En fin de compte, le meilleur matériau pour un projet particulier dépendra des besoins spécifiques de l'application.
Qu'est-ce que la technologie de dépôt en couche mince ?
A quoi sert la cible de pulvérisation ?
Quels sont les avantages de l’utilisation de creusets évaporants ?
Quelles sont les applications des sources d'évaporation thermique ?
Quelle est la durée de vie typique d’un bateau d’évaporation ?
Quelles sont les méthodes pour obtenir un dépôt optimal de couches minces ?
Pour obtenir des films minces aux propriétés souhaitables, des cibles de pulvérisation et des matériaux d'évaporation de haute qualité sont essentiels. La qualité de ces matériaux peut être influencée par divers facteurs, tels que la pureté, la granulométrie et l'état de surface.
La pureté des cibles de pulvérisation ou des matériaux d'évaporation joue un rôle crucial, car les impuretés peuvent provoquer des défauts dans le film mince résultant. La taille des grains affecte également la qualité du film mince, des grains plus gros entraînant de mauvaises propriétés du film. De plus, l'état de surface est crucial, car les surfaces rugueuses peuvent entraîner des défauts dans le film.
Pour atteindre des cibles de pulvérisation et des matériaux d'évaporation de la plus haute qualité, il est crucial de sélectionner des matériaux qui possèdent une grande pureté, une petite taille de grain et des surfaces lisses.
Utilisations du dépôt de couches minces
Films minces à base d'oxyde de zinc
Les couches minces de ZnO trouvent des applications dans plusieurs industries telles que la thermique, l'optique, le magnétique et l'électricité, mais leur utilisation principale est dans les revêtements et les dispositifs à semi-conducteurs.
Résistances à couches minces
Les résistances à couches minces sont cruciales pour la technologie moderne et sont utilisées dans les récepteurs radio, les circuits imprimés, les ordinateurs, les appareils à radiofréquence, les moniteurs, les routeurs sans fil, les modules Bluetooth et les récepteurs de téléphones portables.
Couches Minces Magnétiques
Les couches minces magnétiques sont utilisées dans l'électronique, le stockage de données, l'identification par radiofréquence, les dispositifs à micro-ondes, les écrans, les cartes de circuits imprimés et l'optoélectronique en tant que composants clés.
Couches minces optiques
Les revêtements optiques et l'optoélectronique sont des applications standard des couches minces optiques. L'épitaxie par faisceau moléculaire peut produire des dispositifs optoélectroniques à couches minces (semi-conducteurs), où les films épitaxiaux sont déposés un atome à la fois sur le substrat.
Films minces polymères
Les couches minces de polymère sont utilisées dans les puces de mémoire, les cellules solaires et les appareils électroniques. Les techniques de dépôt chimique (CVD) offrent un contrôle précis des revêtements de film polymère, y compris la conformité et l'épaisseur du revêtement.
Batteries à couches minces
Les batteries à couches minces alimentent les appareils électroniques tels que les dispositifs médicaux implantables, et la batterie lithium-ion a considérablement progressé grâce à l'utilisation de couches minces.
Revêtements à couche mince
Les revêtements en couches minces améliorent les caractéristiques chimiques et mécaniques des matériaux cibles dans diverses industries et domaines technologiques. Les revêtements antireflets, les revêtements anti-ultraviolets ou anti-infrarouges, les revêtements anti-rayures et la polarisation des lentilles en sont des exemples courants.
Cellules solaires à couche mince
Les cellules solaires à couches minces sont essentielles à l'industrie de l'énergie solaire, permettant la production d'électricité relativement bon marché et propre. Les systèmes photovoltaïques et l'énergie thermique sont les deux principales technologies applicables.
Que sont les cibles de pulvérisation pour l'électronique ?
Comment les creusets évaporants doivent-ils être manipulés et entretenus ?
Les bateaux d'évaporation peuvent-ils être réutilisés ?
Facteurs et paramètres qui influencent le dépôt de couches minces
Taux de dépôt :
La vitesse à laquelle le film est produit, généralement mesurée en épaisseur divisée par le temps, est cruciale pour sélectionner une technologie adaptée à l'application. Des taux de dépôt modérés sont suffisants pour les films minces, tandis que des taux de dépôt rapides sont nécessaires pour les films épais. Il est important de trouver un équilibre entre la vitesse et le contrôle précis de l'épaisseur du film.
Uniformité:
La consistance du film à travers le substrat est connue sous le nom d'uniformité, qui fait généralement référence à l'épaisseur du film, mais peut également être liée à d'autres propriétés telles que l'indice de réfraction. Il est important d'avoir une bonne compréhension de l'application pour éviter de sous-spécifier ou de sur-spécifier l'uniformité.
Capacité de remplissage :
La capacité de remplissage ou la couverture des étapes fait référence à la façon dont le processus de dépôt couvre la topographie du substrat. La méthode de dépôt utilisée (par exemple, CVD, PVD, IBD ou ALD) a un impact significatif sur la couverture et le remplissage des étapes.
Caractéristiques du film :
Les caractéristiques du film dépendent des exigences de l'application, qui peuvent être classées comme photoniques, optiques, électroniques, mécaniques ou chimiques. La plupart des films doivent satisfaire aux exigences dans plus d'une catégorie.
Température de processus :
Les caractéristiques du film sont considérablement affectées par la température du procédé, qui peut être limitée par l'application.
Dommage:
Chaque technologie de dépôt a le potentiel d'endommager le matériau sur lequel elle est déposée, les éléments plus petits étant plus susceptibles d'être endommagés par le processus. La pollution, le rayonnement UV et le bombardement ionique font partie des sources potentielles de dommages. Il est crucial de comprendre les limites des matériaux et des outils.
Quelle est la durée de vie d'une cible de pulvérisation ?
Comment sélectionnez-vous le matériau approprié du bateau d’évaporation ?
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Electron beam evaporation coating made simple and efficient with Kintek Solution's tools.
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