La pulvérisation est plus utile pour le dépôt d'alliages en raison de sa capacité à maintenir la composition du film déposé similaire à la matière première, de son excellente couverture des étapes et de sa capacité à déposer des films uniformes avec une forte adhérence.
Maintien d'une composition similaire à celle de la matière première :
La pulvérisation garantit que la concentration du film déposé correspond étroitement à celle de la matière première. C'est particulièrement important pour le dépôt d'alliages, car cela permet de préserver les propriétés de l'alliage dans le film mince. Contrairement à d'autres méthodes où le rendement du dépôt peut dépendre du poids atomique des espèces, ce qui entraîne le dépôt des composants de l'alliage à des vitesses différentes et modifie potentiellement la concentration du film déposé, la pulvérisation cathodique compense ces différences. Le processus, étant un phénomène de surface, enrichit la surface avec des atomes des composants restants, équilibrant ainsi les différences de vitesse de pulvérisation. Il en résulte un film dont la concentration est similaire à celle de la cible d'alliage d'origine.Excellente couverture des étapes :
La pulvérisation cathodique offre une excellente couverture des étapes, ce qui est crucial pour le dépôt de films minces sur des substrats à la topographie complexe. La pression élevée du processus de pulvérisation entraîne un trajet libre moyen court pour les molécules, ce qui provoque une diffusion des atomes pulvérisés dans l'air. Cette diffusion augmente l'anisotropie du processus, ce qui permet aux atomes de se déposer plus uniformément sur le substrat, y compris sur les marches et autres irrégularités. Ce procédé est particulièrement avantageux pour le dépôt d'alliages, car il garantit que le film d'alliage est déposé uniformément sur le substrat, ce qui préserve l'intégrité de la composition et des propriétés de l'alliage.
Des films uniformes avec une forte adhérence :
