L'analyse par fluorescence X (XRF) pénètre généralement l'échantillon à des profondeurs comprises entre 1 et 1000 µm. La profondeur de pénétration est influencée par le poids atomique des éléments de l'échantillon ; les éléments plus légers sont plus difficiles à détecter à des niveaux plus profonds que les éléments plus lourds. En effet, les rayons X caractéristiques émis pendant l'analyse sont généralement dus à des atomes de surface à ces profondeurs. La capacité à détecter des éléments à différentes profondeurs est cruciale pour une analyse précise, car elle affecte le signal reçu par le spectromètre XRF. Les éléments à haute énergie, généralement ceux dont le numéro atomique est élevé, s'échappent plus profondément dans un échantillon, ce qui signifie qu'ils peuvent être détectés dans des couches plus profondes que les éléments à faible énergie. Cette sensibilité à la profondeur est un facteur clé dans la préparation et l'interprétation des résultats d'analyse XRF.
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