Pour nettoyer une cible de pulvérisation, suivez ces étapes :
Étape 1 : Nettoyer avec un chiffon doux et non pelucheux imbibé d'acétone. Cela permet d'éliminer la poussière ou la saleté éventuellement présente sur la surface de la cible.
Étape 2 : Nettoyer avec de l'alcool. Cette étape permet d'éliminer tout contaminant ou résidu sur la cible.
Étape 3 : Nettoyer avec de l'eau désionisée. L'eau déionisée est utilisée pour s'assurer que toutes les impuretés ou résidus restants sont bien éliminés de la cible.
Étape 4 : Après le nettoyage à l'eau déminéralisée, placer la cible dans le four et la sécher à 100 ℃ pendant 30 minutes. Cette étape est importante pour s'assurer que la cible est complètement sèche avant toute autre utilisation.
Outre le nettoyage de la cible de pulvérisation, certaines précautions doivent être prises pendant le processus de pulvérisation :
1. Préparation de la pulvérisation : Il est important de maintenir la chambre à vide et le système de pulvérisation propres. Tout résidu ou contaminant peut augmenter le risque de défaillance du film ou de court-circuit du système.
2. Installation de la cible : Assurer une bonne connexion thermique entre la cible et la paroi stabilisatrice du pistolet de pulvérisation. Si la douelle de refroidissement ou la plaque d'appui est déformée, cela peut affecter la conductivité thermique et entraîner des fissures ou des déformations de la cible.
3. Maintenir la propreté du gaz de pulvérisation : Le gaz de pulvérisation, tel que l'argon ou l'oxygène, doit être propre et sec pour maintenir les caractéristiques de composition du revêtement.
Dans l'ensemble, le nettoyage et l'entretien de la cible de pulvérisation sont essentiels pour obtenir un dépôt de couches minces de haute qualité et prévenir tout problème potentiel au cours du processus de pulvérisation.
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