Le nettoyage d'une cible de pulvérisation est essentiel pour obtenir un dépôt de couches minces de haute qualité.
Voici un guide étape par étape pour vous assurer que votre cible de pulvérisation est propre et prête à l'emploi.
Comment nettoyer une cible de pulvérisation ? 4 étapes et précautions essentielles
Étape 1 : Nettoyer avec un chiffon doux et non pelucheux imbibé d'acétone
Cela permet d'éliminer la poussière ou la saleté éventuellement présente sur la surface de la cible.
Étape 2 : Nettoyer avec de l'alcool
Cette étape permet d'éliminer tout contaminant ou résidu sur la cible.
Étape 3 : Nettoyer avec de l'eau désionisée
L'eau déionisée est utilisée pour s'assurer que toutes les impuretés ou résidus restants sont bien éliminés de la cible.
Étape 4 : Sécher la cible dans un four
Après le nettoyage à l'eau déionisée, placez la cible dans le four et séchez-la à 100 ℃ pendant 30 minutes.
Cette étape est importante pour s'assurer que la cible est complètement sèche avant toute autre utilisation.
Précautions à prendre pendant le processus de pulvérisation
1. Préparation de la pulvérisation
Il est important de maintenir la chambre à vide et le système de pulvérisation propres.
Tout résidu ou contaminant peut augmenter le risque de défaillance du film ou de court-circuit du système.
2. Installation de la cible
Assurez une bonne connexion thermique entre la cible et la paroi stabilisatrice du pistolet de pulvérisation.
Si la douelle de refroidissement ou la plaque d'appui est déformée, cela peut affecter la conductivité thermique et entraîner des fissures ou des déformations de la cible.
3. Maintenir la propreté du gaz de pulvérisation
Le gaz de pulvérisation, tel que l'argon ou l'oxygène, doit être propre et sec pour maintenir les caractéristiques de composition du revêtement.
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