Les cibles de pulvérisation sont des composants essentiels dans diverses applications scientifiques et industrielles.
Leur processus de fabrication est complexe et dépend des propriétés du matériau de la cible et de l'utilisation prévue.
Voici les sept processus clés de la fabrication des cibles de pulvérisation :
1. Fusion et moulage sous vide
Ce procédé consiste à faire fondre des matières premières sous vide pour éviter toute contamination.
Le matériau fondu est ensuite moulé dans la forme souhaitée.
Cette méthode est idéale pour les matériaux dont le point de fusion est élevé ou qui sont réactifs.
L'environnement sous vide garantit que le matériau est pur et exempt d'impuretés.
2. Pressage à chaud et pressage à froid avec frittage
Le pressage à chaud consiste à presser des matériaux en poudre à des températures élevées, puis à les fritter.
Le pressage à froid implique un pressage à basse température, également suivi d'un frittage.
Le frittage consiste à chauffer le matériau pressé à une température inférieure à son point de fusion, ce qui permet aux particules de se lier et de former une pièce solide.
Cette technique est efficace pour créer des cibles denses et solides à partir de matériaux difficiles à couler.
3. Procédé spécial de pressage-frittage
Il s'agit d'une variante adaptée des méthodes de pressage et de frittage.
Il est conçu pour les matériaux qui nécessitent un contrôle précis des conditions de pressage et de frittage.
Ce procédé garantit que le matériau cible possède les propriétés nécessaires pour une pulvérisation efficace.
4. Fabrication de formes et de tailles
Les cibles de pulvérisation peuvent être fabriquées dans différentes formes, telles que circulaire ou rectangulaire.
Toutefois, la taille d'une seule pièce est limitée.
Dans ce cas, des cibles à segments multiples sont produites.
Ces segments sont assemblés à l'aide de joints en bout ou en biseau afin de former une surface continue pour la pulvérisation.
5. Contrôle de la qualité
Chaque lot de production est soumis à des processus analytiques rigoureux.
Cela permet de s'assurer que les cibles répondent aux normes de qualité les plus élevées.
Un certificat d'analyse est fourni avec chaque expédition, détaillant les propriétés et la composition du matériau.
6. Cibles de pulvérisation de silicium
Ces cibles sont fabriquées par pulvérisation à partir d'un lingot de silicium.
Les procédés de fabrication comprennent l'électrodéposition, la pulvérisation et le dépôt en phase vapeur.
Des procédés supplémentaires de nettoyage et de gravure sont souvent utilisés pour obtenir les conditions de surface souhaitées.
Cela garantit que les cibles sont hautement réfléchissantes et ont une rugosité inférieure à 500 angströms.
7. Processus de fabrication global
La fabrication de cibles de pulvérisation est un processus complexe.
Elle nécessite une sélection minutieuse de la méthode de fabrication appropriée en fonction des propriétés du matériau et de l'application envisagée.
L'objectif est de produire des cibles pures, denses, de forme et de taille correctes pour faciliter la pulvérisation et le dépôt efficaces de couches minces.
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