Une pompe à vide à diffusion est un type de pompe à vide qui fonctionne sans pièces mobiles, utilisant la vapeur d'un fluide en ébullition pour capturer et éliminer les molécules d'air d'une chambre, atteignant ainsi des niveaux de vide élevés allant de 10^-2 à 10^-10 torr. Ce type de pompe se distingue des pompes mécaniques, qui utilisent des mécanismes physiques tels que des pistons ou des ailettes pour déplacer l'air. Les pompes à diffusion sont classées comme des pompes à entraînement de fluide, où la vapeur du fluide de travail agit pour piéger les molécules d'air, qui sont ensuite dirigées et refroidies, libérant les molécules d'air à un autre endroit. Ce processus est crucial dans diverses applications industrielles telles que la microscopie à faisceau d'électrons, le dépôt sous vide, les revêtements et les fours à vide.
Le fonctionnement d'une pompe à vide à diffusion implique l'utilisation d'une pompe de maintien pour maintenir une faible pression sur la ligne avant, en veillant à ce que les huiles de la pompe ne refluent pas dans la chambre. Ce résultat est obtenu grâce à un pompage automatique et verrouillé du vide, associé à un séquençage approprié des vannes de vide. La conception et le fonctionnement de la pompe sont optimisés pour éviter la contamination de la chambre à vide par le fluide de la pompe, ce qui est essentiel pour maintenir l'intégrité de l'environnement sous vide.
Dans les systèmes de vide, les pompes à diffusion sont souvent utilisées en conjonction avec d'autres types de pompes, telles que les pompes mécaniques ou les pompes à palettes, pour atteindre le niveau de vide souhaité. Les pompes mécaniques sont généralement utilisées pour le pompage initial depuis la pression atmosphérique jusqu'à un niveau intermédiaire, tandis que les pompes à diffusion sont employées pour atteindre des pressions inférieures à celles que les pompes mécaniques seules peuvent générer. Cette combinaison de pompes est courante dans les fours à vide et autres applications à vide poussé où le maintien d'un environnement de vide propre et stable est essentiel.
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