Les matériaux d'évaporation sont des substances utilisées dans la formation de films minces ou de revêtements sur des surfaces par un processus appelé évaporation. Ces matériaux sont portés à haute température jusqu'à ce qu'ils se vaporisent. Dans un environnement sous vide, le matériau vaporisé se déplace directement vers la surface d'un objet, généralement un substrat, où il se condense et forme un film mince. Ce processus se déroule dans une chambre à vide afin d'éviter toute contamination et de garantir que seul le matériau souhaité forme le revêtement.
Les niveaux de pureté des matériaux d'évaporation varient généralement de 99,9 % à 99,99999 %, en fonction de l'application spécifique. Une pureté élevée est cruciale car elle a un impact direct sur la qualité et les performances des couches minces produites.
Parmi les matériaux utilisés comme matériaux d'évaporation figurent les métaux purs, les antimoniures, les arséniures, les borures, les carbures, les fluorures, les nitrures, les oxydes, les séléniures, les siliciures, les sulfures et les tellurures. Ces matériaux se présentent sous différentes formes, telles que des morceaux, des feuilles, des pastilles, des fils, des tiges, des tirs et des limaces, ce qui facilite leur utilisation efficace dans les processus d'évaporation.
Les techniques d'évaporation thermique courantes comprennent l'évaporation par chauffage résistif, l'évaporation par faisceau d'électrons, l'évaporation flash et l'évaporation par chauffage par induction. Chaque méthode consiste à chauffer le matériau d'évaporation jusqu'à son point de vaporisation, soit par chauffage résistif dans un creuset, soit en concentrant un faisceau d'électrons sur le matériau, soit en chauffant rapidement le matériau à l'aide d'une impulsion de courant élevé, soit en induisant des courants dans le matériau par chauffage par induction.
Le processus d'évaporation, en particulier l'évaporation thermique par résistance, nécessite un environnement sous vide afin que la pression de vapeur du matériau soit supérieure à celle de l'environnement. L'équipement essentiel comprend un système de vide, une source d'énergie électrique et un élément résistif ayant généralement la forme d'un "bateau" en métal réfractaire. Cette installation permet de générer de la chaleur lorsque l'énergie est fournie, ce qui conduit à la vaporisation du matériau et à la formation ultérieure de films minces sur les substrats.
Plasmaterials, Inc. propose une large gamme de matériaux adaptés à l'évaporation thermique, notamment des matériaux élémentaires, alliés, composites, métalliques, céramiques, cermets et réfractaires, disponibles sous diverses formes en vrac. Ces matériaux sont produits à l'aide de techniques telles que la métallurgie des poudres (PM) ou la fusion sous vide (VM) et sont accompagnés d'un certificat d'analyse détaillant leur composition chimique et en oligo-éléments.
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