Le carbure de silicium (SiC) est utilisé dans diverses applications de l'industrie des semi-conducteurs en raison de ses propriétés uniques, notamment une large bande interdite, une conductivité thermique élevée, une grande mobilité des électrons et un champ électrique de rupture supérieur. Ces caractéristiques font du SiC un matériau idéal pour les dispositifs à semi-conducteurs de puissance, où il répond aux limites des matériaux traditionnels tels que le silicium (Si) et l'arséniure de gallium (GaAs).
Équipement de fabrication de semi-conducteurs :
Le SiC est utilisé dans la fabrication de composants pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs, tels que les suscepteurs, les bagues collectrices, les goupilles de levage, les électrodes, les anneaux de focalisation et les revêtements de chambre. Ces composants sont essentiels dans des processus tels que le traitement thermique rapide (RTP), la gravure au plasma, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), l'épitaxie, l'implantation ionique, la lithographie et diverses méthodes de nettoyage. L'utilisation du SiC dans ces applications est due à sa résistance aux températures élevées et aux environnements corrosifs, qui sont courants dans les processus de fabrication des semi-conducteurs.Dispositifs à semi-conducteurs de puissance :
Les propriétés du SiC en font un excellent matériau pour les dispositifs de puissance, qui sont essentiels dans les applications nécessitant un rendement et une densité de puissance élevés. Les dispositifs de puissance en SiC, tels que les diodes et les transistors, peuvent fonctionner à des températures, des fréquences et des tensions plus élevées que leurs homologues en silicium. Cette capacité est particulièrement utile dans les véhicules électriques, les systèmes d'énergie renouvelable et les commandes de moteurs industriels, où l'efficacité et la fiabilité sont primordiales.
Céramiques conductrices :
Les céramiques SiC peuvent être rendues conductrices, ce qui améliore leur usinabilité et permet l'usinage par décharge électrique. Cela est particulièrement utile pour la fabrication de pièces en céramique SiC de grande taille ou de forme complexe. Lorsque la résistivité des céramiques SiC est réduite à moins de 100Ω-cm, elles peuvent être usinées avec précision et rapidité, ce qui facilite la production de composants complexes.Environnements corrosifs :
L'excellente stabilité chimique et physique du SiC en fait un matériau idéal pour les composants exposés à des environnements corrosifs, tels que les buses de désulfuration dans les centrales électriques et les composants des pompes chimiques. Ces applications bénéficient de la résistance du SiC aux acides, aux alcalis et à d'autres milieux corrosifs, ce qui garantit un fonctionnement à long terme et sans entretien.
Applications à haute température :
Le SiC est largement utilisé dans les applications à haute température, telles que les éléments de chauffage électrique dans les fours industriels et les supports de cuisson dans les industries de la céramique et du verre. Sa conductivité thermique élevée et sa résistance aux chocs thermiques en font un matériau adapté à ces environnements exigeants.
Défense et armée :
