Les systèmes d'évaporation thermique sont largement utilisés dans diverses industries, mais ils présentent un inconvénient majeur.
3 points clés sur les principaux inconvénients des systèmes d'évaporation thermique
1. Niveaux d'impureté élevés
Les systèmes d'évaporation thermique entraînent souvent des niveaux d'impureté élevés.
Cela s'explique principalement par le fait que le processus consiste à chauffer le matériau source à des températures très élevées dans une chambre à vide.
Au cours de ce chauffage, les impuretés ou les contaminants présents dans le matériau d'origine peuvent également s'évaporer et se retrouver dans le film déposé.
Cela peut conduire à des films de mauvaise qualité, ce qui est problématique pour les applications exigeant une grande pureté.
2. Films de faible densité
Les films produits par évaporation thermique ont souvent une faible densité.
Cela signifie qu'ils peuvent ne pas bien adhérer au substrat et être poreux.
La porosité peut affecter les propriétés mécaniques et électriques du film.
Une faible densité contribue également à des niveaux élevés d'impuretés, car les pores peuvent piéger les impuretés ou leur permettre de migrer à travers le film.
3. Atténuation avec l'assistance ionique
Bien que l'évaporation thermique produise intrinsèquement des films présentant ces inconvénients, l'utilisation de sources d'assistance ionique peut contribuer à améliorer la situation.
L'assistance ionique consiste à bombarder le film de dépôt avec des ions, ce qui peut augmenter la densité et réduire la porosité du film.
Ce processus peut également contribuer à éliminer ou à réduire les impuretés, améliorant ainsi la qualité globale du film.
Cependant, l'ajout de sources d'assistance ionique augmente la complexité et le coût du système, ce qui peut ne pas être réalisable pour toutes les applications.
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