La température de l'évaporation thermique est généralement comprise entre 250 et 350 degrés Celsius. Cette plage de température est utilisée pour chauffer les matériaux sources dans un système d'évaporation thermique afin de les faire passer de l'état solide à l'état de vapeur. Il est important de noter que la température requise pour l'évaporation thermique n'est pas la même que la température d'évaporation ou de sublimation dans les conditions ambiantes. Le processus d'évaporation thermique s'effectue sous vide, ce qui permet d'abaisser la température pour libérer la vapeur des matériaux.
Les exigences en matière de température pour l'évaporation thermique varient d'un matériau à l'autre. Par exemple, l'or peut être vaporisé à une température d'environ 950 degrés Celsius dans des conditions de vide, même si son point d'ébullition dans des conditions normales est beaucoup plus élevé, à 2700 degrés Celsius. Les températures requises pour différents matériaux peuvent être trouvées dans des tableaux largement disponibles.
Il faut également tenir compte du fait que l'évaporation thermique n'est pas adaptée à l'évaporation de tous les matériaux. L'évaporation par faisceau d'électrons peut être nécessaire pour certains matériaux, en particulier les métaux réfractaires. L'évaporation par faisceau d'électrons consiste à chauffer le matériau source dans une chambre à vide poussé dont la pression est inférieure à 10-5 Torr. Ce vide poussé est nécessaire pour minimiser les collisions entre les atomes de la source et les matériaux de fond. L'évaporation thermique fonctionne généralement à des températures inférieures à 1800 degrés Celsius, tandis que l'évaporation par faisceau d'électrons peut supporter des températures plus élevées, telles que 2000 degrés Celsius pour l'évaporation du platine.
En résumé, l'évaporation thermique est un processus dans lequel les matériaux sont chauffés dans une chambre à vide jusqu'à ce que leurs atomes de surface aient suffisamment d'énergie pour quitter la surface et former une vapeur. La plage de température pour l'évaporation thermique se situe généralement entre 250 et 350 degrés Celsius, bien que les exigences spécifiques en matière de température varient selon les matériaux.
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