Pour mesurer l'épaisseur d'une couche mince à l'aide de la microscopie électronique à balayage (MEB), le processus consiste généralement à analyser des vues en coupe de la couche mince. Cette méthode est particulièrement efficace pour les couches minces semi-conductrices dont l'épaisseur est comprise entre 100 nm et 100 μm. Le MEB ne mesure pas seulement l'épaisseur, mais donne également un aperçu de la morphologie de la surface et de la composition élémentaire du film, en particulier lorsqu'il est couplé à un détecteur de spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS).
Analyse transversale au MEB :
La première étape de la mesure de l'épaisseur d'un film mince à l'aide d'un MEB consiste à préparer un échantillon en coupe transversale. Il s'agit de couper l'échantillon de manière à exposer une section transversale propre et claire de la couche mince. L'échantillon est ensuite monté sur un stub et recouvert d'une fine couche de matériau conducteur, généralement de l'or ou du platine, afin d'éviter qu'il ne se charge pendant le processus d'imagerie au MEB.Imagerie et mesures :
Une fois préparé, l'échantillon est imagé à l'aide du MEB. Le faisceau d'électrons balaie la surface de l'échantillon et les interactions entre les électrons et l'échantillon génèrent des signaux qui fournissent des informations sur la topographie de la surface de l'échantillon, sa composition et d'autres caractéristiques. Pour la mesure de l'épaisseur, la vue en coupe est essentielle car elle permet de visualiser directement l'épaisseur du film. L'épaisseur peut être mesurée directement à partir des images SEM en analysant la distance entre la surface supérieure du film et le substrat.
Précision et considérations :
La précision de la mesure de l'épaisseur dépend de la résolution du MEB et de la qualité de la préparation de l'échantillon. Les MEB à haute résolution peuvent fournir des mesures avec une précision de l'ordre du nanomètre. Cependant, il est important de noter que la composition et la structure de l'échantillon doivent être connues pour garantir une analyse précise. Si la composition est inconnue, cela peut entraîner des erreurs dans la mesure de l'épaisseur.
Avantages et limites :
