Les films minces sont des couches de matériaux dont l'épaisseur varie de quelques fractions de nanomètre à plusieurs micromètres.
Ils sont nettement moins épais que leur longueur et leur largeur.
Les films minces peuvent être formés par diverses techniques de dépôt, telles que l'évaporation, la pulvérisation, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et l'enduction par centrifugation.
Ces techniques permettent un contrôle précis de l'épaisseur et de la composition des films.
4 Caractéristiques principales des films minces
1. Uniformité
Les films minces présentent une uniformité entre les éléments voisins.
Cela signifie qu'ils présentent un minimum de défauts et un faible niveau de bruit.
L'uniformité est importante pour diverses applications.
2. Minceur
Comme leur nom l'indique, les films minces sont minces.
Leur épaisseur varie de quelques nanomètres à quelques micromètres.
Cette finesse permet de minimiser la capacité flottante entre les éléments voisins.
3. Stabilité de la température et haute précision
Les films minces sont connus pour leur stabilité à la température et leur grande précision.
Ils peuvent conserver leurs propriétés même dans des conditions de température variables.
4. Polyvalence des applications
Les films minces trouvent des applications dans divers domaines.
En voici quelques exemples :
- Les couches minces optiques: Utilisées pour créer des revêtements réfléchissants ou antireflets, des cellules solaires, des écrans, des guides d'ondes, des réseaux de photodétecteurs et des disques de mémoire.
- Les couches minces électriques ou électroniques: Utilisées dans la fabrication d'isolants ou de conducteurs, de dispositifs semi-conducteurs, de circuits intégrés, de cellules solaires, de réseaux de photodétecteurs et d'entraînements piézoélectriques.
- Couches minces magnétiques: Utilisées dans les disques de mémoire.
- Couches minces chimiques: Utilisées pour résister à l'alliage, à la diffusion, à l'oxydation ou à la corrosion, et dans les capteurs de gaz et de liquides.
- Couches minces mécaniques: Utilisés comme revêtements tribologiques pour protéger contre l'usure, conférer une dureté et une micro-adhésion, et tirer parti des propriétés micromécaniques.
- Couches minces thermiques: Utilisées pour créer des couches barrières et des dissipateurs thermiques.
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