Le dépôt par pulvérisation cathodique est une technique largement utilisée dans diverses industries, mais elle comporte son lot de difficultés. Voici les principaux inconvénients que vous devez connaître.
Quels sont les 10 inconvénients du dépôt par pulvérisation cathodique ?
1. Faible taux de dépôt
Par rapport à d'autres méthodes de dépôt comme l'évaporation thermique, les taux de pulvérisation sont généralement plus faibles. Cela signifie qu'il faut plus de temps pour déposer l'épaisseur de film souhaitée.
2. Dépôt non uniforme
Dans de nombreuses configurations, la distribution du flux de dépôt n'est pas uniforme. Il faut donc déplacer le dispositif de fixation pour obtenir des films d'épaisseur uniforme. Le dépôt par pulvérisation cathodique n'est pas adapté au dépôt de films d'épaisseur uniforme sur de grandes surfaces.
3. Cibles coûteuses et mauvaise utilisation des matériaux
Les cibles de pulvérisation sont souvent coûteuses et l'utilisation des matériaux pendant le processus de dépôt peut ne pas être efficace.
4. Production de chaleur
La majeure partie de l'énergie incidente sur la cible lors de la pulvérisation se transforme en chaleur, qui doit être évacuée. Cela nécessite l'utilisation d'un système de refroidissement, ce qui peut réduire le taux de production et augmenter les coûts énergétiques.
5. Contamination du film
Dans certains cas, les contaminants gazeux présents dans le plasma peuvent être "activés" et provoquer une contamination du film. Ce phénomène peut être plus problématique que dans le cas de l'évaporation sous vide.
6. Contrôle du dépôt par pulvérisation cathodique réactive
Dans le dépôt par pulvérisation cathodique réactive, la composition du gaz doit être soigneusement contrôlée pour éviter d'empoisonner la cible de pulvérisation.
7. Difficulté de combinaison avec le procédé Lift-Off
La caractéristique de transport diffus de la pulvérisation cathodique fait qu'il est difficile de la combiner avec un processus de décollage pour structurer le film, ce qui peut entraîner des problèmes de contamination. Cela peut entraîner des problèmes de contamination.
8. Impuretés dans le substrat
La pulvérisation a une plus grande tendance à introduire des impuretés dans le substrat que le dépôt par évaporation, car elle fonctionne dans une plage de vide plus faible.
9. Difficulté à contrôler avec précision l'épaisseur du film
Bien que la pulvérisation cathodique permette des taux de dépôt élevés sans limite d'épaisseur, elle ne permet pas un contrôle précis de l'épaisseur du film.
10. Dégradation des solides organiques
Certains matériaux, tels que les solides organiques, sont facilement dégradés par le bombardement ionique au cours du processus de pulvérisation.
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