L'évaporation thermique est une méthode utilisée pour déposer des couches minces, mais elle présente plusieurs inconvénients qui peuvent affecter la qualité et l'efficacité du processus.
Quels sont les 6 inconvénients de l'évaporation thermique ?
1. Dégradation de la qualité des matériaux sensibles
L'évaporation thermique peut dégrader les matériaux sensibles. Il s'agit notamment de substances organiques, de vitamines, d'agents aromatiques et d'intermédiaires pharmaceutiques. Ces matières peuvent se décomposer ou réagir à des températures relativement basses, ce qui a un impact négatif sur le produit final.
2. Impuretés dans les couches minces
L'évaporation thermique, en particulier l'évaporation thermique résistive, peut produire des films minces présentant des niveaux d'impureté plus élevés. En effet, le creuset, qui contient le matériau, est chauffé et peut contaminer le film.
3. Revêtements en couches minces moins denses
L'évaporation thermique produit souvent des couches minces moins denses que l'évaporation par faisceau d'électrons. Cela est dû à l'énergie plus faible des particules évaporées, ce qui entraîne un tassement et une liaison moins efficaces dans les films déposés.
4. Limité aux matériaux à bas point de fusion
L'évaporation thermique fonctionne mieux avec les matériaux dont le point de fusion est bas. Elle a du mal avec les matériaux à température plus élevée comme les oxydes, qui sont mieux traités par l'évaporation par faisceau d'électrons.
5. Taux de dépôt plus faibles
L'évaporation thermique a généralement des taux de dépôt plus faibles que l'évaporation par faisceau d'électrons. Cela peut ralentir le processus, en particulier dans les applications industrielles qui nécessitent une production en grande quantité.
6. Contrainte thermique
Le procédé implique une contrainte thermique importante sur les matériaux évaporés. Cela peut entraîner des modifications structurelles ou des dommages, en particulier pour les matériaux sensibles. Bien que ce stress puisse être réduit en ajustant la pression et en utilisant des conceptions spéciales, ces solutions ajoutent de la complexité et des coûts.
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