Les dangers des NTC (nanotubes de carbone) peuvent être classés en plusieurs catégories :
1. Exposition pulmonaire : l'inhalation de NTC peut entraîner une inflammation des poumons, qui a été liée au développement d'une fibrose pulmonaire et d'un cancer. Cela signifie que les NTC peuvent avoir des effets nocifs sur le système respiratoire s'ils sont inhalés.
2. Précurseurs gazeux toxiques : Dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé pour faire croître les NTC, certains précurseurs gazeux tels que Cu(acac)2, B2H6 ou Ni(CO)4 peuvent être utilisés. Ces précurseurs sont toxiques, corrosifs et explosifs. S'ils ne sont pas manipulés et livrés avec précaution, ils peuvent présenter des risques pour l'environnement et la santé des personnes qui y sont exposées.
3. Sous-produits gazeux toxiques : Au cours du processus de dépôt chimique en phase vapeur, des sous-produits gazeux tels que HF, H2 ou CO peuvent être produits. Ces sous-produits sont hautement toxiques et doivent être traités correctement lorsqu'ils sont libérés de la chambre à vide afin de ne pas nuire à l'environnement et aux individus.
4. Revêtement à haute température : Les procédés CVD déposent des couches minces à des températures très élevées. Cependant, certains matériaux de substrat peuvent avoir une mauvaise stabilité thermique et ne peuvent pas supporter ces températures élevées. L'utilisation de ces matériaux peut entraîner des défaillances dans le processus de dépôt en phase vapeur et des situations potentiellement dangereuses.
Il convient de noter que si le dépôt en phase vapeur présente des avantages, comme la possibilité d'obtenir une épaisseur uniforme sur les substrats, des précautions doivent être prises pour garantir la sécurité des personnes travaillant avec les procédés de dépôt en phase vapeur. Le respect d'une procédure opératoire normalisée (POS) est nécessaire pour minimiser les risques associés aux précurseurs toxiques et aux sous-produits du dépôt en phase vapeur.
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